Mandril electrostático de nitruro de aluminio

Mandril electrostático de nitruro de aluminio HM

Mandril electrostático de nitruro de aluminio

  • Tamaños personalizados y estándar en stock
  • Precio competitivo
  • Plazo de entrega rápido

  • El mandril electrostático de nitruro de aluminio está fabricado con cerámica de nitruro de aluminio de alto rendimiento, que posee una excepcional conductividad térmica, una fuerte resistencia mecánica y una excelente resistencia a la erosión por plasma. Es ideal para el procesamiento de obleas semiconductoras, deposición de películas delgadas, grabado, etc. Como proveedor y fabricante líder de productos de nitruro de aluminio de primera calidad, podemos suministrar mandriles electrostáticos de nitruro de aluminio (ESC de AlN) de alta calidad con diversas especificaciones y precios competitivos, ofreciendo soluciones personalizadas para satisfacer requisitos específicos.
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Hoja de mandril electrostático de nitruro de aluminio

Código de referencia:

HM2085

Densidad:

3,3 g/cm3

Apariencia:

Blanco grisáceo, Beige

Conductividad térmica:

170-230 W/m-K

Mandril electrostático de nitruro de aluminio

El mandril electrostático de nitruro de aluminio (AlN ESC) es un componente avanzado diseñado para sujetar de forma segura obleas y sustratos semiconductores durante diversos procesos de fabricación de alta precisión. Ofrece una excelente conductividad térmica, fuerte resistencia mecánica y resistencia a la erosión por plasma. Su capacidad de sujeción electrostática garantiza una sujeción fiable de las obleas sin contacto físico, lo que reduce los riesgos de contaminación y mejora la eficacia del proceso. Se utiliza principalmente en el procesamiento de obleas semiconductoras, deposición de películas finas y grabado. Avanzado Cerámica Hub puede ofrecer soluciones personalizadas con distintas especificaciones para satisfacer diversas aplicaciones industriales y de investigación.

  • Mandril electrostático de nitruro de aluminio HM 1

Aplicaciones del mandril electrostático de nitruro de aluminio

  • Fabricación de semiconductores: Los mandriles electrostáticos de nitruro de aluminio (ESC de AlN) se utilizan ampliamente en el procesamiento de obleas semiconductoras, especialmente en los procesos de grabado y deposición química en fase vapor (CVD). La alta conductividad térmica del AlN ayuda a mantener la estabilidad de la temperatura, mientras que la capacidad de sujeción electrostática garantiza que la oblea se mantenga en su sitio sin contacto mecánico.
  • Deposición de películas finas: En los procesos de deposición de películas finas, como el sputtering o la evaporación, los ESC de AlN se utilizan para estabilizar el sustrato y controlar su temperatura. La sujeción electrostática ayuda a garantizar una deposición uniforme, lo que da lugar a películas finas de alta calidad.
  • Mecanizado de precisión: Los ESC de AlN se utilizan en el mecanizado de precisión y la microelectrónica, donde es esencial un alto nivel de control sobre la posición y la temperatura del sustrato.
  • Grabado con plasma: Durante el grabado con plasma, se utilizan ESC de AlN para mantener los sustratos en su sitio y garantizar al mismo tiempo una disipación eficaz del calor. Esto mejora la calidad del grabado y protege el sustrato de posibles daños.
  • Fabricación de LED y células solares: Los ESC de AlN se utilizan en la producción de diodos emisores de luz (LED) y células solares, donde el control preciso de la temperatura es crucial para optimizar la calidad y el rendimiento de estos dispositivos.
  • Equipo de implantación de plasma IMP HM
    Equipo de implantación de plasma (IMP)
  • Equipo de grabado por plasma ETCH HM
    Equipo de grabado por plasma (ETCH)
  • Equipo de deposición física de vapor PVD HM
    Equipos de PVD
  • Equipo de deposición química de vapor CVD HM
    Equipos CVD

