Cible de pulvérisation de zircone stabilisée à l'yttrium
Cible de pulvérisation de zircone stabilisée à l'yttrium
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Yttria Stabilized Zirconia Sputtering Target Data Sheet
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Couleur : |
Blanc |
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Molecular Formula: |
Y2O3/ZrO2 |
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Densité : |
5,85-6,10 g/cm3 |
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La pureté : |
99.9%, 99.95%, 99.99%, 99.995%, 99.999% |
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Point de fusion : |
2600°C |
Yttria Stabilized Zirconia Sputtering Target Description
Yttrium-stabilized Zirconia (YSZ) Sputtering Target is a high-performance ceramic material used in thin film deposition. It consists of zirconium dioxide (ZrO2) stabilized with yttrium oxide (Y2O3), ensuring a stable cubic phase at room temperature. YSZ offers excellent ionic conductivity, thermal stability, and chemical resistance, making it a key material in solid oxide fuel cells, electrolyte membranes, oxygen sensors, and advanced protective coatings. Its uniform composition and high purity ensure reliable deposition results. In addition to sputtering targets, we also provide YSZ Crystal Substrate for various high-tech applications. Heeger Materials provides high-quality YSZ sputtering targets to meet diverse application requirements.
Yttria Stabilized Zirconia Sputtering Target Specifications
| La pureté | 99.9%, 99.95%, 99.99%, 99.995%, 99.999% |
| Forme | Discs, Plates, Column Targets, Step Targets, Custom-made |
| Poids moléculaire | 347.69 |
| Apparence | White Target |
| Point de fusion | >2600°C |
| Available Sizes | Diameter: 1.0″, 2.0″, 3.0″, 4.0″, 5.0″, 6.0″ |
| Thickness: 0.125″, 0.250″ |
Yttria Stabilized Zirconia Sputtering Target Features
- High Ionic Conductivity: Enables efficient charge transfer in fuel cells and electrochemical devices.
- Excellente stabilité thermique: Maintains structural integrity under high sputtering temperatures.
- Chemically Inert: Resists corrosion in reactive or oxidative environments during deposition.
- Dense and Uniform Microstructure: Promotes consistent sputtering rates and smooth thin films.
- Stable Cubic Phase: Yttria stabilization ensures phase stability across a wide temperature range.
Yttria Stabilized Zirconia Sputtering Target Applications
- Piles à combustible à oxyde solide (SOFC): Used to deposit thin electrolyte or interlayer coatings.
- Oxygen Sensors: Applied in gas sensor films due to their oxygen ion conductivity.
- Optical Coatings: Suitable for reflective and anti-reflective layers in high-temperature optics.
- Semiconductor Devices: Provides insulation or buffer layers in microelectronic applications.
- Revêtements protecteurs: Ideal for wear-resistant, chemically stable films on metal or ceramic parts.
Capteurs à haute température
Piles à combustible à oxyde solide (SOFC)
Traitement des semi-conducteurs
Optical Coatings
Propriétés de la céramique de zircone stabilisée à l'yttrium
Usinage de matériaux céramiques à base de zircone stabilisée à l'yttrium
La zircone stabilisée à l'yttrium (YSZ) est un matériau céramique de haute performance connu pour sa résistance exceptionnelle à la rupture, sa grande solidité et sa conductivité ionique. Ces caractéristiques en font un matériau idéal pour les environnements exigeants, bien que son usinage nécessite des approches spécialisées en raison de sa dureté et de sa fragilité. Les principaux aspects de l'usinage sont les suivants :
- Découpage: Des outils revêtus de diamants ou une découpe laser de précision sont utilisés pour maintenir l'intégrité des bords et minimiser les microfissures.
- Broyage: La rectification au diamant à grain fin est utilisée pour obtenir des tolérances serrées et des surfaces lisses, en particulier pour les composants à géométrie complexe.
- Forage: L'usinage par ultrasons ou le perçage au diamant de précision permet la formation précise de microcaractéristiques pour les applications de capteurs et de piles à combustible.
- Finition de surface: Le polissage améliore la résistance à l'usure, la biocompatibilité et la stabilité thermique, ce qui le rend adapté à des utilisations techniques avancées.
Yttria Stabilized Zirconia Sputtering Target Ceramic Packaging
Les produits en céramique de zircone stabilisée à l'yttrium sont généralement emballés dans des sacs scellés sous vide pour éviter l'humidité ou la contamination et enveloppés de mousse pour amortir les vibrations et les impacts pendant le transport, ce qui garantit la qualité des produits dans leur état d'origine.
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