Tiegel für pyrolytisches Bornitrid

Tiegel für pyrolytisches Bornitrid

Der Tiegel aus pyrolytischem Bornitrid ist ein hochreines und leistungsstarkes Keramikmaterial. Im Gegensatz zu herkömmlichem heißgepresstem Bornitrid wird es durch chemische Gasphasenabscheidung (CVD) unter Vakuumbedingungen unter Verwendung von Ammoniak und Borhalogeniden hergestellt, ohne dass herkömmliche Heißpresssinterverfahren oder Sintermittel erforderlich sind. Es bietet höchste Reinheit (bis zu 99,999%), außergewöhnliche Hochtemperaturbeständigkeit (bis zu 2000℃), Korrosionsbeständigkeit, Wärmeleitfähigkeit und elektrische Isolierung. Es ist ideal für die Halbleiterkristallzüchtung, das Schmelzen bei hohen Temperaturen und die Herstellung dünner Schichten. Fortgeschrittene Keramik Hub kann hochwertige Tiegel aus pyrolytischem Bornitrid für verschiedene Anwendungsprozesse entsprechend den spezifischen Anforderungen maßschneidern, darunter PBN OLED-Tiegel, PBN MBE-Tiegel, PBN VGF-Tiegel und PBN LEC-Tiegel.

Pyrolytisches Bornitrid OLED-Tiegel

Der PBN-OLED-Tiegel ist eine Art PBN-Tiegel, der in der OLED- und CIGS-Aufdampfungstechnologie verwendet wird. Er zeichnet sich durch höchste Reinheit, chemische Inertheit, hervorragende Hochtemperaturleistung und thermische Stabilität aus und wird daher häufig in Metall- und Halbleiteraufdampfverfahren eingesetzt.

Spezifikation	Innendurchmesser (mm)	Durchmesser der Lippe (mm)	Höhe (mm)
300cc	55	70	160
500cc	55	82	190
580cc	62	84	186
700ccm	61	85	240
1200cc	78	115	240

Pyrolytisches Bornitrid MBE-Tiegel

Der PBN MBE-Tiegel ist ein Hochleistungstiegel, der im Molekularstrahlepitaxie (MBE)-Prozess verwendet wird. Er zeichnet sich durch höchste Reinheit, chemische Inertheit und hervorragende Hochtemperaturstabilität aus, so dass er den hohen Temperaturen während des MBE-Prozesses standhält, ohne Gase freizusetzen oder chemische Reaktionen einzugehen.

MBE-Ausrüstung	Spezifikation	Innendurchmesser (mm)	Durchmesser der Lippe (mm)	Höhe (mm)
Veeco	125cc	37	>55	118
Veeco	500cc	100	130	160
Veeco	1700ccm	130	160	290
Veeco	3700cc	180	210	300
Riber	BN-100L	13	27	77
Riber	BN-125L	20	32	89
Riber	BN-135L	24	37	89
Riber	200cc	68	84	156
Hinweis	Die Abmessungen und Formen können je nach den spezifischen Anforderungen angepasst werden.

Pyrolytisches Bornitrid VGF-Tiegel

Der VGF-Tiegel ist ein Behälter, der bei der Vertical Gradient Freezing (VGF)-Technik zur Synthese von Kristallen wie GaAs, InP, CZGaP und Ge verwendet wird. Die VGF-Tiegel von PBN können hohen Temperaturen standhalten und bieten eine stabile thermische Umgebung, in der der Kristall kontrolliert von unten nach oben wachsen kann. Das Ergebnis sind Einkristalle mit geringer Defektdichte und hoher Gleichmäßigkeit.

Katalog-Nr.	Anmeldung	Innendurchmesser	Höhe	Dicke
BV-2	VGF	2″	10″	0.035″
BV-3	VGF	3″	10″	0.035″
BV-4	VGF	4″	8″	0.035″
BV-5	VGF	5″	8″	0.04″
BV-6	VGF	6″	7″	0.04″
BV-8	VGF	8″	20″	0.08″

Pyrolytisches Bornitrid LEC-Tiegel

Der PBN LEC-Tiegel ist ein hochleistungsfähiger Keramikbehälter, der speziell für das LEC-Verfahren (Liquid Encapsulated Czochralski) entwickelt wurde, das hauptsächlich für die Züchtung von Verbindungshalbleiter-Einkristallen wie Galliumarsenid (GaAs) und Indiumphosphid (InP) verwendet wird. Die außergewöhnliche chemische Stabilität und Korrosionsbeständigkeit des LEC-Tiegels von PBN gewährleisten, dass er nicht durch die Schmelze oder Verkapselungsmittel erodiert, während er die langsame Extraktion des Kristalls aus der Schmelze zur Bildung hochwertiger Einkristalle unterstützt.

