Magnesiumoxid-Sputtering-Target
Magnesiumoxid-Sputtering-Target
Purity: 99.9%
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Magnesium Oxide Sputtering Target Data Sheet
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Referenz-Code: |
HTST37 |
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Farbe: |
White or yellow |
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Chemische Formel: |
MgO |
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Die Dichte: |
3,20 g/cm3 |
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Dimension: |
angepasst |
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Die Form: |
Disc/Rectangular/Tube or customized |
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Bonding: |
Bonding/Unbonding |
Magnesium Oxide Sputtering Target Description
Magnesium oxide sputtering target is widely used in thin film deposition for its excellent dielectric strength, high melting point, and chemical inertness. It enables the formation of stable, uniform coatings in various applications, including optical layers, barrier films, and electronic components. Its compatibility with different substrate materials and ability to perform under high-vacuum and high-temperature conditions make it a dependable material in PVD processes.
Magnesium Oxide Sputtering Target Specifications
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Zirkulare Sputtering-Targets |
Durchmesser |
1.0”, 2.0”, 3.0”, 4.0”, 5.0”, 6.0” bis zu 21” |
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Rechteckige Sputtering-Targets |
Breite x Länge |
5” x 12”, 5” x 15”, 5” x 20”, 5” x 22”, 6” x 20” |
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Dicke |
0.125”, 0.25” |
Magnesium Oxide Sputtering Target Features
- Hohe Reinheit: Offers excellent chemical stability and minimizes contamination during thin film deposition.
- Strong Thermal Stability: Maintains structural integrity at elevated temperatures during sputtering processes.
- Good Electrical Insulation: Ideal for applications requiring high dielectric strength and minimal conductivity.
- Uniform Film Formation: Ensures consistent and smooth thin film layers across various substrates.
- Anpassbar Abmessungen: Available in various shapes and sizes to meet different equipment and process requirements.
Magnesium Oxide Sputtering Target Applications
- Optical Coatings: Used to deposit MgO thin films on lenses, mirrors, and optical devices to enhance reflectivity and durability.
- Semiconductor Fabrication: Applied in thin film transistors and insulating layers due to its excellent dielectric properties.
- Magnetic Storage Media: Forms part of multilayer structures in hard drives and magnetic sensors.
- Display Technologies: Utilized in the production of thin film coatings for OLED and LCD display panels.
- Protective Coatings: Serves as a barrier layer against corrosion and oxidation in various industrial applications.
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Materialeigenschaften von Magnesiumoxid
Magnesiumoxid-Keramik-Bearbeitung

Magnesiumoxid kann vor dem Sintern in grüner oder biskuitöser Form und in begrenztem Umfang auch im vollgesinterten Zustand bearbeitet werden. In seinem vorgesinterten Zustand ist das Material relativ weich und leichter zu formen, aber wie viele keramik, Während des Sinterns erfährt es eine erhebliche Schrumpfung - bis zu 20% -, was die endgültigen Abmessungen beeinflussen kann. Vollständig gesintertes Magnesiumoxid ist sehr hart und spröde und erfordert Diamantwerkzeuge und Präzisionsgeräte für die Bearbeitung nach dem Sintern.
Bearbeitungsverfahren und Überlegungen
- Grün- oder Biskuit-Bearbeitung: Leichter zu schneiden und zu formen, geeignet für komplexe Formen vor dem Brennen.
- Sinter-Schrumpfung: Während des Sinterns ist mit einer Maßverringerung von etwa 15-20% zu rechnen, was sich auf die Toleranzkontrolle auswirkt.
- Nachsinternde Bearbeitung: Aufgrund der Härte und Sprödigkeit des Materials sind Diamantschleifwerkzeuge erforderlich.
- Zerbrechlichkeit: Vollständig gesintertes MgO ist anfällig für Absplitterungen und Brüche, wenn es bei der Bearbeitung nicht sorgfältig behandelt wird.
- Werkzeuge und Zeit: Die Bearbeitung von dichter MgO-Keramik ist zeitaufwändig und erfordert spezielle Geräte.
Magnesiumoxid-Keramik-Verpackungen
Magnesiumoxid-Keramikprodukte werden in der Regel in vakuumversiegelten Beuteln verpackt, um Feuchtigkeit oder Verunreinigungen zu vermeiden, und mit Schaumstoff umwickelt, um Erschütterungen und Stöße während des Transports zu dämpfen und die Qualität der Produkte in ihrem ursprünglichen Zustand zu gewährleisten.

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