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Spanish Quarz-Düse
Quarz-Düse
Quarz-Düse ist ein hochreines, hitzebeständiges Bauteil, das häufig in Halbleiter-, Plasma- und chemischen Verarbeitungsanlagen verwendet wird. Es bietet eine ausgezeichnete thermische Stabilität, eine geringe thermische Ausdehnung und eine hohe Beständigkeit gegen chemische Korrosion, wodurch es für den Einsatz in rauen Umgebungen mit hohen Temperaturen und aggressiven Gasen geeignet ist. Sein Präzisionsdesign sorgt für einen reibungslosen Gas- oder Flüssigkeitsdurchfluss, wodurch Verunreinigungen reduziert und die Systemleistung verbessert werden. Wir können hochwertige Quarzdüsen für Ätzgeräte mit verschiedenen Spezifikationen und zu wettbewerbsfähigen Preisen liefern und bieten maßgeschneiderte Lösungen für spezifische Anforderungen.
Oder senden Sie uns eine E-Mail an sales@heegermaterials.com.Datenblatt für Quarzdüsen
| Farbe: | Weiß - transparent |
| Die Form: | Kundenspezifisch |
| Abmessungen (Zoll): | Kundenspezifisch |
| Chemische Formel: | SiO2 |
Quarzdüse Beschreibung
Quarzdüsen bestehen aus hochreinem Quarzglas und werden wegen ihrer Fähigkeit, extremen thermischen und chemischen Bedingungen standzuhalten, geschätzt. Sie behält ihre strukturelle Integrität unter schnellen Heiz- und Kühlzyklen bei und eignet sich daher für anspruchsvolle Anwendungen wie Ätz-, CVD- und Hochtemperatur-Sprühsysteme. Seine nicht reaktive Oberfläche minimiert die Bildung von Partikeln und Verunreinigungen und gewährleistet einen sauberen Betrieb in kritischen Umgebungen.
Eigenschaften der Quarzdüsen
- Hohe Wärmebeständigkeit, geeignet für den Dauereinsatz in Umgebungen mit hohen Temperaturen
- Ausgezeichnete chemische Stabilität gegen Säuren und Plasmakorrosion
- Geringe thermische Ausdehnung, wodurch die Rissbildung bei schnellen Temperaturänderungen minimiert wird
- Hohe Reinheit (in der Regel >99,99% SiO₂), die eine minimale Verunreinigung gewährleistet
- Glatte Innenfläche für gleichmäßigen Gas- oder Flüssigkeitsstrom
Quarzdüsen-Anwendungen
- Halbleiterherstellung: Verwendung in Plasmaätz-, CVD- und Diffusionssystemen
- Chemische Gasphasenabscheidung (CVD): Liefert Gase gleichmäßig in Hochtemperaturkammern
- Industrielle Sprühsysteme: Auftragen von Beschichtungen oder Behandlungen in Hochtemperaturverfahren
- Glasfaserproduktion: Steuert den Gas- oder Materialfluss in Ziehtürmen
- Labor- und Forschungsausrüstung: Ermöglicht präzise Gaskontrolle bei hochreinen Experimenten
Eigenschaften von Quarz-Keramik-Material
| Reinheit (%) | >99.8 | >99.5 |
| Dichte (g/cm3) | 1.9-1.95 | 1.9-1.95 |
| Flexturfestigkeit (MPa) | 28 | 28 |
| Druckfestigkeit (MPa) | >50 | >50 |
| Biegefestigkeit (MPa) | 25 | 25 |
| Maximale Arbeitstemperatur (℃) | 1650 | 1650 |
| Wärmeleitfähigkeit (W/m*K) | <1 | <1 |
| Wärmeausdehnungskoeffizient (/℃) | 8.5*10-7 | 8.5*10-7 |
| Anzahl der Nutzung | ≥10 | ≥10 |
Bearbeitung von Quarz-Keramik-Material
Quarzkeramik kann vor dem Sintern in grünem oder biskuitem Zustand bearbeitet werden, wodurch sie sich leichter in komplexe Formen bringen lässt. Wie andere keramikWährend des Sinterns schrumpft es um etwa 15-20%, so dass dies bei der ursprünglichen Konstruktion berücksichtigt werden muss. Nach dem Sintern wird Quarzkeramik extrem hart und spröde, was die Bearbeitung sehr schwierig macht und diamantbeschichtete Werkzeuge und hochpräzise Geräte erfordert.
Bearbeitungsverfahren und Überlegungen
- Grün- oder Biskuit-Bearbeitung: Quarzkeramik lässt sich vor dem Sintern leichter schneiden und formen, so dass sie sich für komplizierte Designs eignet.
- Sinter-Schrumpfung: Während des Sinterns ist mit einer Größenreduzierung von 15-20% zu rechnen, was die Maßgenauigkeit beeinträchtigt.
- Nachsinternde Bearbeitung: Nach dem Sintern wird Quarz hart und spröde und erfordert Diamantwerkzeuge und eine präzise Kontrolle.
- Zerbrechlichkeit: Vollständig gesinterte Quarzkeramik neigt bei unsachgemäßer Handhabung zu Absplitterungen oder Rissen.
- Werkzeuge und Zeit: Die Bearbeitung von Sinterquarz ist langsam und erfordert spezielle Geräte.
Quarz-Keramik-Verpackungen
Quarzkeramikprodukte werden in der Regel in vakuumversiegelten Beuteln verpackt, um Feuchtigkeit oder Verunreinigungen zu vermeiden, und mit Schaumstoff umwickelt, um Erschütterungen und Stöße während des Transports abzufedern und die Qualität der Produkte im Originalzustand zu gewährleisten.
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