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Mandril electrostático de nitruro de aluminio
El mandril electrostático de nitruro de aluminio está fabricado con cerámica de nitruro de aluminio de alto rendimiento, que posee una excepcional conductividad térmica, una fuerte resistencia mecánica y una excelente resistencia a la erosión por plasma. Es ideal para el procesamiento de obleas semiconductoras, deposición de películas delgadas, grabado, etc. Como proveedor y fabricante líder de productos de nitruro de aluminio de primera calidad, podemos suministrar mandriles electrostáticos de nitruro de aluminio (ESC de AlN) de alta calidad con diversas especificaciones y precios competitivos, ofreciendo soluciones personalizadas para satisfacer requisitos específicos.
O envíenos un correo electrónico a sales@heegermaterials.com.Hoja de mandril electrostático de nitruro de aluminio
| Código de referencia: | HM2085 |
| Densidad: | 3,3 g/cm3 |
| Apariencia: | Blanco grisáceo, Beige |
| Conductividad térmica: | 170-230 W/m-K |
Mandril electrostático de nitruro de aluminio
El mandril electrostático de nitruro de aluminio (AlN ESC) es un componente avanzado diseñado para sujetar con seguridad obleas y sustratos semiconductores durante diversos procesos de fabricación de alta precisión. Ofrece una excelente conductividad térmica, fuerte resistencia mecánica y resistencia a la erosión por plasma. Su capacidad de sujeción electrostática garantiza una sujeción fiable de las obleas sin contacto físico, lo que reduce los riesgos de contaminación y mejora la eficacia del proceso. Se utiliza principalmente en el procesamiento de obleas semiconductoras, deposición de películas finas y grabado. Avanzado Cerámica Hub puede ofrecer soluciones personalizadas con distintas especificaciones para satisfacer diversas aplicaciones industriales y de investigación.
Ventajas del mandril electrostático de nitruro de aluminio
- Alta consistencia de procesamiento
- Gran resistencia a la erosión por plasma
- Alta resistencia mecánica
- Personalizable
Aplicaciones del mandril electrostático de nitruro de aluminio
- Fabricación de semiconductores: Los mandriles electrostáticos de nitruro de aluminio (ESC de AlN) se utilizan ampliamente en el procesamiento de obleas semiconductoras, especialmente en los procesos de grabado y deposición química en fase vapor (CVD). La alta conductividad térmica del AlN ayuda a mantener la estabilidad de la temperatura, mientras que la capacidad de sujeción electrostática garantiza que la oblea se mantenga en su sitio sin contacto mecánico.
- Deposición de películas finas: En los procesos de deposición de películas finas, como el sputtering o la evaporación, los ESC de AlN se utilizan para estabilizar el sustrato y controlar su temperatura. La sujeción electrostática ayuda a garantizar una deposición uniforme, lo que da lugar a películas finas de alta calidad.
- Mecanizado de precisión: Los ESC de AlN se utilizan en el mecanizado de precisión y la microelectrónica, donde es esencial un alto nivel de control sobre la posición y la temperatura del sustrato.
- Grabado con plasma: Durante el grabado con plasma, se utilizan ESC de AlN para mantener los sustratos en su sitio y garantizar al mismo tiempo una disipación eficaz del calor. Esto mejora la calidad del grabado y protege el sustrato de posibles daños.
- Fabricación de LED y células solares: Los ESC de AlN se utilizan en la producción de diodos emisores de luz (LED) y células solares, donde el control preciso de la temperatura es crucial para optimizar la calidad y el rendimiento de estos dispositivos.
Propiedades del nitruro de aluminio
Grados del material de nitruro de aluminio
HMAN1000 es nuestro nitruro de aluminio estándar de alta pureza con una conductividad térmica de 170 W/mK. Se trata del mismo rendimiento térmico que nuestro material de sustrato, pero ofrece la posibilidad de piezas más grandes en longitud/anchura y en espesores de hasta 30 mm.
El HMAN1000 tiene un buen coeficiente de expansión térmica, equiparable al del silicio y el nitruro de galio en amplios intervalos de temperatura.
Aplicaciones HMAN100:
- Aisladores de alta potencia
- Componentes láser
- Disipadores refrigerados por agua
- Electrónica de potencia
- Componentes aeroespaciales, médicos y semiconductores
HMAN1000S 170 W/mK es nuestro material de sustrato estándar de alta conductividad térmica, aunque también disponemos de otros grados de alto rendimiento.
Aplicaciones HMAN1000S:
- Disipadores de calor
- Difusores de calor
- Disipadores térmicos para láser Rectificadores de potencia
- Aeroespacial, electrónica de potencia, rectificadores
HMAN2000 es uno de nuestros grados mejorados de nitruro de aluminio, que ofrece todas las prestaciones mecánicas de HMAN1000 con las ventajas mejoradas de una conductancia térmica de 200 W/mK.
Aplicaciones HMAN2000:
- Disipadores de calor
- Difusores de calor
- Disipadores térmicos para láser Rectificadores de potencia
- Aeroespacial, electrónica de potencia, rectificadores
HMAN3000 es una de nuestras calidades mejoradas de nitruro de aluminio que ofrece todas las prestaciones mecánicas de HMAN1000 con las ventajas mejoradas de una conductancia térmica de 230 W/mK.
Aplicaciones HMAN3000:
- Disipadores de calor
- Difusores de calor
- Disipadores térmicos para láser Rectificadores de potencia
- Aeroespacial, electrónica de potencia, rectificadores
HMAN4000 es una de nuestras calidades mejoradas de nitruro de aluminio que ofrece todas las prestaciones mecánicas de HMAN1000 con las ventajas mejoradas de una conductancia térmica de 200 W/mK.
Aplicaciones HMAN4000:
- Disipadores de calor
- Difusores de calor
- Disipadores térmicos para láser Rectificadores de potencia
- Aeroespacial, electrónica de potencia, rectificadores
Mecanizado de cerámica de nitruro de aluminio
El mecanizado de cerámica de nitruro de aluminio (AlN) es un proceso preciso utilizado para fabricar componentes de alto rendimiento a partir de materiales de nitruro de aluminio. El mecanizado de cerámica de nitruro de aluminio requiere equipos y técnicas especializados para tratar su fragilidad y dureza. Un utillaje adecuado y entornos controlados son esenciales para evitar daños en el material y conseguir el acabado superficial y la precisión dimensional deseados. Los métodos de mecanizado habituales son los siguientes:
- Corte de diamantes: Las herramientas diamantadas se utilizan para conseguir una precisión fina y acabados superficiales suaves, ideales para formas complejas.
- Corte por láser: Un método sin contacto utilizado para formas intrincadas, con gran precisión y un impacto térmico mínimo.
- Rectificado de precisión: Se utiliza para conseguir tolerancias finas y acabados superficiales. Requiere un cuidado especial para evitar que se agriete o astille debido a la fragilidad de la cerámica.
- Electroerosión por hilo (EDM): Método utilizado a menudo para cortes intrincados, especialmente para geometrías finas y complejas.
Envases cerámicos de nitruro de aluminio
Los productos cerámicos de nitruro de aluminio suelen envasarse en bolsas selladas al vacío para evitar la humedad o la contaminación y se envuelven con espuma para amortiguar las vibraciones y los impactos durante el transporte, lo que garantiza la calidad de los productos en su estado original.
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