Quarzscheibe
Quarzscheibe
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Quartz Disc Data Sheet
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Farbe: |
Weiß |
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Die Form: |
Rund |
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Dimension: |
Kundenspezifisch |
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Chemische Formel: |
SiO2 |
Quartz Disc Description
Quarzscheibe is a dense, non-porous ceramic component crafted from fused quartz, engineered to perform under extreme thermal and chemical conditions. It maintains structural integrity in high-vacuum, plasma, and reactive gas environments, making it a preferred choice in semiconductor fabrication and analytical instrumentation. With excellent flatness and high-purity composition, quartz discs ensure minimal contamination and dependable performance in precision-critical systems. Heeger Materials provides high-quality Quartz Discs designed to meet the needs of cutting-edge industries.
Quartz Disc Features
- High Purity Composition: Made from high-purity fused quartz to ensure low contamination in sensitive applications.
- Thermische Stabilität: Maintains shape and performance under rapid temperature changes and high heat.
- Excellent Flatness: Precision-polished for uniform thickness and surface accuracy.
- Chemische Beständigkeit: Inert to most acids, alkalis, and corrosive gases.
- Optical Transparency: Suitable for applications requiring UV and IR light transmission.
Quartz Disc Applications
- Semiconductor Processing: Used as carrier plates, covers, or spacers in etching and deposition chambers.
- Optical Systems: Serves as substrates or filters in spectroscopy, lasers, and UV curing systems.
- Laboratory Equipment: Applied in high-purity analysis tools and sample preparation.
- Vakuum- und Plasmaanlagen: Performs reliably in reactive gas or high-vacuum environments.
- Photovoltaics: Used in wafer handling or as part of solar cell production equipment.
Energie und Stromerzeugung
Eigenschaften von Quarz-Keramik-Material
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Reinheit (%) |
>99.8 |
>99.5 |
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Dichte (g/cm3) |
1.9-1.95 |
1.9-1.95 |
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Flexturfestigkeit (MPa) |
28 |
28 |
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Druckfestigkeit (MPa) |
>50 |
>50 |
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Biegefestigkeit (MPa) |
25 |
25 |
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Maximale Arbeitstemperatur (℃) |
1650 |
1650 |
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Wärmeleitfähigkeit (W/m*K) |
<1 |
<1 |
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Wärmeausdehnungskoeffizient (/℃) |
8.5*10-7 |
8.5*10-7 |
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Anzahl der Nutzung |
≥10 |
≥10 |
Bearbeitung von Quarz-Keramik-Material
Quarzkeramik kann vor dem Sintern in grünem oder biskuitem Zustand bearbeitet werden, wodurch sie sich leichter in komplexe Formen bringen lässt. Wie andere keramik, Während des Sinterns schrumpft es um etwa 15-20%, so dass dies bei der ursprünglichen Konstruktion berücksichtigt werden muss. Nach dem Sintern wird Quarzkeramik extrem hart und spröde, was die Bearbeitung sehr schwierig macht und diamantbeschichtete Werkzeuge und hochpräzise Geräte erfordert.
Bearbeitungsverfahren und Überlegungen
- Grün- oder Biskuit-Bearbeitung: Quarzkeramik lässt sich vor dem Sintern leichter schneiden und formen, so dass sie sich für komplizierte Designs eignet.
- Sinter-Schrumpfung: Während des Sinterns ist mit einer Größenreduzierung von 15-20% zu rechnen, was die Maßgenauigkeit beeinträchtigt.
- Nachsinternde Bearbeitung: Nach dem Sintern wird Quarz hart und spröde und erfordert Diamantwerkzeuge und eine präzise Kontrolle.
- Zerbrechlichkeit: Vollständig gesinterte Quarzkeramik neigt bei unsachgemäßer Handhabung zu Absplitterungen oder Rissen.
- Werkzeuge und Zeit: Die Bearbeitung von Sinterquarz ist langsam und erfordert spezielle Geräte.
Quarz-Keramik-Verpackungen
Quarzkeramikprodukte werden in der Regel in vakuumversiegelten Beuteln verpackt, um Feuchtigkeit oder Verunreinigungen zu vermeiden, und mit Schaumstoff umwickelt, um Erschütterungen und Stöße während des Transports abzufedern und die Qualität der Produkte im Originalzustand zu gewährleisten.
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