Barco de grafito PECVD
PECVD Graphite Boat Data Sheet
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Código de referencia |
HM2599 |
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Pureza |
≥99.9% |
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Color |
Gris oscuro a negro |
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Fórmula química |
C |
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Grados de material |
Grafito natural, grafito sintético, grafito especial, grafito compuesto |
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Densidad |
1.65–1.95 g/cm³ |
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Temperatura máxima de funcionamiento |
Hasta 3000°C (en atmósfera inerte) |
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Conductividad térmica |
100-200 W/m-K |
PECVD Graphite Boat Description
Barco de grafito PECVD plays a vital role in plasma-enhanced chemical vapor deposition by securely holding silicon wafers during coating processes. Manufactured from ultra-pure graphite, it offers outstanding dimensional stability, low particle generation, and strong resistance to thermal shock. In PECVD chambers, the boat’s precise structure ensures uniform plasma exposure, allowing for the deposition of smooth, high-quality SiNx films. Its durability under extreme environments makes it essential for achieving high-efficiency solar cells and reliable semiconductor devices.
PECVD Graphite Boat Technical Parameter
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Densidad |
Resistividad |
Resistencia a la compresión |
Resistencia a la flexión |
The Coefficient of Thermal Expansion (CTE) |
Fresno |
Granulometría |
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g/cm3 |
μΩm |
Mpa |
Mpa |
|
% |
μm |
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1.80 |
10 |
55 |
30 |
4.5 |
0.1 |
45 |
|
1.85 |
9 |
62 |
35 |
5.5 |
0.1 |
45 |
PECVD Graphite Boat Specifications
Tipo |
Specifications |
Nota |
125mm*125mm |
13 pieces |
High-purity graphite |
15 pieces |
||
17 pieces |
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19 pieces |
PECVD Graphite Boat Accessories
125 Type（125mm*125mm） |
125 Graphite Boat Side Sheet |
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125 Graphite Boat Center Sheet |
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156 Type（156mm*156mm） |
156 Graphite Boat Side Sheet |
|
156 Graphite Boat Center Sheet |
||
Graphite Screw |
M6*215 |
High-purity graphite |
M6*190 |
||
M6*275 |
||
M8*215 |
||
M8*190 |
||
M8*160 |
||
M8*245 |
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Graphite Nut, Graphite Cap Nut |
M6, M8 |
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PECVD Graphite Boat Features
- Manufactured with high-precision machining equipment and strict process control to ensure consistent dimensions and a smooth, clean surface.
- Made from high-purity graphite with low impurity levels, providing excellent strength and long-term stability at high temperatures without deformation.
- Incorporates advanced production techniques that effectively eliminate “color spots” during continuous processing, improving product reliability.
PECVD Graphite Boat Applications
- Solar Cell Production: Serves as a critical carrier for silicon wafers during PECVD processes, helping form high-efficiency anti-reflective coatings that boost photovoltaic conversion rates.
- Fabricación de semiconductores: Supports wafer processing during thin-film deposition, ensuring precise control over film quality and uniformity.
- Surface Passivation: Used to assist in the deposition of passivation layers that enhance the electrical performance and longevity of solar cells.
- Thin-Film Coating Systems: Plays a vital role in coating applications where stable, high-purity graphite support is essential for consistent film deposition.
Solar Cell Production
Surface Passivation
Fabricación de semiconductores
Propiedades del grafito
Clases de material de carburo de boro
El grafito natural se clasifica en tres tipos principales: grafito amorfo, grafito en escamas y grafito en vetas (terrones). Cada tipo tiene características distintas y se adapta a diferentes necesidades industriales.
