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PECVD-Graphit-Boot
Reinheit: ≥99%
PECVD-Graphit-Boot wird aus hochreinem Graphit mit ausgezeichneter thermischer Stabilität, elektrischer Leitfähigkeit und Korrosionsbeständigkeit hergestellt. Es wird häufig zur Unterstützung von Siliziumwafern bei PECVD-Prozessen in der Solarzellen- und Halbleiterproduktion verwendet. Indem es eine stabile Plasmaentladung zwischen den Waferträgern ermöglicht, trägt es zur Bildung hochwertiger Antireflexions- und Passivierungsschichten bei und verbessert so den Gesamtwirkungsgrad. Seine starke Struktur und sein präzises Design gewährleisten eine gleichbleibende Leistung bei hohen Temperaturen und unter Vakuumbedingungen. Wir können hochwertige flexible Graphitfolie mit verschiedenen Spezifikationen und zu wettbewerbsfähigen Preisen und bieten maßgeschneiderte Lösungen für spezifische Anforderungen.
Oder senden Sie uns eine E-Mail an sales@heegermaterials.com.PECVD Graphitboot Datenblatt
| Referenzcode | HM2599 |
| Reinheit | ≥99.9% |
| Farbe | Dunkelgrau bis Schwarz |
| Chemische Formel | C |
| Werkstoffklassen | Naturgraphit, synthetischer Graphit, Spezialgraphit, Verbundgraphit |
| Dichte | 1,65-1,95 g/cm³ |
| Maximale Betriebstemperatur | Bis zu 3000°C (in inerter Atmosphäre) |
| Wärmeleitfähigkeit | 100-200 W/m-K |
PECVD Graphit Boot Beschreibung
PECVD-Graphit-Boot spielt eine wichtige Rolle bei der plasmaunterstützten chemischen Gasphasenabscheidung, indem es Siliziumwafer während der Beschichtungsprozesse sicher hält. Es wird aus hochreinem Graphit hergestellt und bietet hervorragende Dimensionsstabilität, geringe Partikelbildung und hohe Temperaturwechselbeständigkeit. In PECVD-Kammern sorgt die präzise Struktur des Bootes für eine gleichmäßige Plasmabestrahlung und ermöglicht so die Abscheidung glatter, hochwertiger SiNx-Schichten. Seine Beständigkeit unter extremen Bedingungen macht es zu einem unverzichtbaren Element für die Herstellung hocheffizienter Solarzellen und zuverlässiger Halbleiterbauelemente.
PECVD Graphit Boot Technische Parameter
| Dichte | Widerstandsfähigkeit | Druckfestigkeit | Biegefestigkeit | Der Wärmeausdehnungskoeffizient (CTE) | Esche | Korngröße |
| g/cm3 | μΩm | Mpa | Mpa | % | μm | |
| 1.80 | 10 | 55 | 30 | 4.5 | 0.1 | 45 |
| 1.85 | 9 | 62 | 35 | 5.5 | 0.1 | 45 |
PECVD-Graphit-Boot Spezifikationen
| Typ | Spezifikationen | Hinweis |
| 125mm*125mm 156mm*156mm Einkristall/Polykristall | 13 Stück | Hochreiner Graphit Angewandt in PECVD-Anlagen. |
| 15 Stück | ||
| 17 Stück | ||
| 19 Stück |
PECVD Graphit Bootszubehör
| 125 Typ（125mm*125mm） | 125 Graphit Bootsseitenfolie | |
| 125 Graphite Boat Center Sheet | ||
| 156 Typ（156mm*156mm） | 156 Graphit-Bootsseitenfolie | |
| 156 Graphite Boat Center Sheet | ||
| Graphit Schraube | M6*215 | Hochreiner Graphit |
| M6*190 | ||
| M6*275 | ||
| M8*215 | ||
| M8*190 | ||
| M8*160 | ||
| M8*245 | ||
| Graphitmutter, Graphit-Hutmutter | M6, M8 | |
PECVD Graphit Boot Eigenschaften
- Hergestellt mit hochpräzisen Bearbeitungsmaschinen und strenger Prozesskontrolle, um gleichbleibende Abmessungen und eine glatte, saubere Oberfläche zu gewährleisten.
- Hergestellt aus hochreinem Graphit mit geringem Verunreinigungsgrad, der eine ausgezeichnete Festigkeit und langfristige Stabilität bei hohen Temperaturen ohne Verformung bietet.
