Blanco para sputtering de nitruro de aluminio
Blanco para sputtering de nitruro de aluminio
Pureza: 95%-99%
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Hoja de datos de cátodos de nitruro de aluminio para sputtering
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Código de referencia: |
HMST457 |
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Pureza: |
99.5%-99.9% |
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Densidad: |
3,26 g/cm3 |
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Apariencia: |
Blanco azulado, sólido cristalino |
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Forma: |
Rectangular, disco o tubo |
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Servicio de fianzas: |
Desvinculación o vinculación |
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Punto de fusión: |
>2200℃ |
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Relación Z: |
1.00 |
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Sputter: |
RF-R |
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Densidad de potencia máxima: |
20 W/pulg². |
Blanco para sputtering de nitruro de aluminio
El cátodo de nitruro de aluminio (AlN) para sputtering es un material cerámico de alto rendimiento para sputtering, con una conductividad térmica, resistividad eléctrica y dureza excepcionales. Su composición uniforme y estructura densa lo hacen ideal para producir películas lisas y sin defectos mediante sputtering por magnetrón o deposición por haz de iones. Se utilizan ampliamente en microelectrónica, optoelectrónica y fotovoltaica. Avanzado Cerámica Hub puede ofrecer soluciones personalizadas en términos de pureza, tamaño, densidad y otros parámetros para satisfacer diversas aplicaciones industriales y de investigación.
Especificaciones de los cátodos de nitruro de aluminio para sputtering
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blancos para sputtering circular |
Diámetro |
1.0″ |
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Cátodos rectangulares para sputtering |
Anchura x Longitud |
5” x 12″ |
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Espesor |
0.125″, 0.25″ |
Características de los cátodos de nitruro de aluminio para sputtering
- Alta pureza y densidad
- Partícula baja
- Distribución uniforme del espesor de la película
- Alta eficiencia en el uso
Aplicaciones de cátodos de nitruro de aluminio para sputtering
- Industria de semiconductores: El cátodo para sputtering de nitruro de aluminio (AlN) se utiliza habitualmente en la deposición de capas finas para capas aislantes y de pasivación y como capa tampón en dispositivos basados en GaN (por ejemplo, HEMTs).
- Optoelectrónica: El cátodo para sputtering de nitruro de aluminio (AlN) es el material clave para los LED UV y los diodos láser debido a su amplio bandgap (6,2 eV) y su transparencia a la luz ultravioleta.
- Dispositivos de ondas acústicas: Depositadas como películas piezoeléctricas para sensores/resonadores de ondas acústicas superficiales (SAW) y ondas acústicas masivas (BAW) en filtros 5G/6G.
- Revestimientos protectores: El cátodo para sputtering de nitruro de aluminio (AlN) puede proporcionar revestimientos resistentes al desgaste y térmicamente estables para componentes aeroespaciales.
- Gestión térmica: Su elevada conductividad térmica (~320 W/m-K) lo hace ideal para la disipación de calor en electrónica de alta potencia.
Técnicas de gestión térmica
Área Eléctrica y Electrónica
industria del automóvil
Aeroespacial
Área Médica
Control de calidad de cátodos de nitruro de aluminio para sputtering
Análisis de la composición de las materias primas
Las impurezas se analizan mediante ICP y GDMS para los metales, y analizadores de carbono-azufre y nitrógeno-oxígeno para los no metales, lo que garantiza que la pureza cumple las normas exigidas.
Inspección metalográfica
Los equipos de detección se utilizan para inspeccionar el material objetivo en busca de defectos internos o agujeros de contracción, mientras que las pruebas metalográficas garantizan que la estructura del grano es fina y densa.
Aspecto e inspección dimensional
Los micrómetros y calibres miden las dimensiones, mientras que un instrumento de limpieza comprueba la suavidad y limpieza de la superficie.
Propiedades del nitruro de aluminio
Grados del material de nitruro de aluminio
HMAN1000 es nuestro nitruro de aluminio estándar de alta pureza con una conductividad térmica de 170 W/mK. Se trata del mismo rendimiento térmico que nuestro material de sustrato, pero ofrece la posibilidad de piezas más grandes en longitud/anchura y en espesores de hasta 30 mm.
El HMAN1000 tiene un buen coeficiente de dilatación térmica, equiparable al del silicio y el nitruro de galio en amplios intervalos de temperatura.
Aplicaciones HMAN100:
- Aisladores de alta potencia
- Componentes láser
- Disipadores refrigerados por agua
- Electrónica de potencia
- Componentes aeroespaciales, médicos y semiconductores
HMAN1000S 170 W/mK es nuestro material de sustrato estándar de alta conductividad térmica, aunque también disponemos de otros grados de alto rendimiento.
Aplicaciones HMAN1000S:
- Disipadores de calor
- Difusores de calor
- Disipadores térmicos para láser Rectificadores de potencia
- Aeroespacial, electrónica de potencia, rectificadores
HMAN2000 es uno de nuestros grados mejorados de nitruro de aluminio, que ofrece todas las prestaciones mecánicas de HMAN1000 con las ventajas mejoradas de una conductancia térmica de 200 W/mK.
Aplicaciones HMAN2000:
- Disipadores de calor
- Difusores de calor
- Disipadores térmicos para láser Rectificadores de potencia
- Aeroespacial, electrónica de potencia, rectificadores
HMAN3000 es una de nuestras calidades mejoradas de nitruro de aluminio que ofrece todas las prestaciones mecánicas de HMAN1000 con las ventajas mejoradas de una conductancia térmica de 230 W/mK.
Aplicaciones HMAN3000:
- Disipadores de calor
- Difusores de calor
- Disipadores térmicos para láser Rectificadores de potencia
- Aeroespacial, electrónica de potencia, rectificadores
HMAN4000 es una de nuestras calidades mejoradas de nitruro de aluminio que ofrece todas las prestaciones mecánicas de HMAN1000 con las ventajas mejoradas de una conductancia térmica de 200 W/mK.
Aplicaciones HMAN4000:
- Disipadores de calor
- Difusores de calor
- Disipadores térmicos para láser Rectificadores de potencia
- Aeroespacial, electrónica de potencia, rectificadores
Mecanizado de cerámica de nitruro de aluminio
El mecanizado de cerámicas de nitruro de aluminio (AlN) es un proceso de precisión utilizado para fabricar componentes de alto rendimiento a partir de materiales de nitruro de aluminio. El mecanizado de cerámicas de nitruro de aluminio requiere equipos y técnicas especializados para hacer frente a su fragilidad y dureza. Un utillaje adecuado y entornos controlados son esenciales para evitar daños en el material y lograr el acabado superficial y la precisión dimensional deseados. Entre los métodos de mecanizado habituales se incluyen:
- Corte de diamantes: Las herramientas diamantadas se utilizan para conseguir una precisión fina y acabados superficiales suaves, ideales para formas complejas.
- Corte por láser: Un método sin contacto utilizado para formas intrincadas, con gran precisión y un impacto térmico mínimo.
- Rectificado de precisión: Se utiliza para conseguir tolerancias finas y acabados superficiales. Requiere un cuidado especial para evitar que se agriete o astille debido a la fragilidad de la cerámica.
- Mecanizado por descarga eléctrica de hilo (EDM): Método utilizado a menudo para cortes intrincados, especialmente para geometrías finas y complejas.
Envases cerámicos de nitruro de aluminio
Los productos cerámicos de nitruro de aluminio suelen envasarse en bolsas selladas al vacío para evitar la humedad o la contaminación y se envuelven con espuma para amortiguar las vibraciones y los impactos durante el transporte, lo que garantiza la calidad de los productos en su estado original.
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