Quarzring für Ätzgeräte

Quartz Ceramic Ring 1024x683 1

Quarzring für Ätzgeräte

Purity: 99.99%

  • Kundenspezifische Größen und Standardgrößen auf Lager
  • Schnelle Vorlaufzeit
  • Konkurrenzfähiger Preis

  • Quartz Ring For Etching Equipment is made from high-purity fused silica, offering exceptional thermal stability, low thermal expansion, and strong resistance to thermal shock. It maintains its strength and structure even under rapid temperature changes and harsh chemical environments. With excellent dielectric properties and high purity, quartz ceramic ring is widely used in semiconductor manufacturing, high-temperature insulation, and chemical processing systems. We can supply high-quality quartz ring for etching equipment with various specifications and competitive prices, offering customized solutions to meet specific requirements.
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Quartz Ring For Etching Equipment Data Sheet

Farbe:

White – transparent

Dimension(inch):

2, 4, or customized

Outer Dimeter(mm):

50.8, 101.6 or customized

Thickness(mm):

3, 4, or customized

Reinheit:

99.99%

Quartz Ring For Etching Equipment Description

Quartz ring for etching equipment is a high-purity, precision-engineered component designed for use in semiconductor etching processes. Made from synthetic or fused quartz, it offers excellent thermal shock resistance, low thermal expansion, and superior chemical stability in plasma environments. This makes it especially suited for reactive ion etching (RIE) and deep reactive ion etching (DRIE), where high purity and dimensional stability are critical. Its smooth surface finish and tight dimensional tolerances help maintain plasma uniformity, reduce particle contamination, and extend equipment life

  • Quartz Ceramic Ring
  • Quartz Ceramic Ring

Quartz Ring For Etching Equipment Features

  • Hohe Reinheit: Composed of high-grade fused silica, ensuring low contamination and excellent thermal stability.
  • Geringe thermische Ausdehnung: Maintains dimensional integrity even under rapid temperature changes.
  • Excellent chemical resistance: Withstands acids and most corrosive environments.
  • Superior dielectric properties: Ideal for high-voltage and high-frequency electrical insulation.
  • Smooth surface finish: Reduces particle accumulation, suitable for cleanroom and semiconductor use.

Quartz Ring For Etching Equipment Applications

  • Semiconductor etching equipment: Supports wafer processing under high-temperature and plasma exposure.
  • Reactive ion etching (RIE): Ensures uniform plasma distribution and high-precision patterning.
  • MEMS fabrication: Suitable for deep etching applications in microelectromechanical systems production.
  • Display panel manufacturing: Used in the plasma process for OLED and LCD production lines.
  • Cleanroom processing: Compatible with ultra-clean environments due to low outgassing and high purity.
  • MEMS fabrication
  • Display panel manufacturing
  • Cleanroom processing 1024x384 1
  • Plasma Etching Equipment ETCH HM

Eigenschaften von Quarz-Keramik-Material

Reinheit (%)

>99.8

>99.5

Dichte (g/cm3)

1.9-1.95

1.9-1.95

Flexturfestigkeit (MPa)

28

28

Druckfestigkeit (MPa)

>50

>50

Biegefestigkeit (MPa)

25

25

Maximale Arbeitstemperatur (℃)

1650

1650

Wärmeleitfähigkeit (W/m*K)

<1

<1

Wärmeausdehnungskoeffizient (/℃)

8.5*10-7

8.5*10-7

Anzahl der Nutzung

≥10

≥10

Bearbeitung von Quarz-Keramik-Material

Quarz-Keramik-Bearbeitung

Quarzkeramik kann vor dem Sintern in grünem oder biskuitem Zustand bearbeitet werden, wodurch sie sich leichter in komplexe Formen bringen lässt. Wie andere keramik, Während des Sinterns schrumpft es um etwa 15-20%, so dass dies bei der ursprünglichen Konstruktion berücksichtigt werden muss. Nach dem Sintern wird Quarzkeramik extrem hart und spröde, was die Bearbeitung sehr schwierig macht und diamantbeschichtete Werkzeuge und hochpräzise Geräte erfordert.

Bearbeitungsverfahren und Überlegungen

  • Grün- oder Biskuit-Bearbeitung: Quarzkeramik lässt sich vor dem Sintern leichter schneiden und formen, so dass sie sich für komplizierte Designs eignet.
  • Sinter-Schrumpfung: Während des Sinterns ist mit einer Größenreduzierung von 15-20% zu rechnen, was die Maßgenauigkeit beeinträchtigt.
  • Nachsinternde Bearbeitung: Nach dem Sintern wird Quarz hart und spröde und erfordert Diamantwerkzeuge und eine präzise Kontrolle.
  • Zerbrechlichkeit: Vollständig gesinterte Quarzkeramik neigt bei unsachgemäßer Handhabung zu Absplitterungen oder Rissen.
  • Werkzeuge und Zeit: Die Bearbeitung von Sinterquarz ist langsam und erfordert spezielle Geräte.

Quarz-Keramik-Verpackungen

Quarzkeramikprodukte werden in der Regel in vakuumversiegelten Beuteln verpackt, um Feuchtigkeit oder Verunreinigungen zu vermeiden, und mit Schaumstoff umwickelt, um Erschütterungen und Stöße während des Transports abzufedern und die Qualität der Produkte im Originalzustand zu gewährleisten.

Keramikprodukte Verpackung HM

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To customize your quartz ring for etching equipment, please provide the following details:

  • Abmessungen: Innendurchmesser x Außendurchmesser x Höhe (Dicke)
  • Material Klasse: Geben Sie die Werkstoffsorten an.
  • Reinheit des Materials
  • Toleranzen: Geben Sie die Toleranzen an, die Sie akzeptieren können.
  • Oberfläche: poliert, rau, etc.
  • Menge der Ringe, die Sie benötigen
  • Alternativ können Sie auch eine Zeichnung mit Ihren Spezifikationen.

Once we have these details, we can provide you with a quote within 24 hours..

We carry a wide variety of quartz ceramic products in stock, and for these, there is generally no minimum order requirement. However, for custom orders, we typically set a minimum order value of $200. The lead time for stock items is usually 1-2 weeks, while custom orders usually take 3-4 weeks, depending on the specifics of the order.

Yes, it offers excellent thermal shock resistance and can operate under high-temperature plasma conditions without degrading.

Thanks to its durability and resistance to plasma erosion, the quartz ring has a long service life and helps reduce maintenance frequency.

Advanced Ceramic Hub wurde 2016 in Colorado, USA, gegründet und ist ein spezialisierter Anbieter und Hersteller von Graphenprodukten. Mit umfangreichem Fachwissen im Bereich Lieferung und Export bieten wir wettbewerbsfähige Preise und maßgeschneiderte Lösungen, die auf spezifische Anforderungen zugeschnitten sind und hervorragende Qualität und Kundenzufriedenheit gewährleisten. Als professioneller Anbieter von Keramik, hochschmelzenden Metallen, Speziallegierungen, kugelförmigen Pulvern und verschiedenen hochentwickelten Materialien bedienen wir die Bedürfnisse von Forschung, Entwicklung und großindustrieller Produktion in Wissenschaft und Industrie.

Quarzring für Ätzgeräte

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