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Spanish PECVD-Graphit-Boot
PECVD-Graphit-Boot
Reinheit: ≥99%
PECVD-Graphit-Boot is made from high-purity graphite with excellent thermal stability, electrical conductivity, and corrosion resistance. It is widely used to support silicon wafers during PECVD processes in solar cell and semiconductor production. By enabling stable plasma discharge between wafer carriers, it helps form high-quality anti-reflective and passivation layers, improving the overall conversion efficiency. Its strong structure and precise design ensure consistent performance under high temperatures and vacuum conditions. We can supply high-quality flexible graphite foil with various specifications and competitive prices, offering customized solutions to meet specific requirements.
Oder senden Sie uns eine E-Mail an sales@heegermaterials.com.PECVD Graphite Boat Data Sheet
| Referenzcode | HM2599 |
| Reinheit | ≥99.9% |
| Farbe | Dunkelgrau bis Schwarz |
| Chemische Formel | C |
| Werkstoffklassen | Naturgraphit, synthetischer Graphit, Spezialgraphit, Verbundgraphit |
| Dichte | 1,65-1,95 g/cm³ |
| Maximale Betriebstemperatur | Bis zu 3000°C (in inerter Atmosphäre) |
| Wärmeleitfähigkeit | 100-200 W/m-K |
PECVD Graphite Boat Description
PECVD-Graphit-Boot plays a vital role in plasma-enhanced chemical vapor deposition by securely holding silicon wafers during coating processes. Manufactured from ultra-pure graphite, it offers outstanding dimensional stability, low particle generation, and strong resistance to thermal shock. In PECVD chambers, the boat’s precise structure ensures uniform plasma exposure, allowing for the deposition of smooth, high-quality SiNx films. Its durability under extreme environments makes it essential for achieving high-efficiency solar cells and reliable semiconductor devices.
PECVD Graphite Boat Technical Parameter
| Dichte | Widerstandsfähigkeit | Druckfestigkeit | Biegefestigkeit | The Coefficient of Thermal Expansion (CTE) | Esche | Korngröße |
| g/cm3 | μΩm | Mpa | Mpa | % | μm | |
| 1.80 | 10 | 55 | 30 | 4.5 | 0.1 | 45 |
| 1.85 | 9 | 62 | 35 | 5.5 | 0.1 | 45 |
PECVD Graphite Boat Specifications
| Type | Spezifikationen | Note |
| 125mm*125mm 156mm*156mm Monocrystal/Polycrystal | 13 pieces | High-purity graphite Applied in PECVD equipment. |
| 15 pieces | ||
| 17 pieces | ||
| 19 pieces |
PECVD Graphite Boat Accessories
| 125 Type（125mm*125mm） | 125 Graphite Boat Side Sheet | |
| 125 Graphite Boat Center Sheet | ||
| 156 Type（156mm*156mm） | 156 Graphite Boat Side Sheet | |
| 156 Graphite Boat Center Sheet | ||
| Graphite Screw | M6*215 | High-purity graphite |
| M6*190 | ||
| M6*275 | ||
| M8*215 | ||
| M8*190 | ||
| M8*160 | ||
| M8*245 | ||
| Graphite Nut, Graphite Cap Nut | M6, M8 | |
PECVD Graphite Boat Features
- Manufactured with high-precision machining equipment and strict process control to ensure consistent dimensions and a smooth, clean surface.
- Made from high-purity graphite with low impurity levels, providing excellent strength and long-term stability at high temperatures without deformation.
- Incorporates advanced production techniques that effectively eliminate “color spots” during continuous processing, improving product reliability.
PECVD Graphite Boat Applications
- Solar Cell Production: Serves as a critical carrier for silicon wafers during PECVD processes, helping form high-efficiency anti-reflective coatings that boost photovoltaic conversion rates.
- Semiconductor Manufacturing: Supports wafer processing during thin-film deposition, ensuring precise control over film quality and uniformity.
