Elektrostatisches Aluminiumnitrid-Futter
Elektrostatisches Aluminiumnitrid-Futter
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Elektrostatisches Aluminiumnitrid-Futterblatt
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Referenz-Code: |
HM2085 |
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Die Dichte: |
3,3 g/cm3 |
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Erscheinungsbild: |
Gräuliches Weiß, Beige |
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Wärmeleitfähigkeit: |
170-230 W/m-K |
Elektrostatisches Aluminiumnitrid-Futter
Der elektrostatische Aluminiumnitrid-Chuck (AlN ESC) ist ein hochentwickeltes Bauteil, das zum sicheren Halten von Halbleiterwafern und -substraten während verschiedener hochpräziser Fertigungsprozesse entwickelt wurde. Es bietet eine hervorragende Wärmeleitfähigkeit, hohe mechanische Festigkeit und Widerstandsfähigkeit gegen Plasmaerosion. Ihre elektrostatische Spannfunktion gewährleistet ein zuverlässiges Einspannen der Wafer ohne physischen Kontakt, wodurch das Kontaminationsrisiko verringert und die Prozesseffizienz verbessert wird. Sie werden hauptsächlich bei der Bearbeitung von Halbleiterwafern, bei der Dünnschichtabscheidung und beim Ätzen eingesetzt. Fortgeschrittene Keramik Hub kann maßgeschneiderte Lösungen in verschiedenen Spezifikationen für die unterschiedlichsten Anwendungen in Industrie und Forschung anbieten.
Elektrostatische Aluminiumnitrid-Spannfutter Anwendungen
- Halbleiterherstellung: Elektrostatische Spannvorrichtungen aus Aluminiumnitrid (AlN ESCs) werden häufig bei der Bearbeitung von Halbleiterwafern eingesetzt, insbesondere beim Ätzen und bei der chemischen Gasphasenabscheidung (CVD). Die hohe Wärmeleitfähigkeit von AlN trägt zur Aufrechterhaltung der Temperaturstabilität bei, während die elektrostatische Spannvorrichtung gewährleistet, dass der Wafer ohne mechanischen Kontakt sicher gehalten wird.
- Dünnschichtabscheidung: Bei der Abscheidung von Dünnschichten, z. B. durch Sputtern oder Aufdampfen, werden AlN-ESCs zur Stabilisierung des Substrats und zur Kontrolle seiner Temperatur eingesetzt. Die elektrostatische Aufspannung trägt dazu bei, eine gleichmäßige Abscheidung zu gewährleisten, was zu hochwertigen Dünnschichten führt.
- Feinmechanische Bearbeitung: AlN ESCs werden in der Präzisionsbearbeitung und Mikroelektronik eingesetzt, wo ein hohes Maß an Kontrolle über die Position und Temperatur des Substrats erforderlich ist.
- Plasma-Ätzen: Während des Plasmaätzens werden AlN ESCs verwendet, um Substrate zu fixieren und gleichzeitig eine effiziente Wärmeableitung zu gewährleisten. Dies verbessert die Qualität der Ätzung und schützt das Substrat vor Schäden.
- Herstellung von LEDs und Solarzellen: AlN-ESCs werden bei der Herstellung von Leuchtdioden (LEDs) und Solarzellen verwendet, bei denen eine präzise Temperaturkontrolle für die Optimierung der Qualität und Leistung dieser Bauteile entscheidend ist.
Plasma-Implantationsgeräte (IMP)
Plasma-Ätzanlagen (ETCH)
PVD-Ausrüstung
CVD-Ausrüstung
Materialeigenschaften von Siliziumnitrid
Siliziumnitrid-Sorten
HMAN1000 ist unser Standardmaterial aus hochreinem Aluminiumnitrid mit einer Wärmeleitfähigkeit von 170 W/mK. Es hat die gleiche Wärmeleitfähigkeit wie unser Trägermaterial, bietet aber die Möglichkeit, größere Stücke in Länge/Breite und in Dicken bis zu 30 mm herzustellen.
