Blanco para sputtering de nitruro de aluminio
Blanco para sputtering de nitruro de aluminio
Pureza: 95%-99%
O envíenos un correo electrónico a sales@heegermaterials.com.
Aluminum Nitride Sputtering Target Data Sheet
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Código de referencia: |
HMST457 |
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Pureza: |
99.5%-99.9% |
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Densidad: |
3.26 g/cm3 |
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Apariencia: |
Bluish White, Crystalline Solid |
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Forma: |
Rectangular, Disc, or Tube |
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Bonding Service: |
Unbonding, or Bonding |
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Punto de fusión: |
>2200℃ |
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Z Ratio: |
1.00 |
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Sputter: |
RF-R |
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Max Power Density: |
20 W/in² |
Blanco para sputtering de nitruro de aluminio
Aluminum Nitride (AlN) Sputtering Target is a high-performance ceramic sputtering target material, featuring exceptional thermal conductivity, electrical resistivity, and hardness. Its uniform composition and dense structure make it ideal for producing smooth, defect-free films through magnetron sputtering or ion beam deposition. They are widely used in microelectronics, optoelectronics, and photovoltaics. Advanced Cerámica Hub can provide customized solutions in terms of purity, size, density, and other parameters to meet diverse industrial and research applications.
Aluminum Nitride Sputtering Target Specifications
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ircular Sputtering Targets |
Diámetro |
1.0″ |
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Rectangular Sputtering Targets |
Width x Length |
5” x 12″ |
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Espesor |
0.125″, 0.25″ |
Aluminum Nitride Sputtering Target Features
- High purity and density
- Low particle
- Uniform film thickness distribution
- High efficiency in the use
Aluminum Nitride Sputtering Target Applications
- Industria de semiconductores: The aluminum nitride (AlN) sputtering target is commonly used in thin-film deposition for insulating and passivation layers and as a buffer layer in GaN-based devices (e.g., HEMTs).
- Optoelectrónica: The aluminum nitride (AlN) sputtering target is the key material for UV LEDs and laser diodes due to its wide bandgap (6.2 eV) and transparency to ultraviolet light.
- Acoustic Wave Devices: Deposited as piezoelectric films for surface acoustic wave (SAW) and bulk acoustic wave (BAW) sensors/resonators in 5G/6G filters.
- Protective Coatings: The aluminum nitride (AlN) sputtering target can provide wear-resistant and thermally stable coatings for aerospace/components.
- Gestión térmica: High thermal conductivity (~320 W/m·K) makes it ideal for heat dissipation in high-power electronics.
Técnicas de gestión térmica
Área Eléctrica y Electrónica
industria del automóvil
Aeroespacial
Área Médica
Aluminum Nitride Sputtering Target Quality Control
Raw Material Composition Analysis
Impurities are analyzed using ICP and GDMS for metals, and carbon-sulfur and nitrogen-oxygen analyzers for non-metals, ensuring purity meets required standards.
Metallographic Inspection
Detection equipment is used to inspect the target material for internal defects or shrinkage holes, while metallographic testing ensures the grain structure is fine and dense.
Appearance and Dimensional Inspection
Micrometers and calipers measure dimensions, while a cleanliness instrument checks surface smoothness and cleanliness.
Propiedades del nitruro de aluminio
Grados del material de nitruro de aluminio
HMAN1000 es nuestro nitruro de aluminio estándar de alta pureza con una conductividad térmica de 170 W/mK. Se trata del mismo rendimiento térmico que nuestro material de sustrato, pero ofrece la posibilidad de piezas más grandes en longitud/anchura y en espesores de hasta 30 mm.
El HMAN1000 tiene un buen coeficiente de dilatación térmica, equiparable al del silicio y el nitruro de galio en amplios intervalos de temperatura.
Aplicaciones HMAN100:
- Aisladores de alta potencia
- Componentes láser
- Disipadores refrigerados por agua
- Electrónica de potencia
- Componentes aeroespaciales, médicos y semiconductores
HMAN1000S 170 W/mK es nuestro material de sustrato estándar de alta conductividad térmica, aunque también disponemos de otros grados de alto rendimiento.
Aplicaciones HMAN1000S:
- Disipadores de calor
- Difusores de calor
- Disipadores térmicos para láser Rectificadores de potencia
- Aeroespacial, electrónica de potencia, rectificadores
HMAN2000 es uno de nuestros grados mejorados de nitruro de aluminio, que ofrece todas las prestaciones mecánicas de HMAN1000 con las ventajas mejoradas de una conductancia térmica de 200 W/mK.
Aplicaciones HMAN2000:
- Disipadores de calor
- Difusores de calor
- Disipadores térmicos para láser Rectificadores de potencia
- Aeroespacial, electrónica de potencia, rectificadores
HMAN3000 es una de nuestras calidades mejoradas de nitruro de aluminio que ofrece todas las prestaciones mecánicas de HMAN1000 con las ventajas mejoradas de una conductancia térmica de 230 W/mK.
Aplicaciones HMAN3000:
- Disipadores de calor
- Difusores de calor
- Disipadores térmicos para láser Rectificadores de potencia
- Aeroespacial, electrónica de potencia, rectificadores
HMAN4000 es una de nuestras calidades mejoradas de nitruro de aluminio que ofrece todas las prestaciones mecánicas de HMAN1000 con las ventajas mejoradas de una conductancia térmica de 200 W/mK.
Aplicaciones HMAN4000:
- Disipadores de calor
- Difusores de calor
- Disipadores térmicos para láser Rectificadores de potencia
- Aeroespacial, electrónica de potencia, rectificadores
Mecanizado de cerámica de nitruro de aluminio
El mecanizado de cerámicas de nitruro de aluminio (AlN) es un proceso de precisión utilizado para fabricar componentes de alto rendimiento a partir de materiales de nitruro de aluminio. El mecanizado de cerámicas de nitruro de aluminio requiere equipos y técnicas especializados para hacer frente a su fragilidad y dureza. Un utillaje adecuado y entornos controlados son esenciales para evitar daños en el material y lograr el acabado superficial y la precisión dimensional deseados. Entre los métodos de mecanizado habituales se incluyen:
- Corte de diamantes: Las herramientas diamantadas se utilizan para conseguir una precisión fina y acabados superficiales suaves, ideales para formas complejas.
- Corte por láser: Un método sin contacto utilizado para formas intrincadas, con gran precisión y un impacto térmico mínimo.
- Rectificado de precisión: Se utiliza para conseguir tolerancias finas y acabados superficiales. Requiere un cuidado especial para evitar que se agriete o astille debido a la fragilidad de la cerámica.
- Mecanizado por descarga eléctrica de hilo (EDM): Método utilizado a menudo para cortes intrincados, especialmente para geometrías finas y complejas.
Envases cerámicos de nitruro de aluminio
Los productos cerámicos de nitruro de aluminio suelen envasarse en bolsas selladas al vacío para evitar la humedad o la contaminación y se envuelven con espuma para amortiguar las vibraciones y los impactos durante el transporte, lo que garantiza la calidad de los productos en su estado original.
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