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Bateau en graphite PECVD
Pureté : ≥99%
Bateau en graphite PECVD est fabriqué à partir de graphite de haute pureté présentant une excellente stabilité thermique, une bonne conductivité électrique et une bonne résistance à la corrosion. Il est largement utilisé pour soutenir les plaquettes de silicium pendant les processus PECVD dans la production de cellules solaires et de semi-conducteurs. En permettant une décharge de plasma stable entre les supports de tranches, il contribue à la formation de couches antireflets et de passivation de haute qualité, améliorant ainsi l'efficacité globale de la conversion. Sa structure solide et sa conception précise garantissent des performances constantes à des températures élevées et dans des conditions de vide. Nous pouvons fournir des feuille de graphite flexible avec des spécifications variées et des prix compétitifs, offrant des solutions personnalisées pour répondre à des exigences spécifiques.
Ou envoyez-nous un courriel à l'adresse suivante sales@heegermaterials.com.Fiche technique du bateau en graphite PECVD
| Code de référence | HM2599 |
| La pureté | ≥99.9% |
| Couleur | Gris foncé à noir |
| Formule chimique | C |
| Grades de matériaux | Graphite naturel, graphite synthétique, graphite spécialisé, graphite composite |
| Densité | 1,65-1,95 g/cm³ |
| Température de fonctionnement maximale | Jusqu'à 3000°C (en atmosphère inerte) |
| Conductivité thermique | 100-200 W/m-K |
Description du bateau PECVD Graphite
Bateau en graphite PECVD joue un rôle essentiel dans le dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma en maintenant solidement les plaquettes de silicium pendant les processus de revêtement. Fabriqué à partir de graphite ultra-pur, il offre une stabilité dimensionnelle exceptionnelle, une faible génération de particules et une forte résistance aux chocs thermiques. Dans les chambres PECVD, la structure précise du bateau assure une exposition uniforme au plasma, ce qui permet de déposer des films de SiNx lisses et de haute qualité. Sa durabilité dans des environnements extrêmes le rend essentiel pour obtenir des cellules solaires à haut rendement et des dispositifs semi-conducteurs fiables.
Paramètres techniques du bateau en graphite PECVD
| Densité | Résistivité | Résistance à la compression | Résistance à la flexion | Le coefficient de dilatation thermique (CTE) | Frêne | Taille des grains |
| g/cm3 | μΩm | Mpa | Mpa | % | μm | |
| 1.80 | 10 | 55 | 30 | 4.5 | 0.1 | 45 |
| 1.85 | 9 | 62 | 35 | 5.5 | 0.1 | 45 |
Spécifications du bateau en graphite PECVD
| Type | Spécifications | Note |
| 125mm*125mm 156mm*156mm Monocristal/Polycristal | 13 pièces | Graphite de haute pureté Utilisé dans les équipements PECVD. |
| 15 pièces | ||
| 17 pièces | ||
| 19 pièces |
PECVD Graphite Accessoires pour bateaux
| 125 Type（125mm*125mm） | 125 Graphite Boat Side Sheet | |
| 125 Graphite Boat Center Sheet | ||
| 156 Type（156mm*156mm） | 156 Graphite Boat Side Sheet | |
| 156 Graphite Boat Center Sheet | ||
| Vis en graphite | M6*215 | Graphite de haute pureté |
| M6*190 | ||
| M6*275 | ||
| M8*215 | ||
| M8*190 | ||
| M8*160 | ||
| M8*245 | ||
| Écrou en graphite, Écrou borgne en graphite | M6, M8 | |
Caractéristiques du bateau PECVD Graphite
- Fabriqué avec un équipement d'usinage de haute précision et un contrôle strict des processus afin de garantir des dimensions cohérentes et une surface lisse et propre.
- Fabriqué à partir de graphite de haute pureté avec de faibles niveaux d'impuretés, il offre une excellente résistance et une stabilité à long terme à des températures élevées sans déformation.
- Incorpore des techniques de production avancées qui éliminent efficacement les "taches de couleur" pendant le traitement en continu, améliorant ainsi la fiabilité du produit.
Applications du bateau en graphite PECVD
- Production de cellules solaires : Il sert de support essentiel aux plaquettes de silicium pendant les processus PECVD, contribuant à la formation de revêtements antireflets à haute efficacité qui augmentent les taux de conversion photovoltaïque.
- Fabrication de semi-conducteurs : Il prend en charge le traitement des plaquettes pendant le dépôt de couches minces, assurant ainsi un contrôle précis de la qualité et de l'uniformité du film.
- Passivation de surface : Utilisé pour faciliter le dépôt de couches de passivation qui améliorent les performances électriques et la longévité des cellules solaires.