- Durch den Einsatz fortschrittlicher Produktionstechniken werden Farbflecken" während der kontinuierlichen Verarbeitung wirksam beseitigt und die Produktzuverlässigkeit verbessert.
PECVD-Graphit-Boot-Anwendungen
- Produktion von Solarzellen: Dient als kritischer Träger für Siliziumwafer während PECVD-Prozessen und trägt zur Bildung hocheffizienter Antireflexionsschichten bei, die die Umwandlungsraten von Photovoltaikanlagen erhöhen.
- Halbleiterherstellung: Unterstützt die Waferverarbeitung während der Dünnschichtabscheidung und gewährleistet eine präzise Kontrolle der Schichtqualität und -gleichmäßigkeit.
- Oberflächenpassivierung: Wird zur Unterstützung bei der Abscheidung von Passivierungsschichten verwendet, die die elektrische Leistung und Langlebigkeit von Solarzellen verbessern.
- Dünnfilmbeschichtungssysteme: Spielt eine wichtige Rolle bei Beschichtungsanwendungen, bei denen ein stabiler, hochreiner Graphitträger für eine gleichmäßige Schichtabscheidung unerlässlich ist.
Materialeigenschaften von Graphit
Graphit-Materialsorten
Naturgraphit wird in drei Haupttypen eingeteilt: amorpher Graphit, Flockengraphit und Adergraphit (Klumpengraphit). Jeder Typ hat unterschiedliche Eigenschaften und eignet sich für verschiedene industrielle Anforderungen.
| Graphit Typ | Einführung | Wichtige Eigenschaften |
|---|---|---|
| Amorpher Graphit | Mikrokristalliner Graphit aus metamorphosierten Kohleflözen; stumpfes Aussehen und weiche Textur. | - Kohlenstoffgehalt: 60-85% - Feine Partikelgröße - Gute Wärmeleitfähigkeit - Mäßige elektrische Leitfähigkeit - Gute Schmiereigenschaften |
| Flockengraphit | Geschichteter Graphit, der sich in metamorphen Gesteinen bildet; glänzend mit metallischem Schimmer. | - Kohlenstoffgehalt: 85-99% - Ausgezeichnete Wärmeleitfähigkeit - Hohe elektrische Leitfähigkeit - Starke Schmierfähigkeit - Stabil in chemischer Umgebung |
| Ader (Klumpen) Graphit | Hydrothermal geformter Graphit mit höchster Reinheit und Leitfähigkeit. | - Kohlenstoffgehalt: 90-99% - Außergewöhnliche Wärmeleitfähigkeit - Sehr hohe elektrische Leitfähigkeit - Hervorragende Oxidationsbeständigkeit - Ausgezeichnete chemische Stabilität |
Synthetischer Graphit wird durch die Hochtemperaturbehandlung von kohlenstoffhaltigen Materialien hergestellt. Im Vergleich zu Naturgraphit bietet er kontrolliertere Eigenschaften, wie höhere Reinheit, bessere Gleichmäßigkeit und spezifische Leistungsvorteile für verschiedene industrielle Anwendungen. Zu den gebräuchlichen Typen gehören Biographit, gesenkgeformter Graphit, extrudierter Graphit, isostatischer Graphit und vibrationsgeformter Graphit.