HMAN1000 hat einen guten Wärmeausdehnungskoeffizienten, der über weite Temperaturbereiche mit dem von Silizium und Galliumnitrid vergleichbar ist.
HMAN100 Anwendungen:
- Hochleistungs-Isolatoren
- Laser-Komponenten
- Wassergekühlte Kühlkörper
- Leistungselektronik
- Komponenten für Luft- und Raumfahrt, Medizintechnik und Halbleiter
HMAN1000S 170 W/mK ist unser Standard-Substratmaterial mit hoher Wärmeleitfähigkeit. Es sind jedoch auch andere Hochleistungsqualitäten erhältlich.
HMAN1000S Anwendungen:
- Wärmesenken
- Wärmespreizer
- Laser-Kühlkörper Leistungsgleichrichter
- Luft- und Raumfahrt, Leistungselektronik, Gleichrichter
HMAN2000 ist eine unserer verbesserten Aluminiumnitridqualitäten, die alle mechanischen Eigenschaften von HMAN1000 mit dem zusätzlichen Vorteil einer Wärmeleitfähigkeit von 200 W/mK bietet.
HMAN2000-Anwendungen:
- Wärmesenken
- Wärmespreizer
- Laser-Kühlkörper Leistungsgleichrichter
- Luft- und Raumfahrt, Leistungselektronik, Gleichrichter
HMAN3000 ist eine unserer verbesserten Aluminiumnitridqualitäten, die alle mechanischen Eigenschaften von HMAN1000 mit dem zusätzlichen Vorteil einer Wärmeleitfähigkeit von 230 W/mK bietet.
HMAN3000 Anwendungen:
- Wärmesenken
- Wärmespreizer
- Laser-Kühlkörper Leistungsgleichrichter
- Luft- und Raumfahrt, Leistungselektronik, Gleichrichter
HMAN4000 ist eine unserer verbesserten Aluminiumnitridqualitäten, die alle mechanischen Eigenschaften von HMAN1000 mit dem zusätzlichen Vorteil einer Wärmeleitfähigkeit von 200 W/mK bietet.
HMAN4000 Anwendungen:
- Wärmesenken
- Wärmespreizer
- Laser-Kühlkörper Leistungsgleichrichter
- Luft- und Raumfahrt, Leistungselektronik, Gleichrichter
Siliziumnitrid-Keramik-Bearbeitung
Die Keramikbearbeitung von Aluminiumnitrid (AlN) ist ein präzises Verfahren zur Herstellung von Hochleistungskomponenten aus Aluminiumnitridwerkstoffen. Die Bearbeitung von Aluminiumnitridkeramik erfordert spezielle Geräte und Techniken, um die Sprödigkeit und Härte des Materials zu bewältigen. Geeignete Werkzeuge und kontrollierte Umgebungen sind unerlässlich, um Materialschäden zu vermeiden und die gewünschte Oberflächengüte und Maßgenauigkeit zu erreichen. Die üblichen Bearbeitungsmethoden sind folgende:
- Diamantschneiden: Diamantwerkzeuge werden zur Erzielung feiner Präzision und glatter Oberflächen verwendet und sind ideal für komplexe Formen.
- Laserschneiden: Ein berührungsloses Verfahren für komplizierte Formen, mit hoher Präzision und minimaler thermischer Belastung.
- Präzisionsschleifen: Wird verwendet, um feine Toleranzen und Oberflächengüten zu erzielen. Erfordert besondere Sorgfalt, um aufgrund der Sprödigkeit der Keramik Risse oder Abplatzungen zu vermeiden.
- Drahterodieren (Electrical Discharge Machining): Ein Verfahren, das häufig für komplizierte Schnitte verwendet wird, insbesondere für dünne und komplexe Geometrien.
Aluminiumnitrid-Keramik-Verpackungen
Aluminiumnitrid-Keramikprodukte werden in der Regel in vakuumversiegelten Beuteln verpackt, um Feuchtigkeit oder Verunreinigungen zu vermeiden, und mit Schaumstoff umwickelt, um Erschütterungen und Stöße während des Transports zu dämpfen und die Qualität der Produkte in ihrem ursprünglichen Zustand zu gewährleisten.
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