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Tipo de grafito |
Introducción |
Propiedades clave |
|---|---|---|
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Grafito amorfo |
Grafito microcristalino procedente de filones de carbón metamorfoseados; aspecto mate y textura blanda. |
- Contenido de carbono: 60-85% |
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Grafito en escamas |
Grafito estratificado formado en rocas metamórficas; brillante con lustre metálico. |
- Contenido de carbono: 85-99% |
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Veta (Terrón) Grafito |
Grafito formado hidrotermalmente con la máxima pureza y conductividad. |
- Contenido de carbono: 90-99% |
El grafito sintético se produce mediante el tratamiento a alta temperatura de materiales carbonosos. Ofrece propiedades más controladas que el grafito natural, como mayor pureza, mejor uniformidad y ventajas de rendimiento específicas para diferentes aplicaciones industriales. Los tipos más comunes son el biografito, el grafito moldeado a presión, el grafito extruido, el grafito isostático y el grafito moldeado por vibración.
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Tipo de grafito |
Introducción |
Propiedades clave |
|---|---|---|
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Biografita |
Derivado de materiales biológicos mediante carbonización. |
- Contenido de carbono: 80-95% |
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Grafito moldeado a presión |
Polvos de carbono compactados, moldeados y grafitizados. |
- Alta densidad y resistencia |
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Grafito extruido |
Material de carbono extruido con estructura de grano direccional. |
- Alto contenido en carbono >99% |
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Grafito isostático |
Producido por prensado isostático para propiedades uniformes. |
- Pureza ultra alta >99,99% |
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Grafito moldeado por vibración |
Grafito formado por compactación por vibración. |
- Alto contenido en carbono >99% |
El grafito especial abarca una amplia gama de materiales de grafito diseñados para satisfacer los exigentes requisitos de diversas industrias. Cada grado se procesa o modifica de forma única para mejorar propiedades específicas como la conductividad térmica, la resistencia química, la resistencia estructural o el rendimiento eléctrico. Estos materiales son fundamentales en campos como el almacenamiento de energía, el mecanizado por descarga eléctrica, la tecnología nuclear y el procesamiento a altas temperaturas. Ya sea mediante purificación, impregnación o técnicas avanzadas de deposición, los grafitos especiales ofrecen soluciones específicas para los casos en los que el grafito ordinario no sería suficiente.
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Grado |
Propiedades clave |
Aplicaciones |
|---|---|---|
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Grafito de grado batería |
Alta pureza (>99,95%), estabilidad electroquímica, baja área superficial, partículas esféricas/en copos (5-20 μm). |
Baterías de iones de litio, sistemas de almacenamiento de energía |
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EDM Grafito |
Grano fino (2-10 μm), alta conductividad eléctrica, ligereza, resistencia a la erosión, conductividad térmica. |
Mecanizado por descarga eléctrica (EDM) |
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Grafito flexible |
Alta flexibilidad, conductividad térmica (150-300 W/m-K), resistencia química, compresibilidad, amplio rango de temperaturas |
Juntas, sellos, blindaje EMI, gestión térmica |
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Grafito impregnado de metal |
Mayor conductividad térmica y eléctrica, resistencia a la corrosión, resistencia mecánica, resistencia al desgaste |
Rodamientos, juntas, equipos de procesamiento químico |
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Grafito de calidad nuclear |
Alta densidad (>1,70 g/cm³), baja absorción de neutrones, estabilidad térmica, resistencia a la radiación, baja porosidad |
Reactores nucleares (moderadores, reflectores, blindaje) |
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Grafito pirolítico |
Altamente anisótropo, conductividad en el plano, blindaje EMI, resistencia química, alta densidad (≈2,20 g/cm³). |
Electrónica, aeroespacial, dispositivos médicos |
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Grafito refractario |
Resistencia a la abrasión y al choque térmico, estabilidad química, resistencia a la oxidación (recubierto), baja dilatación térmica |
Metalurgia, industria cerámica, reactores químicos |
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Grafito impregnado de resina |
Resistencia química, mayor resistencia, menor porosidad, resistencia a la oxidación, menor conductividad |
Bombas, cierres mecánicos, equipos de manipulación de productos químicos |
Los compuestos de grafito combinan grafito con otros materiales como carbono, fibras, resinas o metales para mejorar y equilibrar sus propiedades en aplicaciones específicas de alto rendimiento. Estos compuestos conservan las ventajas naturales del grafito, como la lubricidad, la conductividad y la estabilidad térmica, a la vez que mejoran la solidez, la resistencia al desgaste o la rigidez estructural. Ampliamente utilizados en sectores como el aeroespacial, la metalurgia, la electrónica y el procesamiento químico, los compuestos de grafito ofrecen excelentes soluciones para entornos exigentes en los que los materiales tradicionales pueden fallar.