- Surface Passivation: Used to assist in the deposition of passivation layers that enhance the electrical performance and longevity of solar cells.
- Thin-Film Coating Systems: Plays a vital role in coating applications where stable, high-purity graphite support is essential for consistent film deposition.
Materialeigenschaften von Graphit
Graphit-Materialsorten
Naturgraphit wird in drei Haupttypen eingeteilt: amorpher Graphit, Flockengraphit und Adergraphit (Klumpengraphit). Jeder Typ hat unterschiedliche Eigenschaften und eignet sich für verschiedene industrielle Anforderungen.
| Graphit Typ | Einführung | Wichtige Eigenschaften |
|---|---|---|
| Amorpher Graphit | Mikrokristalliner Graphit aus metamorphosierten Kohleflözen; stumpfes Aussehen und weiche Textur. | - Kohlenstoffgehalt: 60-85% - Feine Partikelgröße - Gute Wärmeleitfähigkeit - Mäßige elektrische Leitfähigkeit - Gute Schmiereigenschaften |
| Flockengraphit | Geschichteter Graphit, der sich in metamorphen Gesteinen bildet; glänzend mit metallischem Schimmer. | - Kohlenstoffgehalt: 85-99% - Ausgezeichnete Wärmeleitfähigkeit - Hohe elektrische Leitfähigkeit - Starke Schmierfähigkeit - Stabil in chemischer Umgebung |
| Ader (Klumpen) Graphit | Hydrothermal geformter Graphit mit höchster Reinheit und Leitfähigkeit. | - Kohlenstoffgehalt: 90-99% - Außergewöhnliche Wärmeleitfähigkeit - Sehr hohe elektrische Leitfähigkeit - Hervorragende Oxidationsbeständigkeit - Ausgezeichnete chemische Stabilität |
Synthetischer Graphit wird durch die Hochtemperaturbehandlung von kohlenstoffhaltigen Materialien hergestellt. Im Vergleich zu Naturgraphit bietet er kontrolliertere Eigenschaften, wie höhere Reinheit, bessere Gleichmäßigkeit und spezifische Leistungsvorteile für verschiedene industrielle Anwendungen. Zu den gebräuchlichen Typen gehören Biographit, gesenkgeformter Graphit, extrudierter Graphit, isostatischer Graphit und vibrationsgeformter Graphit.
| Graphit Typ | Einführung | Wichtige Eigenschaften |
|---|---|---|
| Biographit | Wird durch Karbonisierung aus biologischen Materialien gewonnen. | - Kohlenstoffgehalt: 80-95% - Mäßige thermische und elektrische Leitfähigkeit - Poröse Struktur, gut für die Filtration - Beständig gegen Säuren und Basen |
| Gesenkgegossener Graphit | Kompaktes Kohlenstoffpulver, geformt und graphitiert. | - Hohe Dichte und Festigkeit - Ausgezeichnete elektrische Leitfähigkeit - Chemisch inert - Hochgradig bearbeitbar |
| Stranggepresster Graphit | Extrudiertes Kohlenstoffmaterial mit gerichteter Kornstruktur. | - Hoher Kohlenstoffgehalt >99% - Gute Leitfähigkeit - Anisotrope Eigenschaften - Mäßige Verschleißfestigkeit |
| Isostatischer Graphit | Hergestellt durch isostatisches Pressen für einheitliche Eigenschaften. | - Ultrahochgradige Reinheit >99,99% - Isotrope Festigkeit - Ausgezeichnete thermische und elektrische Leitfähigkeit - Feinkörnige Struktur |
| Vibrationsgeformter Graphit | Durch Vibrationsverdichtung geformter Graphit. | - Hoher Kohlenstoffgehalt >99% - Gute elektrische Leitfähigkeit - Langlebig mit hoher Druckfestigkeit - Bearbeitbar zu großen Teilen |
Spezialgraphit umfasst eine breite Palette von technischen Graphitmaterialien, die den hohen Anforderungen verschiedener Branchen gerecht werden. Jede Sorte wird in einzigartiger Weise verarbeitet oder modifiziert, um bestimmte Eigenschaften wie Wärmeleitfähigkeit, chemische Beständigkeit, strukturelle Festigkeit oder elektrische Leistung zu verbessern. Diese Materialien sind in Bereichen wie Energiespeicherung, Funkenerosion, Kerntechnik und Hochtemperaturverarbeitung von entscheidender Bedeutung. Ob durch Reinigung, Imprägnierung oder fortschrittliche Abscheidungstechniken, Spezialgraphite bieten gezielte Lösungen, wo gewöhnlicher Graphit nicht ausreicht.