Propiedades del material de nitruro de silicio

Propiedad

Unidad

HMAN1000

HMAN2000

HMAN3000

HMAN4000

HMAN1000S

Densidad

g/cm3

3.32

3.32

3.32

3.30

3.30

Módulo de Young

GPa

 300-350

300-350

300-350

300-350

350

Resistencia a la fractura KIC

MPa m1/2

3

3

3

2.5

3

Relación de Poisson

–

 0.22

0.22

0.22

0.22

0.22

Resistencia a la compresión

MPa

3000

3000

3000

3000

3000

Resistencia a la flexión @ 25°C

MPa

350

350

350

350

350

Dureza

GPa

10

10

10

12

11

Propiedad

Unidad

HMAN1000

HMAN2000

HMAN3000

HMAN4000

HMAN1000S

Conductividad térmica @ 25°C

W/mK

170

200

230

200

170

CTE 25°C ➞ 400°C

10-6/K

4.5

4.5

4.5

3.5

4.6

Temperatura máxima (aire)

°C

1200

1200

1200

1200

1200

Temperatura máxima (inerte)

°C

1200

1200

1200

1200

1200

Propiedad

Unidad

HMAN1000

HMAN2000

HMAN3000

HMAN4000

HMAN1000S

Constante dieléctrica

1 MHz

8.8

8.8

8.5

8.5

8.8

Pérdida dieléctrica

1 MHz

5×10-4

5×10-4

5×10-4

5×10-4

5×10-4

Rigidez dieléctrica DC @ 25°C

kV/mm

15

15

15

15

14

Resistividad volumétrica @ 25°C

ohm-cm

 >1013

>1013

>1013

 >1014

 >1014

Grados del material de nitruro de silicio

HMAN1000 es nuestro nitruro de aluminio estándar de alta pureza con una conductividad térmica de 170 W/mK. Se trata del mismo rendimiento térmico que nuestro material de sustrato, pero ofrece la posibilidad de piezas más grandes en longitud/anchura y en espesores de hasta 30 mm.
El HMAN1000 tiene un buen coeficiente de dilatación térmica, equiparable al del silicio y el nitruro de galio en amplios intervalos de temperatura.

Aplicaciones HMAN100:

  • Aisladores de alta potencia
  • Componentes láser
  • Disipadores refrigerados por agua
  • Electrónica de potencia
  • Componentes aeroespaciales, médicos y semiconductores

HMAN1000S 170 W/mK es nuestro material de sustrato estándar de alta conductividad térmica, aunque también disponemos de otros grados de alto rendimiento.

Aplicaciones HMAN1000S:

  • Disipadores de calor
  • Difusores de calor
  • Disipadores térmicos para láser Rectificadores de potencia
  • Aeroespacial, electrónica de potencia, rectificadores

HMAN2000 es uno de nuestros grados mejorados de nitruro de aluminio, que ofrece todas las prestaciones mecánicas de HMAN1000 con las ventajas mejoradas de una conductancia térmica de 200 W/mK.

Aplicaciones HMAN2000:

  • Disipadores de calor
  • Difusores de calor
  • Disipadores térmicos para láser Rectificadores de potencia
  • Aeroespacial, electrónica de potencia, rectificadores

HMAN3000 es una de nuestras calidades mejoradas de nitruro de aluminio que ofrece todas las prestaciones mecánicas de HMAN1000 con las ventajas mejoradas de una conductancia térmica de 230 W/mK.

Aplicaciones HMAN3000:

  • Disipadores de calor
  • Difusores de calor
  • Disipadores térmicos para láser Rectificadores de potencia
  • Aeroespacial, electrónica de potencia, rectificadores

HMAN4000 es una de nuestras calidades mejoradas de nitruro de aluminio que ofrece todas las prestaciones mecánicas de HMAN1000 con las ventajas mejoradas de una conductancia térmica de 200 W/mK.