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Propiedad |
Carbono-grafito |
Compuestos de fibra de grafito |
|---|---|---|
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Resistencia al desgaste |
Alta, eficaz en aplicaciones de alta fricción |
Buena resistencia a la fatiga y a los impactos |
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Fuerza |
Gran resistencia y rigidez |
Excepcional resistencia a la tracción y gran rigidez |
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Densidad |
Ligero gracias a su baja densidad |
Densidad muy baja para una reducción crítica del peso |
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Estabilidad térmica |
Funciona hasta 3000°C en entornos inertes |
Mantiene la integridad a altas temperaturas |
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Conductividad térmica |
Moderada a alta, dependiendo de los componentes |
Alta, lo que permite una excelente disipación del calor |
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Conductividad eléctrica |
Buena, adecuada para electroerosión y electrodos |
Moderado, útil para apantallamiento EMI |
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Resistencia química |
Resistente a ácidos, álcalis y disolventes orgánicos |
Inerte a la mayoría de los productos químicos, la humedad y los rayos UV |
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Propiedades de fricción |
Autolubricante, baja fricción incluso a temperaturas extremas |
Alta resistencia a la fatiga, baja dilatación térmica |
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Resistencia a la oxidación |
Limitado, pero puede mejorarse con revestimientos |
Estable en entornos no oxidantes |
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Aplicaciones |
Metalurgia, electrodos de electroerosión, piezas de alta temperatura |
Aeroespacial, compuestos estructurales, electrónica |
Mecanizado de cerámica de grafito
Grafito es un material cerámico sintético fabricado a partir de carbono cristalino, que ofrece una excepcional conductividad térmica, alta resistencia térmica, baja porosidad y estabilidad a temperaturas extremas. Estas propiedades lo hacen esencial para aplicaciones de alto calor como la fundición, la metalurgia y la electrónica. Sin embargo, el mecanizado del grafito requiere técnicas especializadas debido a sus características únicas: es quebradizo y puede producir partículas finas y fisuras durante el procesamiento. El grafito no se deforma bajo fuerzas de corte como los metales, lo que exige una manipulación precisa para mantener la exactitud dimensional y la integridad de la superficie. Entre los métodos de mecanizado habituales se incluyen:
- Mecanizado CNC: El taladrado, fresado y rectificado controlados por ordenador se utilizan ampliamente para crear piezas de grafito complejas con tolerancias muy ajustadas.
- Rectificado con diamante: Las herramientas de diamante se aplican para conseguir acabados suaves y formas precisas minimizando la generación de partículas.
- Serrar: Se utilizan sierras especializadas para cortar bloques de grafito en tamaños específicos o formas aproximadas antes de un mecanizado más fino.
- Perforación: El taladrado de grafito a medida requiere un cuidadoso control de la velocidad y el avance para evitar grietas y conseguir orificios limpios.
- Fresado: El fresado de alta velocidad con herramientas de carburo o recubiertas de diamante se utiliza para producir perfiles y cavidades detallados.
- Acabado superficial: Tras el conformado primario, un esmerilado o pulido adicional garantiza el acabado superficial requerido para las aplicaciones técnicas.
Envases cerámicos de grafito
Los productos cerámicos de grafito suelen envasarse en bolsas selladas al vacío para evitar la humedad o la contaminación y se envuelven con espuma para amortiguar las vibraciones y los impactos durante el transporte, lo que garantiza la calidad de los productos en su estado original.
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