Quarz-Düse

Quarz-Düse
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Quartz Nozzle Data Sheet
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Farbe: |
White – transparent |
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Die Form: |
Kundenspezifisch |
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Dimension(inch): |
Kundenspezifisch |
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Chemische Formel: |
SiO2 |
Quartz Nozzle Description
Quartz nozzle is made from high-purity fused silica and is valued for its ability to withstand extreme thermal and chemical conditions. It maintains structural integrity under rapid heating and cooling cycles, making it suitable for demanding applications such as etching, CVD, and high-temperature spraying systems. Its non-reactive surface minimizes particle generation and contamination, ensuring clean operation in critical environments.
Quartz Nozzle Features
- High thermal resistance, suitable for continuous use in high-temperature environments
- Excellent chemical stability against acids and plasma corrosion
- Low thermal expansion, minimizing cracking under rapid temperature changes
- High purity (typically >99.99% SiO₂), ensuring minimal contamination
- Smooth inner surface for uniform gas or fluid flow
Quartz Nozzle Applications
- Halbleiterherstellung: Used in plasma etching, CVD, and diffusion systems
- Chemical Vapor Deposition (CVD): Delivers gases uniformly in high-temperature chambers
- Industrial Spraying Systems: Applies coatings or treatments in high-temperature processes
- Fiber Optics Production: Controls gas or material flow in drawing towers
- Laboratory and Research Equipment: Provides precision gas control in high-purity experiments
Eigenschaften von Quarz-Keramik-Material
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Reinheit (%) |
>99.8 |
>99.5 |
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Dichte (g/cm3) |
1.9-1.95 |
1.9-1.95 |
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Flexturfestigkeit (MPa) |
28 |
28 |
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Druckfestigkeit (MPa) |
>50 |
>50 |
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Biegefestigkeit (MPa) |
25 |
25 |
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Maximale Arbeitstemperatur (℃) |
1650 |
1650 |
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Wärmeleitfähigkeit (W/m*K) |
<1 |
<1 |
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Wärmeausdehnungskoeffizient (/℃) |
8.5*10-7 |
8.5*10-7 |
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Anzahl der Nutzung |
≥10 |
≥10 |
Bearbeitung von Quarz-Keramik-Material

Quarzkeramik kann vor dem Sintern in grünem oder biskuitem Zustand bearbeitet werden, wodurch sie sich leichter in komplexe Formen bringen lässt. Wie andere keramik, Während des Sinterns schrumpft es um etwa 15-20%, so dass dies bei der ursprünglichen Konstruktion berücksichtigt werden muss. Nach dem Sintern wird Quarzkeramik extrem hart und spröde, was die Bearbeitung sehr schwierig macht und diamantbeschichtete Werkzeuge und hochpräzise Geräte erfordert.
Bearbeitungsverfahren und Überlegungen
- Grün- oder Biskuit-Bearbeitung: Quarzkeramik lässt sich vor dem Sintern leichter schneiden und formen, so dass sie sich für komplizierte Designs eignet.
- Sinter-Schrumpfung: Während des Sinterns ist mit einer Größenreduzierung von 15-20% zu rechnen, was die Maßgenauigkeit beeinträchtigt.
- Nachsinternde Bearbeitung: Nach dem Sintern wird Quarz hart und spröde und erfordert Diamantwerkzeuge und eine präzise Kontrolle.
- Zerbrechlichkeit: Vollständig gesinterte Quarzkeramik neigt bei unsachgemäßer Handhabung zu Absplitterungen oder Rissen.
- Werkzeuge und Zeit: Die Bearbeitung von Sinterquarz ist langsam und erfordert spezielle Geräte.
Quarz-Keramik-Verpackungen
Quarzkeramikprodukte werden in der Regel in vakuumversiegelten Beuteln verpackt, um Feuchtigkeit oder Verunreinigungen zu vermeiden, und mit Schaumstoff umwickelt, um Erschütterungen und Stöße während des Transports abzufedern und die Qualität der Produkte im Originalzustand zu gewährleisten.

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