Aplicaciones HMAN4000:

  • Disipadores de calor
  • Difusores de calor
  • Disipadores térmicos para láser Rectificadores de potencia
  • Aeroespacial, electrónica de potencia, rectificadores

Mecanizado de cerámica de nitruro de silicio

Mecanizado de cerámica HM

El mecanizado de cerámica de nitruro de aluminio (AlN) es un proceso preciso utilizado para fabricar componentes de alto rendimiento a partir de materiales de nitruro de aluminio. El mecanizado de cerámica de nitruro de aluminio requiere equipos y técnicas especializados para tratar su fragilidad y dureza. Un utillaje adecuado y entornos controlados son esenciales para evitar daños en el material y conseguir el acabado superficial y la precisión dimensional deseados. Los métodos de mecanizado habituales son los siguientes:

  • Corte de diamantes: Las herramientas diamantadas se utilizan para conseguir una precisión fina y acabados superficiales suaves, ideales para formas complejas.
  • Corte por láser: Un método sin contacto utilizado para formas intrincadas, con gran precisión y un impacto térmico mínimo.
  • Rectificado de precisión: Se utiliza para conseguir tolerancias finas y acabados superficiales. Requiere un cuidado especial para evitar que se agriete o astille debido a la fragilidad de la cerámica.
  • Electroerosión por hilo (EDM): Método utilizado a menudo para cortes intrincados, especialmente para geometrías finas y complejas.

Envases cerámicos de nitruro de aluminio

Los productos cerámicos de nitruro de aluminio suelen envasarse en bolsas selladas al vacío para evitar la humedad o la contaminación y se envuelven con espuma para amortiguar las vibraciones y los impactos durante el transporte, lo que garantiza la calidad de los productos en su estado original.

envasado de productos cerámicos HM

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  1. Dimensiones: Especifique los parámetros deseados (por ejemplo, longitud, anchura, diámetro, grosor, etc.)
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  5. Gestión térmica: Indique la temperatura máxima de funcionamiento, la conductividad térmica deseada, etc.
  6. Diseño de electrodos: Especifique el tipo de estructura del electrodo, el material, la configuración, etc.
  7. Tipo de sustrato: El tipo de oblea o material de sustrato (por ejemplo, silicio, vidrio, cerámica, etc.) que manipulará el mandril.
  8. Aplicación: Indique la aplicación o el sector previstos.
  9. Cantidad de los productos que necesita
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Una vez que tengamos estos datos, podremos facilitarle un presupuesto en 24 horas.

Disponemos de una amplia variedad de productos de nitruro de boro en stock, para los que generalmente no se requiere un pedido mínimo. Sin embargo, para los pedidos personalizados, solemos establecer un valor mínimo de pedido de $200. El plazo de entrega de los artículos en stock suele ser de 1-2 semanas, mientras que el de los pedidos personalizados suele ser de 3-4 semanas, dependiendo de las características específicas del pedido.

El mandril electrostático de nitruro de aluminio es un dispositivo utilizado para sujetar las obleas de forma segura en el procesamiento de semiconductores mediante fuerza electrostática, ofreciendo una alta conductividad térmica y aislamiento.

El nitruro de aluminio ofrece una combinación única de alta conductividad térmica, aislamiento eléctrico y resistencia al desgaste, ideal para aplicaciones exigentes.

Advanced Ceramic Hub, fundada en 2016 en Colorado (EE. UU.), es un proveedor y fabricante especializado en productos de grafeno. Con una amplia experiencia en suministro y exportación, ofrecemos precios competitivos y soluciones personalizadas adaptadas a requisitos específicos, garantizando una calidad excepcional y la satisfacción del cliente. Como proveedor profesional de cerámicas, metales refractarios, aleaciones especiales, polvos esféricos y diversos materiales avanzados, atendemos las necesidades de investigación, desarrollo y producción industrial a gran escala de los sectores científico e industrial.

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