| Klasse | Wichtige Eigenschaften | Anwendungen |
|---|---|---|
| Batterie-Graphit | Hohe Reinheit (>99,95%), elektrochemische Stabilität, geringe Oberfläche, kugelförmige/flockige Partikel (5-20 μm) | Lithium-Ionen-Batterien, Energiespeichersysteme |
| EDM-Graphit | Feines Korn (2-10 μm), hohe elektrische Leitfähigkeit, geringes Gewicht, Erosionsbeständigkeit, Wärmeleitfähigkeit | Funkenerosion (EDM) |
| Flexibler Graphit | Hochflexibel, Wärmeleitfähigkeit (150-300 W/m-K), chemische Beständigkeit, Komprimierbarkeit, großer Temperaturbereich | Dichtungen, EMI-Abschirmung, Wärmemanagement |
| Metallimprägnierter Graphit | Verbesserte thermische und elektrische Leitfähigkeit, Korrosionsbeständigkeit, mechanische Festigkeit, Verschleißfestigkeit | Lager, Dichtungen, chemische Verarbeitungsanlagen |
| Graphit in Nuklearqualität | Hohe Dichte (>1,70 g/cm³), geringe Neutronenabsorption, thermische Stabilität, Strahlungsbeständigkeit, geringe Porosität | Kernreaktoren (Moderatoren, Reflektoren, Abschirmungen) |
| Pyrolytischer Graphit | Hochgradig anisotrop, Leitfähigkeit in der Ebene, EMI-Abschirmung, chemische Beständigkeit, hohe Dichte (≈2,20 g/cm³) | Elektronik, Luft- und Raumfahrt, medizinische Geräte |
| Feuerfester Graphit | Abrieb- und Temperaturwechselbeständigkeit, chemische Stabilität, Oxidationsbeständigkeit (beschichtet), geringe Wärmeausdehnung | Metallurgie, Keramikindustrie, chemische Reaktoren |
| Harz-imprägnierter Graphit | Chemische Beständigkeit, verbesserte Festigkeit, geringere Porosität, Oxidationsbeständigkeit, geringere Leitfähigkeit | Pumpen, Gleitringdichtungen, chemische Förderanlagen |
Graphitverbundwerkstoffe kombinieren Graphit mit anderen Materialien wie Kohlenstoff, Fasern, Harzen oder Metallen, um deren Eigenschaften für bestimmte Hochleistungsanwendungen zu verbessern und auszugleichen. Bei diesen Verbundwerkstoffen bleiben die natürlichen Vorteile von Graphit wie Schmierfähigkeit, Leitfähigkeit und thermische Stabilität erhalten, während gleichzeitig die Festigkeit, Verschleißfestigkeit oder strukturelle Steifigkeit verbessert wird. Graphitverbundwerkstoffe werden in vielen Branchen eingesetzt, z. B. in der Luft- und Raumfahrt, der Metallurgie, der Elektronik und der chemischen Verarbeitung, und bieten hervorragende Lösungen für anspruchsvolle Umgebungen, in denen herkömmliche Materialien versagen können.