| Graphit Typ | Einführung | Wichtige Eigenschaften |
|---|---|---|
| Biographit | Wird durch Karbonisierung aus biologischen Materialien gewonnen. | - Kohlenstoffgehalt: 80-95% - Mäßige thermische und elektrische Leitfähigkeit - Poröse Struktur, gut für die Filtration - Beständig gegen Säuren und Basen |
| Gesenkgegossener Graphit | Kompaktes Kohlenstoffpulver, geformt und graphitiert. | - Hohe Dichte und Festigkeit - Ausgezeichnete elektrische Leitfähigkeit - Chemisch inert - Hochgradig bearbeitbar |
| Stranggepresster Graphit | Extrudiertes Kohlenstoffmaterial mit gerichteter Kornstruktur. | - Hoher Kohlenstoffgehalt >99% - Gute Leitfähigkeit - Anisotrope Eigenschaften - Mäßige Verschleißfestigkeit |
| Isostatischer Graphit | Hergestellt durch isostatisches Pressen für einheitliche Eigenschaften. | - Ultrahochgradige Reinheit >99,99% - Isotrope Festigkeit - Ausgezeichnete thermische und elektrische Leitfähigkeit - Feinkörnige Struktur |
| Vibrationsgeformter Graphit | Durch Vibrationsverdichtung geformter Graphit. | - Hoher Kohlenstoffgehalt >99% - Gute elektrische Leitfähigkeit - Langlebig mit hoher Druckfestigkeit - Bearbeitbar zu großen Teilen |
Spezialgraphit umfasst eine breite Palette von technischen Graphitmaterialien, die den hohen Anforderungen verschiedener Branchen gerecht werden. Jede Sorte wird in einzigartiger Weise verarbeitet oder modifiziert, um bestimmte Eigenschaften wie Wärmeleitfähigkeit, chemische Beständigkeit, strukturelle Festigkeit oder elektrische Leistung zu verbessern. Diese Materialien sind in Bereichen wie Energiespeicherung, Funkenerosion, Kerntechnik und Hochtemperaturverarbeitung von entscheidender Bedeutung. Ob durch Reinigung, Imprägnierung oder fortschrittliche Abscheidungstechniken, Spezialgraphite bieten gezielte Lösungen, wo gewöhnlicher Graphit nicht ausreicht.
| Klasse | Wichtige Eigenschaften | Anwendungen |
|---|---|---|
| Batterie-Graphit | Hohe Reinheit (>99,95%), elektrochemische Stabilität, geringe Oberfläche, kugelförmige/flockige Partikel (5-20 μm) | Lithium-Ionen-Batterien, Energiespeichersysteme |
| EDM-Graphit | Feines Korn (2-10 μm), hohe elektrische Leitfähigkeit, geringes Gewicht, Erosionsbeständigkeit, Wärmeleitfähigkeit | Funkenerosion (EDM) |
| Flexibler Graphit | Hochflexibel, Wärmeleitfähigkeit (150-300 W/m-K), chemische Beständigkeit, Komprimierbarkeit, großer Temperaturbereich | Dichtungen, EMI-Abschirmung, Wärmemanagement |
| Metallimprägnierter Graphit | Verbesserte thermische und elektrische Leitfähigkeit, Korrosionsbeständigkeit, mechanische Festigkeit, Verschleißfestigkeit | Lager, Dichtungen, chemische Verarbeitungsanlagen |
| Graphit in Nuklearqualität | Hohe Dichte (>1,70 g/cm³), geringe Neutronenabsorption, thermische Stabilität, Strahlungsbeständigkeit, geringe Porosität | Kernreaktoren (Moderatoren, Reflektoren, Abschirmungen) |
| Pyrolytischer Graphit | Hochgradig anisotrop, Leitfähigkeit in der Ebene, EMI-Abschirmung, chemische Beständigkeit, hohe Dichte (≈2,20 g/cm³) | Elektronik, Luft- und Raumfahrt, medizinische Geräte |
| Feuerfester Graphit | Abrieb- und Temperaturwechselbeständigkeit, chemische Stabilität, Oxidationsbeständigkeit (beschichtet), geringe Wärmeausdehnung | Metallurgie, Keramikindustrie, chemische Reaktoren |
| Harz-imprägnierter Graphit | Chemische Beständigkeit, verbesserte Festigkeit, geringere Porosität, Oxidationsbeständigkeit, geringere Leitfähigkeit | Pumpen, Gleitringdichtungen, chemische Förderanlagen |
Graphitverbundwerkstoffe kombinieren Graphit mit anderen Materialien wie Kohlenstoff, Fasern, Harzen oder Metallen, um deren Eigenschaften für bestimmte Hochleistungsanwendungen zu verbessern und auszugleichen. Bei diesen Verbundwerkstoffen bleiben die natürlichen Vorteile von Graphit wie Schmierfähigkeit, Leitfähigkeit und thermische Stabilität erhalten, während gleichzeitig die Festigkeit, Verschleißfestigkeit oder strukturelle Steifigkeit verbessert wird. Graphitverbundwerkstoffe werden in vielen Branchen eingesetzt, z. B. in der Luft- und Raumfahrt, der Metallurgie, der Elektronik und der chemischen Verarbeitung, und bieten hervorragende Lösungen für anspruchsvolle Umgebungen, in denen herkömmliche Materialien versagen können.
