Mandrin électrostatique en nitrure d'aluminium

Dimensions sur mesure et dimensions standard en stock
Prix compétitif
Délai d'exécution rapide

Le mandrin électrostatique en nitrure d'aluminium est fabriqué à partir d'une céramique en nitrure d'aluminium haute performance, qui possède une conductivité thermique exceptionnelle, une forte résistance mécanique et une excellente résistance à l'érosion par le plasma. Il est idéal pour le traitement des plaquettes de semi-conducteurs, le dépôt de couches minces, la gravure, etc. En tant que fournisseur et fabricant de premier plan de produits en nitrure d'aluminium, nous pouvons fournir des mandrins électrostatiques en nitrure d'aluminium (ESC AlN) de haute qualité avec diverses spécifications et des prix compétitifs, en offrant des solutions personnalisées pour répondre à des exigences spécifiques.

Ou envoyez-nous un courriel à l'adresse suivante sales@heegermaterials.com.

Feuille de mandrin électrostatique en nitrure d'aluminium

Code de référence :	HM2085
Densité :	3,3 g/cm³
Apparence :	Blanc grisâtre, Beige
Conductivité thermique :	170-230 W/m-K

Mandrin électrostatique en nitrure d'aluminium

Le mandrin électrostatique en nitrure d'aluminium (AlN ESC) est un composant de pointe conçu pour maintenir solidement les plaquettes de semi-conducteurs et les substrats au cours de divers processus de fabrication de haute précision. Il offre une excellente conductivité thermique, une forte résistance mécanique et une résistance à l'érosion par plasma. Leur capacité de serrage électrostatique garantit une fixation fiable des plaquettes sans contact physique, ce qui réduit les risques de contamination et améliore l'efficacité du processus. Ils sont principalement utilisés dans le traitement des plaquettes de semi-conducteurs, le dépôt de couches minces et la gravure. Avancées Céramique Hub peut fournir des solutions personnalisées dans différentes spécifications pour répondre à diverses applications industrielles et de recherche.

Applications du mandrin électrostatique à nitrure d'aluminium

Fabrication de semi-conducteurs : Les mandrins électrostatiques en nitrure d'aluminium (ESC AlN) sont largement utilisés dans le traitement des plaquettes de semi-conducteurs, en particulier dans les processus de gravure et de dépôt chimique en phase vapeur (CVD). La conductivité thermique élevée de l'AlN permet de maintenir la stabilité de la température, tandis que la capacité de serrage électrostatique garantit que la plaquette est maintenue en place sans contact mécanique.
Dépôt de couches minces : Dans les processus de dépôt de couches minces, tels que la pulvérisation ou l'évaporation, les ESC en AlN sont utilisés pour stabiliser le substrat et contrôler sa température. Le serrage électrostatique contribue à assurer un dépôt uniforme, ce qui permet d'obtenir des couches minces de haute qualité.
Usinage de précision : Les circuits ESC en AlN sont utilisés dans l'usinage de précision et la microélectronique, où un niveau élevé de contrôle de la position et de la température du substrat est essentiel.
Gravure au plasma : Pendant la gravure au plasma, les ESC AlN sont utilisés pour maintenir les substrats en place tout en assurant une dissipation efficace de la chaleur. Cela permet d'améliorer la qualité de la gravure et de protéger le substrat contre les dommages.
Fabrication de LED et de cellules solaires : Les circuits ESC en AlN sont utilisés dans la production de diodes électroluminescentes (LED) et de cellules solaires, où un contrôle précis de la température est crucial pour optimiser la qualité et les performances de ces dispositifs.

Équipement d'implantation de plasma (IMP)
Équipement de gravure au plasma (ETCH)
Équipement PVD
Équipement CVD

Propriétés du nitrure de silicium

Propriété	Unité	HMAN1000	HMAN2000	HMAN3000	HMAN4000	HMAN1000S
Densité	g/cm³	3.32	3.32	3.32	3.30	3.30
Module de Young	GPa	300-350	300-350	300-350	300-350	350
Résistance à la rupture K_IC	MPa m^1/2	3	3	3	2.5	3
Rapport de Poisson	–	0.22	0.22	0.22	0.22	0.22
Résistance à la compression	MPa	3000	3000	3000	3000	3000
Résistance à la flexion à 25°C	MPa	350	350	350	350	350
Dureté	GPa	10	10	10	12	11