Katalog-Nr.	Anmeldung	Innendurchmesser	Höhe	Dicke
BL-3	LEC	3″	3″	0.03″
BL-4	LEC	4″	4″	0.035″
BL-5	LEC	5″	5″	0.035″
BL-6	LEC	6″	6″	0.04″
BL-7	LEC	7″	7″	0.04″
BL-8	LEC	8″	8″	0.04″
BL-14	LEC	14″	14″	0.08″

Tiegel für pyrolytisches Bornitrid Verfügbare Spezifikationen

Code: PBN-C1-12 Fassungsvermögen:1 cm³	Code: PBN-C1-14 Fassungsvermögen:1 cm³	Code: PBN-C1-20 Fassungsvermögen: 1,5 cm³	Code: PBN-C2-16 Fassungsvermögen: 2cm³
Code: PBN-C2-22 Fassungsvermögen: 2 cm³	Code: PBN-C5-16 Fassungsvermögen: 5 cm³	Code: PBN-C5-27 Fassungsvermögen: 5 cm³	Code: PBN-C5-29 Fassungsvermögen:5 cm³
Code: PBN-C8-27 Fassungsvermögen: 8 cm³	Code: PBN-C10-22 Fassungsvermögen: 10 cm³	Code: PBN-C12-36 Fassungsvermögen: 12 cm³	Code: PB-C12-37 Fassungsvermögen: 12 cm³
Code: PBN-C16-36 Fassungsvermögen: 16 cm³	Code: PBN-C25-33 Fassungsvermögen: 25 cm³	Code: PBN-C25-51 Fassungsvermögen: 25 cm³	Code: PBN-C35-34 Fassungsvermögen: 35 cm³
Code: PBN-C40-51 Fassungsvermögen: 40 cm³	Code: PBN-C60-54 Fassungsvermögen: 60 cm³	Code: PBN-C60-37 Fassungsvermögen: 60cm³	Code: PBN-C70-60 Fassungsvermögen: 70 cm³
Code: PBN-C75-77 Fassungsvermögen: 75 cm³	Code: PBN-C80-54 Fassungsvermögen: 80 cm³	Code: PBN-C82-71 Fassungsvermögen: 82 cm³	Code: PBN-C85-41 Fassungsvermögen: 85 cm³
Code: PBN-C125-54 Fassungsvermögen: 125 cm³	Code: PBN-C130-54 Fassungsvermögen: 130 cm³	Code: PBN-C150-60 Fassungsvermögen: 150 cm³	Code: PBN-C155-60 Fassungsvermögen: 155 cm³
Code: PBN-C160-60 Fassungsvermögen: 160 cm³	Code: PBN-C200-84 Fassungsvermögen: 200 cm³	Code: PBN-C200-58 Fassungsvermögen: 200 cm³	Code: PBN-C200-102 Fassungsvermögen: 200 cm³
Code: PBN-C420-84 Fassungsvermögen: 420 cm³

Tiegel für pyrolytisches Bornitrid Vorteile

• Hohe Reinheit (99,99%-99,999%)
• Hohe Dichte (>2,12 g/cm³)
• Keine Gasfreisetzung bei hohen Temperaturen
• Gleichmäßige Dicke, exzellente Erhitzungskonsistenz
• Hervorragende Wärmeleitfähigkeit und Temperaturwechselbeständigkeit
• Hohe Zwischenschichtfestigkeit, leicht zu reinigen, wiederverwendbar
• Chemisch inert, reagiert nicht mit Säuren, Laugen, Salzen oder organischen Lösungsmitteln bei hohen Temperaturen

Tiegel aus pyrolytischem Bornitrid Anwendungen

• Halbleiterkristallzüchtung: PBN-Tiegel sind ideale Gefäße für die Züchtung von III-V-Verbindungshalbleiterkristallen (z. B. Galliumarsenid GaAs, Indiumphosphid InP und Galliumnitrid GaN) in Verfahren wie der Molekularstrahlepitaxie (MBE) und der Flüssigphasenepitaxie (LPE).
• Hochtemperatur Schmelzen: PBN-Tiegel werden sehr gerne zum Schmelzen von Edelmetallen (z. B. Gold, Silber, Platin) oder Speziallegierungen verwendet, da sie mit den meisten geschmolzenen Metallen nicht reagieren.
• Vorbereitung von Dünnschichtmaterial: PBN-Tiegel werden üblicherweise als Verdampfungsgefäße in Vakuum- oder thermischen Verdampfungssystemen verwendet, um hochwertige Dünnschichtmaterialien herzustellen. Sie finden breite Anwendung bei der Herstellung von optischen Beschichtungen und elektronischen Geräten.