Quarzring für Ätzgeräte
Quarzring für Ätzgeräte
Reinheit: 99,99%
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Quarzring für Ätzgeräte Datenblatt
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Farbe: |
Weiß - transparent |
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Abmessungen (Zoll): |
2, 4, oder individuell |
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Äußerer Durchmesser (mm): |
50,8, 101,6 oder angepasst |
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Dicke(mm): |
3, 4, oder kundenspezifisch |
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Reinheit: |
99.99% |
Quarzring für Ätzgeräte Beschreibung
Quarzring für Ätzgeräte ist ein hochreines, präzisionsgefertigtes Bauteil, das für den Einsatz in Halbleiter-Ätzprozessen entwickelt wurde. Es wird aus synthetischem oder geschmolzenem Quarz hergestellt und bietet eine ausgezeichnete Temperaturwechselbeständigkeit, eine geringe Wärmeausdehnung und eine hervorragende chemische Stabilität in Plasmaumgebungen. Dadurch eignet es sich besonders für das reaktive Ionenätzen (RIE) und das tiefe reaktive Ionenätzen (DRIE), bei denen hohe Reinheit und Maßhaltigkeit entscheidend sind. Die glatte Oberfläche und die engen Maßtoleranzen tragen dazu bei, die Gleichmäßigkeit des Plasmas aufrechtzuerhalten, die Partikelkontamination zu verringern und die Lebensdauer der Anlagen zu verlängern.
Quarzring für Ätzgeräte Merkmale
- Hohe Reinheit: Besteht aus hochwertigem Quarzglas, das eine geringe Verunreinigung und eine ausgezeichnete thermische Stabilität gewährleistet.
- Geringe thermische Ausdehnung: Behält seine Dimensionen auch bei schnellen Temperaturschwankungen bei.
- Ausgezeichnete chemische Beständigkeit: Widersteht Säuren und den meisten korrosiven Umgebungen.
- Hervorragende dielektrische Eigenschaften: Ideal für die elektrische Isolierung bei hohen Spannungen und Hochfrequenzen.
- Glatte Oberfläche: Verringert die Ansammlung von Partikeln, geeignet für Reinräume und Halbleiteranwendungen.
Quarzring für Ätzgeräteanwendungen
- Ausrüstung zum Ätzen von Halbleitern: Unterstützt die Bearbeitung von Wafern bei hohen Temperaturen und Plasmabestrahlung.
- Reaktives Ionen-Ätzen (RIE): Sorgt für eine gleichmäßige Plasmaverteilung und eine hochpräzise Strukturierung.
- MEMS-Fertigung: Geeignet für Tiefätzanwendungen in der Produktion mikroelektromechanischer Systeme.
- Herstellung von Anzeigetafeln: Wird im Plasmaprozess für OLED- und LCD-Produktionslinien verwendet.
- Verarbeitung im Reinraum: Kompatibel mit ultrareinen Umgebungen aufgrund geringer Ausgasung und hoher Reinheit.
Eigenschaften von Quarz-Keramik-Material
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Reinheit (%) |
>99.8 |
>99.5 |
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Dichte (g/cm3) |
1.9-1.95 |
1.9-1.95 |
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Flexturfestigkeit (MPa) |
28 |
28 |
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Druckfestigkeit (MPa) |
>50 |
>50 |
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Biegefestigkeit (MPa) |
25 |
25 |
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Maximale Arbeitstemperatur (℃) |
1650 |
1650 |
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Wärmeleitfähigkeit (W/m*K) |
<1 |
<1 |
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Wärmeausdehnungskoeffizient (/℃) |
8.5*10-7 |
8.5*10-7 |
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Anzahl der Nutzung |
≥10 |
≥10 |
Bearbeitung von Quarz-Keramik-Material
Quarzkeramik kann vor dem Sintern in grünem oder biskuitem Zustand bearbeitet werden, wodurch sie sich leichter in komplexe Formen bringen lässt. Wie andere keramik, Während des Sinterns schrumpft es um etwa 15-20%, so dass dies bei der ursprünglichen Konstruktion berücksichtigt werden muss. Nach dem Sintern wird Quarzkeramik extrem hart und spröde, was die Bearbeitung sehr schwierig macht und diamantbeschichtete Werkzeuge und hochpräzise Geräte erfordert.
Bearbeitungsverfahren und Überlegungen
- Grün- oder Biskuit-Bearbeitung: Quarzkeramik lässt sich vor dem Sintern leichter schneiden und formen, so dass sie sich für komplizierte Designs eignet.
- Sinter-Schrumpfung: Während des Sinterns ist mit einer Größenreduzierung von 15-20% zu rechnen, was die Maßgenauigkeit beeinträchtigt.
- Nachsinternde Bearbeitung: Nach dem Sintern wird Quarz hart und spröde und erfordert Diamantwerkzeuge und eine präzise Kontrolle.
- Zerbrechlichkeit: Vollständig gesinterte Quarzkeramik neigt bei unsachgemäßer Handhabung zu Absplitterungen oder Rissen.
- Werkzeuge und Zeit: Die Bearbeitung von Sinterquarz ist langsam und erfordert spezielle Geräte.
Quarz-Keramik-Verpackungen
Quarzkeramikprodukte werden in der Regel in vakuumversiegelten Beuteln verpackt, um Feuchtigkeit oder Verunreinigungen zu vermeiden, und mit Schaumstoff umwickelt, um Erschütterungen und Stöße während des Transports abzufedern und die Qualität der Produkte im Originalzustand zu gewährleisten.
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