Propriété	Unité	HMAN1000	HMAN2000	HMAN3000	HMAN4000	HMAN1000S
Conductivité thermique à 25°C	W/mK	170	200	230	200	170
CTE 25°C ➞ 400°C	10^-6/K	4.5	4.5	4.5	3.5	4.6
Température maximale (air)	°C	1200	1200	1200	1200	1200
Température maximale (inerte)	°C	1200	1200	1200	1200	1200

Propriété	Unité	HMAN1000	HMAN2000	HMAN3000	HMAN4000	HMAN1000S
Constante diélectrique	1 MHz	8.8	8.8	8.5	8.5	8.8
Perte diélectrique	1 MHz	5×10^-4	5×10^-4	5×10^-4	5×10^-4	5×10^-4
Rigidité diélectrique DC @ 25°C	kV/mm	15	15	15	15	14
Résistivité volumique à 25°C	ohm-cm	>10¹³	>10¹³	>10¹³	>10¹⁴	>10¹⁴

Grades de matériaux en nitrure de silicium

HMAN1000 est notre nitrure d'aluminium standard de haute pureté avec une conductivité thermique de 170 W/mK. Il s'agit de la même performance thermique que notre matériau de substrat, mais il offre la possibilité d'obtenir des pièces plus grandes en longueur/largeur et en épaisseur jusqu'à 30 mm.
Le HMAN1000 a un bon coefficient de dilatation thermique, comparable à celui du silicium et du nitrure de gallium dans une large gamme de températures.

HMAN100 Applications :

Isolateurs de haute puissance
Composants laser
Dissipateurs thermiques refroidis à l'eau
Électronique de puissance
Composants aérospatiaux, médicaux et semi-conducteurs

HMAN1000S 170 W/mK est notre matériau de substrat standard à haute conductivité thermique, mais d'autres qualités à haute performance sont également disponibles.

HMAN1000S Applications :

Dissipateurs de chaleur
Diffuseurs de chaleur
Dissipateurs de chaleur pour laser Redresseurs de puissance
Aérospatiale, électronique de puissance, redresseurs

HMAN2000 est l'un de nos grades améliorés de nitrure d'aluminium, offrant toutes les performances mécaniques de HMAN1000 avec les avantages supplémentaires d'une conductivité thermique de 200 W/mK.

Applications HMAN2000:

Dissipateurs de chaleur
Diffuseurs de chaleur
Dissipateurs de chaleur pour laser Redresseurs de puissance
Aérospatiale, électronique de puissance, redresseurs

HMAN3000 est l'un de nos grades améliorés de nitrure d'aluminium offrant toutes les performances mécaniques de HMAN1000 avec les avantages supplémentaires d'une conductivité thermique de 230 W/mK.

HMAN3000 Applications :

Dissipateurs de chaleur
Diffuseurs de chaleur
Dissipateurs de chaleur pour laser Redresseurs de puissance
Aérospatiale, électronique de puissance, redresseurs

HMAN4000 est l'un de nos grades améliorés de nitrure d'aluminium offrant toutes les performances mécaniques de HMAN1000 avec les avantages supplémentaires d'une conductivité thermique de 200 W/mK.

HMAN4000 Applications :

Dissipateurs de chaleur
Diffuseurs de chaleur
Dissipateurs de chaleur pour laser Redresseurs de puissance
Aérospatiale, électronique de puissance, redresseurs

Usinage de la céramique de nitrure de silicium

L'usinage des céramiques de nitrure d'aluminium (AlN) est un processus précis utilisé pour fabriquer des composants de haute performance à partir de matériaux à base de nitrure d'aluminium. L'usinage des céramiques de nitrure d'aluminium nécessite un équipement et des techniques spécialisés pour gérer leur fragilité et leur dureté. Un outillage approprié et des environnements contrôlés sont essentiels pour éviter d'endommager le matériau et obtenir la finition de surface et la précision dimensionnelle souhaitées. Les méthodes d'usinage les plus courantes sont les suivantes :

Coupe de diamants : Les outils diamantés sont utilisés pour obtenir une précision fine et des finitions de surface lisses, idéales pour les formes complexes.
Découpe au laser : Une méthode sans contact utilisée pour les formes complexes, avec une grande précision et un impact thermique minimal.
Meulage de précision : Utilisé pour obtenir des tolérances et des finitions de surface fines. Nécessite une attention particulière pour éviter les fissures ou les éclats en raison de la fragilité de la céramique.
L'électroérosion à fil (EDM) : Méthode souvent utilisée pour les découpes complexes, en particulier pour les géométries fines et complexes.

