Quarz-Fenster
Quarz-Fenster
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Quartz Window Data Sheet
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Farbe: |
White – transparent |
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Die Form: |
Kundenspezifisch |
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Dimension (inch): |
Kundenspezifisch |
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Chemische Formel: |
SiO2 |
Quartz Window Description
Quartz window is a ceramic-based optical part designed to endure extreme thermal and chemical environments while maintaining excellent light transmission properties. Unlike conventional glass, quartz ceramic offers superior hardness, thermal shock resistance, and minimal distortion under high temperatures. It is commonly used in high-temperature observation ports, plasma chambers, and optical analysis systems where both durability and optical clarity are essential.
Quartz Window Features
- Semiconductor Processing: Used as viewports and protective covers in etching and deposition chambers.
- Laser Systems: Serves as optical windows in high-energy laser equipment.
- Vacuum Equipment: Acts as a barrier that maintains vacuum while allowing optical access.
- Analytical Instruments: Applied in spectrometers and microscopes for light transmission.
- Furnace Observation Ports: Enables safe viewing of internal furnace conditions.
Eigenschaften von Quarz-Keramik-Material
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Reinheit (%) |
>99.8 |
>99.5 |
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Dichte (g/cm3) |
1.9-1.95 |
1.9-1.95 |
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Flexturfestigkeit (MPa) |
28 |
28 |
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Druckfestigkeit (MPa) |
>50 |
>50 |
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Biegefestigkeit (MPa) |
25 |
25 |
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Maximale Arbeitstemperatur (℃) |
1650 |
1650 |
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Wärmeleitfähigkeit (W/m*K) |
<1 |
<1 |
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Wärmeausdehnungskoeffizient (/℃) |
8.5*10-7 |
8.5*10-7 |
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Anzahl der Nutzung |
≥10 |
≥10 |
Bearbeitung von Quarz-Keramik-Material

Quarzkeramik kann vor dem Sintern in grünem oder biskuitem Zustand bearbeitet werden, wodurch sie sich leichter in komplexe Formen bringen lässt. Wie andere keramik, Während des Sinterns schrumpft es um etwa 15-20%, so dass dies bei der ursprünglichen Konstruktion berücksichtigt werden muss. Nach dem Sintern wird Quarzkeramik extrem hart und spröde, was die Bearbeitung sehr schwierig macht und diamantbeschichtete Werkzeuge und hochpräzise Geräte erfordert.
Bearbeitungsverfahren und Überlegungen
- Grün- oder Biskuit-Bearbeitung: Quarzkeramik lässt sich vor dem Sintern leichter schneiden und formen, so dass sie sich für komplizierte Designs eignet.
- Sinter-Schrumpfung: Während des Sinterns ist mit einer Größenreduzierung von 15-20% zu rechnen, was die Maßgenauigkeit beeinträchtigt.
- Nachsinternde Bearbeitung: Nach dem Sintern wird Quarz hart und spröde und erfordert Diamantwerkzeuge und eine präzise Kontrolle.
- Zerbrechlichkeit: Vollständig gesinterte Quarzkeramik neigt bei unsachgemäßer Handhabung zu Absplitterungen oder Rissen.
- Werkzeuge und Zeit: Die Bearbeitung von Sinterquarz ist langsam und erfordert spezielle Geräte.
Quarz-Keramik-Verpackungen
Quarzkeramikprodukte werden in der Regel in vakuumversiegelten Beuteln verpackt, um Feuchtigkeit oder Verunreinigungen zu vermeiden, und mit Schaumstoff umwickelt, um Erschütterungen und Stöße während des Transports abzufedern und die Qualität der Produkte im Originalzustand zu gewährleisten.

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