Anillo de cuarzo para equipos de grabado
Anillo de cuarzo para equipos de grabado
Pureza: 99,99%
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Anillo de cuarzo para equipos de grabado Hoja de datos
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Color: |
Blanco - transparente |
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Dimensiones (pulgadas): |
2, 4 o personalizado |
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Diámetro exterior (mm): |
50,8, 101,6 o personalizado |
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Espesor (mm): |
3, 4 o personalizado |
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Pureza: |
99.99% |
Anillo de cuarzo para equipos de grabado Descripción
Anillo de cuarzo para equipos de grabado es un componente de alta pureza y precisión diseñado para su uso en procesos de grabado de semiconductores. Fabricado a partir de cuarzo sintético o fundido, ofrece una excelente resistencia al choque térmico, una baja expansión térmica y una estabilidad química superior en entornos de plasma. Esto lo hace especialmente adecuado para el grabado iónico reactivo (RIE) y el grabado iónico reactivo profundo (DRIE), donde la alta pureza y la estabilidad dimensional son críticas. Su acabado superficial liso y sus estrechas tolerancias dimensionales contribuyen a mantener la uniformidad del plasma, reducir la contaminación por partículas y prolongar la vida útil del equipo.
Anillo de cuarzo para equipos de grabado Características
- Alta pureza: Compuesto de sílice fundida de alta calidad, lo que garantiza una baja contaminación y una excelente estabilidad térmica.
- Baja dilatación térmica: Mantiene la integridad dimensional incluso con cambios rápidos de temperatura.
- Excelente resistencia química: Resiste los ácidos y la mayoría de los ambientes corrosivos.
- Propiedades dieléctricas superiores: Ideal para aislamiento eléctrico de alta tensión y alta frecuencia.
- Superficie lisa: Reduce la acumulación de partículas, adecuado para uso en salas limpias y semiconductores.
Anillo de cuarzo para aplicaciones de equipos de grabado
- Equipos de grabado de semiconductores: Admite el procesamiento de obleas a alta temperatura y la exposición al plasma.
- Grabado iónico reactivo (RIE): Garantiza una distribución uniforme del plasma y un patrón de alta precisión.
- Fabricación de MEMS: Adecuado para aplicaciones de grabado profundo en la producción de sistemas microelectromecánicos.
- Fabricación de paneles de visualización: Se utiliza en el proceso de plasma para las líneas de producción de OLED y LCD.
- Tratamiento en sala blanca: Compatible con entornos ultralimpios gracias a su baja desgasificación y alta pureza.
Propiedades del material cerámico de cuarzo
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Pureza (%) |
>99.8 |
>99.5 |
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Densidad (g/cm3) |
1.9-1.95 |
1.9-1.95 |
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Resistencia a la flexión (MPa) |
28 |
28 |
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Resistencia a la compresión (MPa) |
>50 |
>50 |
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Resistencia a la flexión (MPa) |
25 |
25 |
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Temperatura máxima de trabajo (℃) |
1650 |
1650 |
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Conductividad térmica (W/m*K) |
<1 |
<1 |
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Coeficiente de dilatación térmica (/℃) |
8.5*10-7 |
8.5*10-7 |
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número de uso |
≥10 |
≥10 |
Mecanizado de material cerámico de cuarzo
El material cerámico de cuarzo puede mecanizarse en estado verde o bizcocho antes de la sinterización, lo que facilita su moldeado en formas complejas. Al igual que otros cerámica, La cerámica de cuarzo se encoge unos 15-20% durante la sinterización, por lo que debe tenerse en cuenta en el diseño inicial. Tras la sinterización, la cerámica de cuarzo se vuelve extremadamente dura y quebradiza, por lo que su mecanizado resulta muy difícil y requiere herramientas recubiertas de diamante y equipos de alta precisión.
Métodos de mecanizado y consideraciones
- Mecanizado en verde o bizcocho: La cerámica de cuarzo es más fácil de cortar y moldear antes de la sinterización, lo que la hace adecuada para diseños intrincados.
- Contracción por sinterización: Se espera una reducción de tamaño de 15-20% durante la sinterización, lo que afecta a la precisión dimensional.
- Mecanizado posterior a la sinterización: Tras la sinterización, el cuarzo se vuelve duro y quebradizo, lo que requiere herramientas de diamante y un control preciso.
- Fragilidad: La cerámica de cuarzo totalmente sinterizada es propensa a astillarse o agrietarse si se manipula mal.
- Herramientas y tiempo: El mecanizado del cuarzo sinterizado es lento y requiere equipos especializados.
Envases de cerámica de cuarzo
Los productos cerámicos de cuarzo suelen envasarse en bolsas selladas al vacío para evitar la humedad o la contaminación y se envuelven con espuma para amortiguar las vibraciones y los impactos durante el transporte, lo que garantiza la calidad de los productos en su estado original.
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