Anillo de cuarzo para equipos de grabado
Anillo de cuarzo para equipos de grabado
Purity: 99.99%
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Quartz Ring For Etching Equipment Data Sheet
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Color: |
White – transparent |
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Dimension(inch): |
2, 4, or customized |
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Outer Dimeter(mm): |
50.8, 101.6 or customized |
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Thickness(mm): |
3, 4, or customized |
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Pureza: |
99.99% |
Quartz Ring For Etching Equipment Description
Quartz ring for etching equipment is a high-purity, precision-engineered component designed for use in semiconductor etching processes. Made from synthetic or fused quartz, it offers excellent thermal shock resistance, low thermal expansion, and superior chemical stability in plasma environments. This makes it especially suited for reactive ion etching (RIE) and deep reactive ion etching (DRIE), where high purity and dimensional stability are critical. Its smooth surface finish and tight dimensional tolerances help maintain plasma uniformity, reduce particle contamination, and extend equipment life
Quartz Ring For Etching Equipment Features
- Alta pureza: Composed of high-grade fused silica, ensuring low contamination and excellent thermal stability.
- Baja dilatación térmica: Maintains dimensional integrity even under rapid temperature changes.
- Excellent chemical resistance: Withstands acids and most corrosive environments.
- Superior dielectric properties: Ideal for high-voltage and high-frequency electrical insulation.
- Smooth surface finish: Reduces particle accumulation, suitable for cleanroom and semiconductor use.
Quartz Ring For Etching Equipment Applications
- Semiconductor etching equipment: Supports wafer processing under high-temperature and plasma exposure.
- Reactive ion etching (RIE): Ensures uniform plasma distribution and high-precision patterning.
- MEMS fabrication: Suitable for deep etching applications in microelectromechanical systems production.
- Display panel manufacturing: Used in the plasma process for OLED and LCD production lines.
- Cleanroom processing: Compatible with ultra-clean environments due to low outgassing and high purity.
Propiedades del material cerámico de cuarzo
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Pureza (%) |
>99.8 |
>99.5 |
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Densidad (g/cm3) |
1.9-1.95 |
1.9-1.95 |
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Resistencia a la flexión (MPa) |
28 |
28 |
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Resistencia a la compresión (MPa) |
>50 |
>50 |
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Resistencia a la flexión (MPa) |
25 |
25 |
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Temperatura máxima de trabajo (℃) |
1650 |
1650 |
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Conductividad térmica (W/m*K) |
<1 |
<1 |
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Coeficiente de dilatación térmica (/℃) |
8.5*10-7 |
8.5*10-7 |
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número de uso |
≥10 |
≥10 |
Mecanizado de material cerámico de cuarzo
El material cerámico de cuarzo puede mecanizarse en estado verde o bizcocho antes de la sinterización, lo que facilita su moldeado en formas complejas. Al igual que otros cerámica, La cerámica de cuarzo se encoge unos 15-20% durante la sinterización, por lo que debe tenerse en cuenta en el diseño inicial. Tras la sinterización, la cerámica de cuarzo se vuelve extremadamente dura y quebradiza, por lo que su mecanizado resulta muy difícil y requiere herramientas recubiertas de diamante y equipos de alta precisión.
Métodos de mecanizado y consideraciones
- Mecanizado en verde o bizcocho: La cerámica de cuarzo es más fácil de cortar y moldear antes de la sinterización, lo que la hace adecuada para diseños intrincados.
- Contracción por sinterización: Se espera una reducción de tamaño de 15-20% durante la sinterización, lo que afecta a la precisión dimensional.
- Mecanizado posterior a la sinterización: Tras la sinterización, el cuarzo se vuelve duro y quebradizo, lo que requiere herramientas de diamante y un control preciso.
- Fragilidad: La cerámica de cuarzo totalmente sinterizada es propensa a astillarse o agrietarse si se manipula mal.
- Herramientas y tiempo: El mecanizado del cuarzo sinterizado es lento y requiere equipos especializados.
Envases de cerámica de cuarzo
Los productos cerámicos de cuarzo suelen envasarse en bolsas selladas al vacío para evitar la humedad o la contaminación y se envuelven con espuma para amortiguar las vibraciones y los impactos durante el transporte, lo que garantiza la calidad de los productos en su estado original.
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