- Systèmes de revêtement à couche mince : Joue un rôle essentiel dans les applications de revêtement où un support de graphite stable et de haute pureté est essentiel pour un dépôt de film cohérent.
Propriétés du graphite
Grades de matériaux en graphite
Le graphite naturel est classé en trois types principaux : le graphite amorphe, le graphite en paillettes et le graphite en veines (en morceaux). Chaque type présente des caractéristiques distinctes et répond à des besoins industriels différents.
| Type de graphite | Introduction | Propriétés principales |
|---|---|---|
| Graphite amorphe | Graphite microcristallin provenant de veines de charbon métamorphosées ; aspect terne et texture molle. | - Teneur en carbone : 60-85% - Taille des particules fines - Bonne conductivité thermique - Conductivité électrique modérée - Bonnes propriétés lubrifiantes |
| Graphite en écailles | Graphite stratifié formé dans les roches métamorphiques ; brillant avec un éclat métallique. | - Teneur en carbone : 85-99% - Excellente conductivité thermique - Conductivité électrique élevée - Fort pouvoir lubrifiant - Stable dans les environnements chimiques |
| Veine (morceau) Graphite | Graphite formé par voie hydrothermale d'une pureté et d'une conductivité maximales. | - Teneur en carbone : 90-99% - Conductivité thermique exceptionnelle - Conductivité électrique très élevée - Résistance supérieure à l'oxydation - Excellente stabilité chimique |
Le graphite synthétique est produit par le traitement à haute température de matériaux carbonés. Il offre des propriétés mieux contrôlées que le graphite naturel, telles qu'une plus grande pureté, une meilleure uniformité et des avantages spécifiques en termes de performances pour différentes applications industrielles. Les types les plus courants sont la biographite, le graphite moulé sous pression, le graphite extrudé, le graphite isostatique et le graphite moulé par vibration.
| Type de graphite | Introduction | Propriétés principales |
|---|---|---|
| Biographite | Dérivé de matériaux biologiques par carbonisation. | - Teneur en carbone : 80-95% - Conductivité thermique et électrique modérée - Structure poreuse, favorable à la filtration - Résistant aux acides et aux bases |
| Graphite moulé sous pression | Poudres de carbone compactées, moulées et graphitisées. | - Densité et résistance élevées - Excellente conductivité électrique - Chimiquement inerte - Hautement usinable |
| Graphite extrudé | Matériau en carbone extrudé avec une structure de grain directionnelle. | - Teneur élevée en carbone >99% - Bonne conductivité - Propriétés anisotropes - Résistance modérée à l'usure |
| Graphite isostatique | Produit par pressage isostatique pour des propriétés uniformes. | - Ultra-haute pureté >99.99% - Résistance isotrope - Excellente conductivité thermique et électrique - Structure à grains fins |
| Graphite moulé pour les vibrations | Graphite formé par compactage par vibration. | - Teneur élevée en carbone >99% - Bonne conductivité électrique - Durable avec une résistance élevée à la compression - Usinable en grandes pièces |
Les graphites spéciaux englobent une large gamme de graphites techniques conçus pour répondre aux exigences de diverses industries. Chaque qualité est traitée ou modifiée de manière unique afin d'améliorer des propriétés spécifiques telles que la conductivité thermique, la résistance chimique, la résistance structurelle ou les performances électriques. Ces matériaux sont essentiels dans des domaines tels que le stockage de l'énergie, l'usinage par décharge électrique, la technologie nucléaire et le traitement à haute température. Qu'ils soient obtenus par purification, imprégnation ou techniques de dépôt avancées, les graphites spéciaux offrent des solutions ciblées là où le graphite ordinaire ne suffirait pas.