Emballage en céramique de nitrure d'aluminium

Les produits en céramique de nitrure d'aluminium sont généralement emballés dans des sacs scellés sous vide pour éviter l'humidité ou la contamination et enveloppés de mousse pour amortir les vibrations et les chocs pendant le transport, ce qui garantit la qualité des produits dans leur état d'origine.

Télécharger

Fiche technique de la céramique de nitrure d'aluminium_PDS
FICHE DE DONNÉES DE SÉCURITÉ (FDS) - Mandrin électrostatique en nitrure d'aluminium

Dodd-Frank / Certification des minéraux de conflit
Profil de l'entreprise

Obtenir un devis

Nous vérifierons et reviendrons vers vous dans les 24 heures.

Pour personnaliser vos rouleaux en céramique de quartz, veuillez fournir les détails suivants Pour personnaliser votre mandrin électrostatique en nitrure d'aluminium, veuillez fournir les détails suivants :

Dimensions: Spécifiez les paramètres souhaités (par exemple, la longueur, la largeur, le diamètre, l'épaisseur, etc.)
Forme: Rectangulaire, carré, rond, etc.
Tolérances: Spécifiez les tolérances requises.
La pureté de la matière
Gestion thermique: Indiquer la température maximale de fonctionnement, la conductivité thermique souhaitée, etc.
Conception des électrodes: Spécifier le type de structure de l'électrode, le matériau, la configuration, etc.
Type de substrat: Le type de plaquette ou de substrat (par exemple, silicium, verre, céramique, etc.) que le mandrin manipulera.
Application: Indiquer l'application ou l'industrie visée.
Quantité des produits dont vous avez besoin
Vous pouvez également fournir un dessin avec vos spécifications.

Une fois que nous aurons reçu ces informations, nous pourrons vous fournir un devis dans les 24 heures.

Nous avons en stock une grande variété de produits à base de nitrure de bore et pour ceux-ci, il n'y a généralement pas de minimum de commande. Toutefois, pour les commandes personnalisées, nous fixons généralement une valeur minimale de $200. Le délai de livraison des produits en stock est généralement de 1 à 2 semaines, tandis que celui des commandes personnalisées est de 3 à 4 semaines, en fonction des spécificités de la commande.

Le mandrin électrostatique en nitrure d'aluminium est un dispositif utilisé pour maintenir fermement les plaquettes dans le traitement des semi-conducteurs en utilisant la force électrostatique, offrant une conductivité thermique et une isolation élevées.

Le nitrure d'aluminium offre une combinaison unique de conductivité thermique élevée, d'isolation électrique et de résistance à l'usure, idéale pour les applications exigeantes.

Advanced Ceramic Hub, établi en 2016 dans le Colorado, aux États-Unis, est un fournisseur spécialisé et un fabricant de produits à base de graphène. Avec une grande expertise dans l'approvisionnement et l'exportation, nous offrons des prix compétitifs et des solutions personnalisées adaptées à des exigences spécifiques, garantissant une qualité exceptionnelle et la satisfaction du client. En tant que fournisseur professionnel de céramiques, de métaux réfractaires, d'alliages spéciaux, de poudres sphériques et de divers matériaux avancés, nous répondons aux besoins de recherche, de développement et de production industrielle à grande échelle des secteurs scientifique et industriel.

Formulaire de demande de produits Advceramicshub

Produit*

Nom*

Courriel*

Téléphone

Pays

Votre message (Veuillez indiquer les spécifications du produit qui vous intéressent).

Téléchargement de fichiers (Veuillez télécharger les dessins si vous en avez. Taille maximale des fichiers : 2MB)

Choisir un fichier

Mandrin électrostatique en nitrure d'aluminium

Mandrin électrostatique en nitrure d'aluminium

Feuille de mandrin électrostatique en nitrure d'aluminium

Mandrin électrostatique en nitrure d'aluminium

Applications du mandrin électrostatique à nitrure d'aluminium

Propriétés du nitrure de silicium