| Eigentum | Kohlenstoff-Graphit | Graphit-Faser-Verbundwerkstoffe |
|---|---|---|
| Abnutzungswiderstand | Hoch, wirksam bei Anwendungen mit hoher Reibung | Gut, mit hoher Ermüdungs- und Stoßfestigkeit |
| Stärke | Hohe Festigkeit und Steifigkeit | Außergewöhnliche Zugfestigkeit und hohe Steifigkeit |
| Dichte | Geringes Gewicht durch niedrige Dichte | Sehr geringe Dichte für kritische Gewichtsreduzierung |
| Thermische Stabilität | Arbeitet bei bis zu 3000°C in inerten Umgebungen | Behält seine Integrität bei hohen Temperaturen bei |
| Wärmeleitfähigkeit | Mäßig bis hoch, je nach Inhaltsstoffen | Hoch, ermöglicht hervorragende Wärmeableitung |
| Elektrische Leitfähigkeit | Gut, geeignet für EDM und Elektroden | Mäßig, nützlich für die EMI-Abschirmung |
| Chemische Beständigkeit | Beständig gegen Säuren, Laugen und organische Lösungsmittel | Inert gegenüber den meisten Chemikalien, Feuchtigkeit und UV-Strahlung |
| Reibungseigenschaften | Selbstschmierend, geringe Reibung auch bei extremen Temperaturen | Hohe Ermüdungsfestigkeit, geringe Wärmeausdehnung |
| Oxidationsbeständigkeit | Begrenzt, kann aber durch Beschichtungen verbessert werden | Stabil in nicht oxidierenden Umgebungen |
| Anwendungen | Metallurgie, EDM-Elektroden, Hochtemperaturteile | Luft- und Raumfahrt, strukturelle Verbundwerkstoffe, Elektronik |
Graphit-Keramik-Bearbeitung
Graphit ist ein synthetisches keramisches Material aus kristallinem Kohlenstoff, das eine außergewöhnliche Wärmeleitfähigkeit, hohe Wärmebeständigkeit, geringe Porosität und Stabilität bei extremen Temperaturen aufweist. Diese Eigenschaften machen es für Hochtemperaturanwendungen wie Guss, Metallurgie und Elektronik unverzichtbar. Die Bearbeitung von Graphit erfordert jedoch aufgrund seiner einzigartigen Eigenschaften spezielle Techniken: Er ist spröde und kann bei der Bearbeitung feine Partikel und Risse erzeugen. Graphit verformt sich nicht wie Metalle unter den Schnittkräften und erfordert eine präzise Bearbeitung, um die Maßhaltigkeit und die Unversehrtheit der Oberfläche zu gewährleisten. Zu den gängigen Bearbeitungsmethoden gehören:
- CNC-Bearbeitung: Computergesteuertes Bohren, Fräsen und Schleifen werden häufig für die Herstellung komplexer Graphitteile mit engen Toleranzen eingesetzt.
- Diamant-Schleifen: Diamantwerkzeuge werden eingesetzt, um glatte Oberflächen und präzise Formen zu erzielen und gleichzeitig die Partikelbildung zu minimieren.
- Sägen: Spezialisierte Sägen werden zum Schneiden verwendet Graphitblöcke in bestimmte Größen oder grobe Formen, bevor sie feiner bearbeitet werden.
- Bohren: Das Bohren von Graphit nach Maß erfordert eine sorgfältige Kontrolle von Geschwindigkeit und Vorschub, um Risse zu vermeiden und saubere Löcher zu erhalten.
- Fräsen: Das Hochgeschwindigkeitsfräsen mit Hartmetall- oder diamantbeschichteten Werkzeugen wird zur Herstellung detaillierter Profile und Kavitäten eingesetzt.
- Oberflächenveredelung: Nach der ersten Formgebung wird durch zusätzliches Schleifen oder Polieren die für technische Anwendungen erforderliche Oberflächengüte erreicht.
Graphit-Keramik-Verpackungen
Graphitkeramikprodukte werden in der Regel in vakuumversiegelten Beuteln verpackt, um Feuchtigkeit oder Verunreinigungen zu vermeiden, und mit Schaumstoff umwickelt, um Erschütterungen und Stöße während des Transports zu dämpfen und die Qualität der Produkte im Originalzustand zu gewährleisten.
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