| Grade | Propriétés principales | Applications |
|---|---|---|
| Graphite de qualité batterie | Grande pureté (>99,95%), stabilité électrochimique, faible surface spécifique, particules sphériques/flocons (5-20 μm). | Batteries lithium-ion, systèmes de stockage d'énergie |
| EDM Graphite | Grain fin (2-10 μm), conductivité électrique élevée, légèreté, résistance à l'érosion, conductivité thermique. | Usinage par décharge électrique (EDM) |
| Graphite flexible | Très flexible, conductivité thermique (150-300 W/m-K), résistance chimique, compressibilité, large gamme de températures. | Joints, étanchéité, blindage EMI, gestion thermique |
| Graphite imprégné de métal | Conductivité thermique et électrique améliorée, résistance à la corrosion, résistance mécanique, résistance à l'usure | Roulements, joints, équipements de traitement chimique |
| Graphite de qualité nucléaire | Densité élevée (>1,70 g/cm³), faible absorption de neutrons, stabilité thermique, résistance aux radiations, faible porosité | Réacteurs nucléaires (modérateurs, réflecteurs, blindage) |
| Graphite pyrolytique | Anisotropie élevée, conductivité dans le plan, blindage EMI, résistance chimique, densité élevée (≈2,20 g/cm³) | Électronique, aérospatiale, dispositifs médicaux |
| Graphite réfractaire | Résistance à l'abrasion et aux chocs thermiques, stabilité chimique, résistance à l'oxydation (revêtement), faible dilatation thermique | Métallurgie, industrie céramique, réacteurs chimiques |
| Graphite imprégné de résine | Résistance chimique, résistance améliorée, porosité réduite, résistance à l'oxydation, conductivité plus faible | Pompes, garnitures mécaniques, équipements de manutention des produits chimiques |
Les composites de graphite combinent le graphite avec d'autres matériaux tels que le carbone, les fibres, les résines ou les métaux afin d'améliorer et d'équilibrer leurs propriétés pour des applications spécifiques de haute performance. Ces composites conservent les avantages naturels du graphite tels que la lubrification, la conductivité et la stabilité thermique tout en améliorant la solidité, la résistance à l'usure ou la rigidité structurelle. Largement utilisés dans des secteurs tels que l'aérospatiale, la métallurgie, l'électronique et le traitement chimique, les composites de graphite offrent d'excellentes solutions pour les environnements exigeants où les matériaux traditionnels risquent d'échouer.
| Propriété | Carbone-Graphite | Composites à base de fibres de graphite |
|---|---|---|
| Résistance à l'usure | Élevée, efficace dans les applications à frottement élevé | Bonne résistance à la fatigue et aux chocs |
| La force | Résistance et rigidité élevées | Résistance exceptionnelle à la traction et grande rigidité |
| Densité | Léger grâce à sa faible densité | Très faible densité pour une réduction critique du poids |
| Stabilité thermique | Fonctionne jusqu'à 3000°C dans des environnements inertes | Maintien de l'intégrité à haute température |
| Conductivité thermique | Modérée à élevée, en fonction des constituants | élevée, permettant une excellente dissipation de la chaleur |
| Conductivité électrique | Bonne, adaptée à l'électroérosion et aux électrodes | Modéré, utile pour le blindage EMI |
| Résistance chimique | Résistant aux acides, aux alcalis et aux solvants organiques | Inerte à la plupart des produits chimiques, à l'humidité et aux UV |
| Propriétés de frottement | Autolubrifiant, faible frottement même à des températures extrêmes | Résistance élevée à la fatigue, faible dilatation thermique |
| Résistance à l'oxydation | Limitée, mais peut être renforcée par des revêtements | Stable dans les environnements non oxydants |
| Applications | Métallurgie, électrodes EDM, pièces à haute température | Aérospatiale, composites structurels, électronique |
Usinage de la céramique graphite
Graphite est un matériau céramique synthétique fabriqué à partir de carbone cristallin, offrant une conductivité thermique exceptionnelle, une résistance thermique élevée, une faible porosité et une stabilité à des températures extrêmes. Ces propriétés le rendent essentiel pour les applications à haute température telles que la fonderie, la métallurgie et l'électronique. Cependant, l'usinage du graphite nécessite des techniques spécialisées en raison de ses caractéristiques uniques : il est cassant et peut produire de fines particules et des fissures pendant le traitement. Le graphite ne se déforme pas sous l'effet des forces de coupe comme les métaux, ce qui exige une manipulation précise pour maintenir l'exactitude des dimensions et l'intégrité de la surface. Les méthodes d'usinage les plus courantes sont les suivantes
- Usinage CNC : Le perçage, le fraisage et le meulage commandés par ordinateur sont largement utilisés pour créer des pièces complexes en graphite avec des tolérances serrées.
- Meulage au diamant : Des outils diamantés sont utilisés pour obtenir des finitions lisses et des formes précises tout en minimisant la production de particules.
- Sciage : Des scies spécialisées sont utilisées pour couper blocs de graphite à des tailles spécifiques ou à des formes grossières avant de procéder à un usinage plus fin.
- Forage : Le perçage du graphite sur mesure nécessite un contrôle minutieux de la vitesse et de l'avance afin d'éviter les fissures et d'obtenir des trous propres.
- Fraisage : Le fraisage à grande vitesse avec des outils en carbure ou revêtus de diamant est utilisé pour produire des profils et des cavités détaillés.
- Finition de la surface : Après le façonnage primaire, une rectification ou un polissage supplémentaire permet d'obtenir l'état de surface requis pour les applications techniques.
Emballage en céramique graphite
Les produits en céramique graphite sont généralement emballés dans des sacs scellés sous vide pour éviter l'humidité ou la contamination et enveloppés de mousse pour amortir les vibrations et les chocs pendant le transport, ce qui garantit la qualité des produits dans leur état d'origine.
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