| Eigentum | Kohlenstoff-Graphit | Graphit-Faser-Verbundwerkstoffe |
|---|---|---|
| Abnutzungswiderstand | Hoch, wirksam bei Anwendungen mit hoher Reibung | Gut, mit hoher Ermüdungs- und Stoßfestigkeit |
| Stärke | Hohe Festigkeit und Steifigkeit | Außergewöhnliche Zugfestigkeit und hohe Steifigkeit |
| Dichte | Geringes Gewicht durch niedrige Dichte | Sehr geringe Dichte für kritische Gewichtsreduzierung |
| Thermische Stabilität | Arbeitet bei bis zu 3000°C in inerten Umgebungen | Behält seine Integrität bei hohen Temperaturen bei |
| Wärmeleitfähigkeit | Mäßig bis hoch, je nach Inhaltsstoffen | Hoch, ermöglicht hervorragende Wärmeableitung |
| Elektrische Leitfähigkeit | Gut, geeignet für EDM und Elektroden | Mäßig, nützlich für die EMI-Abschirmung |
| Chemische Beständigkeit | Beständig gegen Säuren, Laugen und organische Lösungsmittel | Inert gegenüber den meisten Chemikalien, Feuchtigkeit und UV-Strahlung |
| Reibungseigenschaften | Selbstschmierend, geringe Reibung auch bei extremen Temperaturen | Hohe Ermüdungsfestigkeit, geringe Wärmeausdehnung |
| Oxidationsbeständigkeit | Begrenzt, kann aber durch Beschichtungen verbessert werden | Stabil in nicht oxidierenden Umgebungen |
| Anwendungen | Metallurgie, EDM-Elektroden, Hochtemperaturteile | Luft- und Raumfahrt, strukturelle Verbundwerkstoffe, Elektronik |
Graphit-Keramik-Bearbeitung
Graphit ist ein synthetisches keramisches Material aus kristallinem Kohlenstoff, das eine außergewöhnliche Wärmeleitfähigkeit, hohe Wärmebeständigkeit, geringe Porosität und Stabilität bei extremen Temperaturen aufweist. Diese Eigenschaften machen es für Hochtemperaturanwendungen wie Guss, Metallurgie und Elektronik unverzichtbar. Die Bearbeitung von Graphit erfordert jedoch aufgrund seiner einzigartigen Eigenschaften spezielle Techniken: Er ist spröde und kann bei der Bearbeitung feine Partikel und Risse erzeugen. Graphit verformt sich nicht wie Metalle unter den Schnittkräften und erfordert eine präzise Bearbeitung, um die Maßhaltigkeit und die Unversehrtheit der Oberfläche zu gewährleisten. Zu den gängigen Bearbeitungsmethoden gehören:
- CNC-Bearbeitung: Computergesteuertes Bohren, Fräsen und Schleifen werden häufig für die Herstellung komplexer Graphitteile mit engen Toleranzen eingesetzt.
- Diamant-Schleifen: Diamantwerkzeuge werden eingesetzt, um glatte Oberflächen und präzise Formen zu erzielen und gleichzeitig die Partikelbildung zu minimieren.
- Sägen: Spezialsägen werden verwendet, um Graphitblöcke in bestimmte Größen oder grobe Formen zu schneiden, bevor sie feiner bearbeitet werden.
- Bohren: Das Bohren von Graphit nach Maß erfordert eine sorgfältige Kontrolle von Geschwindigkeit und Vorschub, um Risse zu vermeiden und saubere Löcher zu erhalten.
- Fräsen: Das Hochgeschwindigkeitsfräsen mit Hartmetall- oder diamantbeschichteten Werkzeugen wird zur Herstellung detaillierter Profile und Kavitäten eingesetzt.
- Oberflächenveredelung: Nach der ersten Formgebung wird durch zusätzliches Schleifen oder Polieren die für technische Anwendungen erforderliche Oberflächengüte erreicht.
Graphit-Keramik-Verpackungen
Graphitkeramikprodukte werden in der Regel in vakuumversiegelten Beuteln verpackt, um Feuchtigkeit oder Verunreinigungen zu vermeiden, und mit Schaumstoff umwickelt, um Erschütterungen und Stöße während des Transports zu dämpfen und die Qualität der Produkte im Originalzustand zu gewährleisten.
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