Cible de pulvérisation de l'hexaboride de lanthane
Cible de pulvérisation de l'hexaboride de lanthane
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Fiche technique sur les cibles de pulvérisation de l'hexaboride de lanthane
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Couleur : |
Pourpre |
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Formule chimique : |
LaB6 |
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Dimension : |
Standard ou personnalisé en fonction des besoins spécifiques |
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La pureté : |
99.9% |
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Forme : |
Disque/Rectangulaire/Tube |
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Collage : |
Détachement/liaison |
Description de la cible de pulvérisation de l'hexaboride de lanthane
La cible de pulvérisation d'hexaboride de lanthane offre une solution fiable pour les applications de revêtement avancées nécessitant précision, stabilité et efficacité. Connu pour ses caractéristiques supérieures d'émission d'électrons et sa résistance aux températures élevées, ce matériau cible permet de créer des films conducteurs dans des environnements exigeants tels que les chambres à vide et les lignes de fabrication de semi-conducteurs. Sa résilience chimique garantit des performances de pulvérisation constantes avec une contamination minimale, ce qui permet de l'utiliser dans les instruments scientifiques, les technologies d'affichage et les composants aérospatiaux.
Dimensions des cibles de pulvérisation de l'hexaboride de lanthane
| Cibles de pulvérisation circulaire | Diamètre | 1.0” 2.0” 3.0” 4.0” 5.0” 6.0” jusqu'à 21” |
| Cibles de pulvérisation rectangulaires | Largeur x Longueur | 5” x 12” 5” x 15” 5” x 20” 5” x 22” 6” x 20” |
| Épaisseur | 0.125”, 0.25” | |
Compositions chimiques des cibles de pulvérisation de l'hexaboride de lanthane
| LaB6 Pureté : 99%, 99.9%, 99.9995%, B(% min.) : 31% | |||
| Impuretés de terres rares | Impuretés non ER | ||
| Ce | <120ppm | Fe | <250ppm |
| Pr | <150ppm | Si | <100ppm |
| Nd | <180ppm | Ca | <90ppm |
| Sm | <112ppm | C | <300ppm |
| Y | <250ppm | Mg | <100ppm |
| Ti | <100ppm | ||
Caractéristiques des cibles de pulvérisation de l'hexaboride de lanthane
- Fonction de travail faible (~2,4 eV) : Permet une émission efficace d'électrons, idéale pour les revêtements d'appareils électroniques et à vide.
- Stabilité thermique élevée : Les performances sont maintenues à des températures élevées, ce qui convient aux environnements de pulvérisation exigeants.
- Pureté et densité excellentes : Assure un dépôt uniforme du film avec un minimum de contamination ou de défauts.
- Résistance chimique supérieure : Stable à l'oxydation et à la corrosion dans des conditions d'atmosphère contrôlée.
- Formes et tailles personnalisables : Disponible en différentes dimensions pour s'adapter aux différents systèmes de pulvérisation et aux exigences.
Applications des cibles de pulvérisation de l'hexaboride de lanthane
- Dépôt de couches minces : Utilisé dans les procédés PVD pour le revêtement de semi-conducteurs, d'optiques et de panneaux d'affichage.
- Revêtements de cathode : Améliore les performances des émetteurs d'électrons dans les microscopes électroniques et les sources d'ions.
- Électronique du vide : Convient pour les revêtements d'émetteurs à haute efficacité dans les appareils RF et micro-ondes.
- Ingénierie des surfaces : Appliqué dans les revêtements fonctionnels pour la résistance à l'usure et la conductivité électrique.
- Aérospatiale et défense : Soutien au développement de matériaux avancés pour les systèmes à haute température et à vide poussé.
Revêtements de cathode
Ingénierie des surfaces
Dépôt de couches minces
Domaine aérospatial
Propriétés céramiques de l'hexaboride de lanthane
Usinage de matériaux céramiques à base d'hexaboride de lanthane
La céramique d'hexaborure de lanthane (LaB6) est un matériau spécialisé apprécié pour son excellente émission thermionique, son point de fusion élevé et sa stabilité chimique. Ces propriétés la rendent essentielle dans les applications d'émission d'électrons, mais posent également des problèmes d'usinage en raison de sa dureté et de sa fragilité. Les principales considérations en matière d'usinage sont les suivantes :
- Découpage : Des outils de précision revêtus de diamant ou des méthodes de découpe au laser sont nécessaires pour obtenir des bords nets tout en évitant les microfissures et les dommages de surface.
- Broyage : Les meules diamantées fines offrent la précision nécessaire pour maintenir les tolérances dimensionnelles et la douceur de la surface, en particulier pour les composants complexes ou de petite taille.
- Forage : Les techniques d'usinage par ultrasons ou par jet d'eau abrasif sont souvent utilisées pour créer des trous et des caractéristiques précises sans induire de contraintes thermiques ou de fissures.
- Finition de la surface : Les processus de polissage améliorent la qualité de la surface, réduisent la diffusion des électrons et augmentent l'efficacité de l'émission, ce qui est essentiel pour les applications de cathodes à haute performance.
Cible de pulvérisation de l'hexaboride de lanthane Emballage céramique
Les produits céramiques à base d'hexaboride de lanthane sont généralement emballés dans des sacs scellés sous vide pour éviter l'humidité ou la contamination et enveloppés de mousse pour amortir les vibrations et les chocs pendant le transport, ce qui garantit la qualité des produits dans leur état d'origine.
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