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Spanish Buse en quartz
Buse en quartz
Buse en quartz est un composant de haute pureté, résistant à la chaleur, couramment utilisé dans les équipements de traitement des semi-conducteurs, des plasmas et des produits chimiques. Il offre une excellente stabilité thermique, une faible dilatation thermique et une forte résistance à la corrosion chimique, ce qui permet de l'utiliser dans des environnements difficiles impliquant des températures élevées et des gaz agressifs. Sa conception de précision garantit un écoulement régulier du gaz ou du fluide, réduisant ainsi la contamination et améliorant les performances du système. Nous pouvons fournir des buses en quartz de haute qualité pour les équipements de gravure avec diverses spécifications et des prix compétitifs, en offrant des solutions personnalisées pour répondre à des exigences spécifiques.
Ou envoyez-nous un courriel à l'adresse suivante sales@heegermaterials.com.Fiche technique de la buse à quartz
| Couleur : | Blanc - transparent |
| Forme : | Sur mesure |
| Dimension (pouces) : | Sur mesure |
| Formule chimique : | SiO2 |
Buse à quartz Description
La buse en quartz est fabriquée à partir de silice fondue de haute pureté et est appréciée pour sa capacité à résister à des conditions thermiques et chimiques extrêmes. Elle conserve son intégrité structurelle lors des cycles de chauffage et de refroidissement rapides, ce qui la rend adaptée aux applications exigeantes telles que les systèmes de gravure, de dépôt chimique en phase vapeur et de pulvérisation à haute température. Sa surface non réactive minimise la production de particules et la contamination, ce qui garantit un fonctionnement propre dans les environnements critiques.
Caractéristiques de la buse à quartz
- Résistance thermique élevée, adaptée à une utilisation continue dans des environnements à haute température
- Excellente stabilité chimique contre les acides et la corrosion par plasma
- Faible dilatation thermique, minimisant la fissuration en cas de changements rapides de température
- Haute pureté (typiquement >99.99% SiO₂), garantissant une contamination minimale
- Surface intérieure lisse pour un écoulement uniforme du gaz ou du fluide
Applications de la buse à quartz
- Fabrication de semi-conducteurs : Utilisé dans les systèmes de gravure au plasma, de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) et de diffusion
- Dépôt chimique en phase vapeur (CVD) : Distribution uniforme des gaz dans les chambres à haute température
- Systèmes de pulvérisation industrielle : Appliquer des revêtements ou des traitements dans le cadre de processus à haute température
- Production de fibres optiques : Contrôle le flux de gaz ou de matériaux dans les tours d'étirage
- Matériel de laboratoire et de recherche : Permet un contrôle précis des gaz dans les expériences de haute pureté
Propriétés du matériau céramique quartz
| Pureté (%) | >99.8 | >99.5 |
| Densité (g/cm3) | 1.9-1.95 | 1.9-1.95 |
| Résistance à la rupture (MPa) | 28 | 28 |
| Résistance à la compression (MPa) | >50 | >50 |
| Résistance à la flexion (MPa) | 25 | 25 |
| Température maximale de fonctionnement (℃) | 1650 | 1650 |
| Conductivité thermique (W/m*K) | <1 | <1 |
| Coefficient de dilatation thermique (/℃) | 8.5*10-7 | 8.5*10-7 |
| nombre d'utilisations | ≥10 | ≥10 |
Usinage de matériaux céramiques à base de quartz
La céramique de quartz peut être usinée à l'état vert ou bisque avant d'être frittée, ce qui permet de lui donner plus facilement des formes complexes. Comme d'autres céramiqueEn revanche, elle se rétracte d'environ 15-20% pendant le frittage, ce qui doit être pris en compte dans la conception initiale. Après le frittage, la céramique de quartz devient extrêmement dure et cassante, ce qui rend l'usinage très difficile et nécessite des outils diamantés et des équipements de haute précision.
Méthodes d'usinage et considérations
- Usinage vert ou bisque : La céramique de quartz est plus facile à découper et à façonner avant le frittage, ce qui permet de réaliser des motifs complexes.
- Rétrécissement par frittage : Il faut s'attendre à une réduction de la taille de 15-20% pendant le frittage, ce qui affecte la précision des dimensions.
- Usinage par post-frittage : Après le frittage, le quartz devient dur et cassant, ce qui nécessite des outils diamantés et un contrôle précis.
- Fragilité : La céramique de quartz entièrement frittée est susceptible de s'écailler ou de se fissurer en cas de mauvaise manipulation.
- Outillage et temps : L'usinage du quartz fritté est lent et nécessite un équipement spécialisé.
Emballage en céramique de quartz
Les produits en céramique de quartz sont généralement emballés dans des sacs scellés sous vide pour éviter l'humidité ou la contamination et enveloppés de mousse pour amortir les vibrations et les chocs pendant le transport, ce qui garantit la qualité des produits dans leur état d'origine.
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