Aluminiumnitrid-Sputtering-Target
Aluminiumnitrid-Sputtering-Target
Reinheit: 95%-99%
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Aluminum Nitride Sputtering Target Data Sheet
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Referenz-Code: |
HMST457 |
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Reinheit: |
99.5%-99.9% |
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Die Dichte: |
3.26 g/cm3 |
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Erscheinungsbild: |
Bluish White, Crystalline Solid |
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Die Form: |
Rectangular, Disc, or Tube |
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Bonding Service: |
Unbonding, or Bonding |
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Schmelzpunkt: |
>2200℃ |
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Z Ratio: |
1.00 |
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Sputter: |
RF-R |
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Max Power Density: |
20 W/in² |
Aluminiumnitrid-Sputtering-Target
Aluminum Nitride (AlN) Sputtering Target is a high-performance ceramic sputtering target material, featuring exceptional thermal conductivity, electrical resistivity, and hardness. Its uniform composition and dense structure make it ideal for producing smooth, defect-free films through magnetron sputtering or ion beam deposition. They are widely used in microelectronics, optoelectronics, and photovoltaics. Advanced Keramik Hub can provide customized solutions in terms of purity, size, density, and other parameters to meet diverse industrial and research applications.
Aluminum Nitride Sputtering Target Specifications
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ircular Sputtering Targets |
Durchmesser |
1.0″ |
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Rechteckige Sputtering-Targets |
Breite x Länge |
5” x 12″ |
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Dicke |
0.125″, 0.25″ |
Aluminum Nitride Sputtering Target Features
- High purity and density
- Low particle
- Uniform film thickness distribution
- High efficiency in the use
Aluminum Nitride Sputtering Target Applications
- Halbleiterindustrie: The aluminum nitride (AlN) sputtering target is commonly used in thin-film deposition for insulating and passivation layers and as a buffer layer in GaN-based devices (e.g., HEMTs).
- Optoelectronics: The aluminum nitride (AlN) sputtering target is the key material for UV LEDs and laser diodes due to its wide bandgap (6.2 eV) and transparency to ultraviolet light.
- Acoustic Wave Devices: Deposited as piezoelectric films for surface acoustic wave (SAW) and bulk acoustic wave (BAW) sensors/resonators in 5G/6G filters.
- Protective Coatings: The aluminum nitride (AlN) sputtering target can provide wear-resistant and thermally stable coatings for aerospace/components.
- Thermisches Management: High thermal conductivity (~320 W/m·K) makes it ideal for heat dissipation in high-power electronics.
Thermomanagement-Techniken
Elektrischer und elektronischer Bereich
Automobilbranche
Luft- und Raumfahrt
Medizinischer Bereich
Aluminum Nitride Sputtering Target Quality Control
Raw Material Composition Analysis
Impurities are analyzed using ICP and GDMS for metals, and carbon-sulfur and nitrogen-oxygen analyzers for non-metals, ensuring purity meets required standards.
Metallographic Inspection
Detection equipment is used to inspect the target material for internal defects or shrinkage holes, while metallographic testing ensures the grain structure is fine and dense.
Appearance and Dimensional Inspection
Micrometers and calipers measure dimensions, while a cleanliness instrument checks surface smoothness and cleanliness.
Materialeigenschaften von Aluminiumnitrid
Aluminiumnitrid-Werkstoffklassen
HMAN1000 ist unser Standardmaterial aus hochreinem Aluminiumnitrid mit einer Wärmeleitfähigkeit von 170 W/mK. Es hat die gleiche Wärmeleitfähigkeit wie unser Trägermaterial, bietet aber die Möglichkeit, größere Stücke in Länge/Breite und in Dicken bis zu 30 mm herzustellen.
HMAN1000 hat einen guten Wärmeausdehnungskoeffizienten, der über weite Temperaturbereiche mit dem von Silizium und Galliumnitrid vergleichbar ist.
HMAN100 Anwendungen:
- Hochleistungs-Isolatoren
- Laser-Komponenten
- Wassergekühlte Kühlkörper
- Leistungselektronik
- Komponenten für Luft- und Raumfahrt, Medizintechnik und Halbleiter
HMAN1000S 170 W/mK ist unser Standard-Substratmaterial mit hoher Wärmeleitfähigkeit. Es sind jedoch auch andere Hochleistungsqualitäten erhältlich.
HMAN1000S Anwendungen:
- Wärmesenken
- Wärmespreizer
- Laser-Kühlkörper Leistungsgleichrichter
- Luft- und Raumfahrt, Leistungselektronik, Gleichrichter
HMAN2000 ist eine unserer verbesserten Aluminiumnitridqualitäten, die alle mechanischen Eigenschaften von HMAN1000 mit dem zusätzlichen Vorteil einer Wärmeleitfähigkeit von 200 W/mK bietet.
HMAN2000-Anwendungen:
- Wärmesenken
- Wärmespreizer
- Laser-Kühlkörper Leistungsgleichrichter
- Luft- und Raumfahrt, Leistungselektronik, Gleichrichter
HMAN3000 ist eine unserer verbesserten Aluminiumnitridqualitäten, die alle mechanischen Eigenschaften von HMAN1000 mit dem zusätzlichen Vorteil einer Wärmeleitfähigkeit von 230 W/mK bietet.
HMAN3000 Anwendungen:
- Wärmesenken
- Wärmespreizer
- Laser-Kühlkörper Leistungsgleichrichter
- Luft- und Raumfahrt, Leistungselektronik, Gleichrichter
HMAN4000 ist eine unserer verbesserten Aluminiumnitridqualitäten, die alle mechanischen Eigenschaften von HMAN1000 mit dem zusätzlichen Vorteil einer Wärmeleitfähigkeit von 200 W/mK bietet.
HMAN4000 Anwendungen:
- Wärmesenken
- Wärmespreizer
- Laser-Kühlkörper Leistungsgleichrichter
- Luft- und Raumfahrt, Leistungselektronik, Gleichrichter
Machining of aluminum nitride ceramic
Machining aluminum nitride (AlN) ceramics is a precision process used to manufacture high-performance components from aluminum nitride materials. Machining aluminum nitride ceramics requires specialized equipment and techniques to address their brittleness and hardness. Proper tooling and controlled environments are essential to prevent material damage and achieve the desired surface finish and dimensional accuracy. Common machining methods include:
- Diamond cutting: Diamantwerkzeuge werden zur Erzielung feiner Präzision und glatter Oberflächen verwendet und sind ideal für komplexe Formen.
- Laser cutting: Ein berührungsloses Verfahren für komplizierte Formen, mit hoher Präzision und minimaler thermischer Belastung.
- Precision grinding: Used to achieve fine tolerances and surface finishes. Requires special care to prevent cracking or chipping due to the fragility of ceramics.
- Wire electrical discharge machining (EDM): A method often used for intricate cuts, especially for fine and complex geometries.
Aluminiumnitrid-Keramik-Verpackungen
Aluminiumnitrid-Keramikprodukte werden in der Regel in vakuumversiegelten Beuteln verpackt, um Feuchtigkeit oder Verunreinigungen zu vermeiden, und mit Schaumstoff umwickelt, um Erschütterungen und Stöße während des Transports zu dämpfen und die Qualität der Produkte in ihrem ursprünglichen Zustand zu gewährleisten.
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