Cible de pulvérisation cathodique en carbure de bore
Cible de pulvérisation cathodique en carbure de bore
Pureté : 99,5%
Forme : Rectangulaire, disque, tube
La cible de pulvérisation en carbure de bore (B₄C) est un matériau de haute performance connu pour son extrême dureté, son inertie chimique et sa résistance à l'usure et aux températures élevées. Elle est largement utilisée dans les processus de dépôt de couches minces pour la production de revêtements protecteurs, de films optiques et de couches semi-conductrices. La cible offre une performance de pulvérisation constante, ce qui la rend idéale pour les applications qui exigent durabilité et précision dans des environnements difficiles. Nous pouvons fournir des cibles de pulvérisation en carbure de bore de haute qualité avec diverses spécifications et des prix compétitifs, en offrant des solutions personnalisées pour répondre à des exigences spécifiques.
Ou envoyez-nous un courriel à l'adresse suivante sales@heegermaterials.com.Fiche technique des cibles de pulvérisation en carbure de bore
Code de référence : | HTST469 |
La pureté : | 99.5% |
CAS : | 12069-32-8 |
Apparence | Noir ou gris, Solide cristallin |
Formule chimique : | B₄C |
Masse molaire : | 55,255 g/mol |
Densité : | 2,52 g/cm³ |
Point de fusion : | 2 763 °C (5 005 °F ; 3 036 K) |
Point d'ébullition : | 3 500 °C (6 330 °F ; 3 770 K) |
forme : | Rectangulaire, disque, tube |
Service de cautionnement | Décollement ou collage |
Cible de pulvérisation cathodique en carbure de bore
La poudre de cible de pulvérisation de carbure de bore présente une pureté et une densité élevées, ce qui permet d'obtenir des performances fiables dans les applications de films minces. Les caractéristiques des particules fines et peu nombreuses garantissent une distribution uniforme de l'épaisseur du film et une utilisation efficace du matériau pendant la pulvérisation. Cette poudre est bien adaptée à la production de revêtements durs et résistants aux produits chimiques dans les dispositifs optiques et électroniques avancés.
Spécifications des cibles de pulvérisation en carbure de bore
Cibles de pulvérisation circulaire | Diamètre | 1,0", 2,0", 3,0", 4,0", 5,0", 6,0" jusqu'à 21". |
Cibles de pulvérisation rectangulaires | Largeur x Longueur | 5" x 12", 5" x 15", 5" x 20", 5" x 22", 6" x 20". |
Épaisseur | 1,0", 2,0", 3,0", 4,0", 5,0", 6,0" jusqu'à 21". |
Caractéristiques des cibles de pulvérisation cathodique en carbure de bore
- Dureté extrême : Offre une excellente résistance à l'usure pour des revêtements durables en couches minces.
- Haute pureté : Garantit une performance de pulvérisation constante et un dépôt de film propre.
- Stabilité thermique : Il fonctionne de manière fiable dans des conditions de traitement à haute température.
- Inertie chimique : Convient pour une utilisation dans des environnements corrosifs ou réactifs.
- Profil d'érosion uniforme : Permet d'obtenir une épaisseur de film stable et régulière dans le temps.
Applications des cibles de pulvérisation du carbure de bore
- Blindage contre les radiations nucléaires : Utilisé dans la fabrication de films minces pour les barrières d'absorption des neutrons dans les réacteurs nucléaires.
- Revêtements des barres de contrôle : Appliqué pour créer des couches superficielles dans les barres de contrôle, améliorant l'efficacité de l'absorption des neutrons.
- Films sur les boulettes d'obturation : Utilisé dans les films minces pour les systèmes d'arrêt d'urgence dans les installations nucléaires.
- Revêtements optiques protecteurs : Utilisé dans le domaine de l'optique où une dureté élevée et une résistance aux radiations sont requises.
- Composants semi-conducteurs : Convient à la production de couches dures et chimiquement stables dans le traitement des semi-conducteurs.
Propriétés des matériaux en carbure de bore
Grades de matériaux en carbure de bore
Le carbure de bore lié par réaction (B4C) est principalement utilisé comme blindage balistique, offrant une excellente protection tout en réduisant le poids par rapport à d'autres matériaux de blindage.
Propriétés | Unités | Reaction Bonded Carbure de bore |
Résistance à la flexion, MOR (20 °C) | MPa | 250 |
Résistance à la rupture, KIc | MPa m1/2 | 3.0 – 4.0 |
Conductivité thermique (20 °C) | W/m K | 50 |
Coefficient de dilatation thermique | 1×10-6/°C | 4.5 |
Température maximale d'utilisation | °C | 1000 |
Rigidité diélectrique (6,35 mm) | ac-kV/mm | - |
Perte diélectrique (tan δ) | 1MHz, 25 °C | - |
Résistivité volumique (25°C) | Ω-cm | 10³ |
Reaction Bonded B4C Avantages :
- Haute résistance
- Dureté élevée
- Rentabilité
- Convient aux applications à grande échelle
Le carbure de bore pressé à chaud, également connu sous le nom de densification assistée par pression (PAD), est l'un des matériaux les plus durs disponibles dans les formes commerciales. Cette dureté exceptionnelle, combinée à une faible densité, est utilisée dans les blindages balistiques, pour maximiser la protection tout en minimisant le poids.
Propriétés | Unités | Pressé à chaud Carbure de bore |
Résistance à la flexion, MOR (20 °C) | MPa | 320 – 450 |
Résistance à la rupture, KIc | MPa m1/2 | 3.0 – 4.0 |
Conductivité thermique (20 °C) | W/m K | 45 – 100 |
Coefficient de dilatation thermique | 1×10-6/°C | 4.5 – 4.9 |
Température maximale d'utilisation | °C | 2000 |
Rigidité diélectrique (6,35 mm) | ac-kV/mm | - |
Perte diélectrique (tan δ) | 1MHz, 25 °C | - |
Résistivité volumique (25°C) | Ω-cm | 100 |
B4C pressé à chaud Avantages :
- Densité plus élevée
- Meilleures propriétés mécaniques
- Idéal pour les matériaux d'ingénierie à haute résistance et à haute température
Le carbure de bore fritté sans pression combine une grande pureté et les excellentes propriétés mécaniques du carbure de bore pour une utilisation dans les blindages balistiques et la fabrication de semi-conducteurs.
Propriétés | Unités | Fritté Carbure de bore |
Résistance à la flexion, MOR (20 °C) | MPa | 450 |
Résistance à la rupture, KIc | MPa m1/2 | 3.0 – 5.0 |
Conductivité thermique (20 °C) | W/m K | 43 – 100 |
Coefficient de dilatation thermique | 1×10-6/°C | 4.5 – 4.9 |
Température maximale d'utilisation | °C | - |
Rigidité diélectrique (6,35 mm) | ac-kV/mm | - |
Perte diélectrique (tan δ) | 1MHz, 25 °C | - |
Résistivité volumique (25°C) | Ω-cm | 10 |
Avantages du B4C fritté sans pression:
- Dureté élevée
- Excellente résistance à l'usure
- Haute stabilité chimique
- Faible densité
- Bonne stabilité thermique
Usinage de la céramique de carbure de bore
L'usinage de la céramique de carbure de bore est un processus exigeant utilisé pour façonner cette céramique ultra-dure en composants précis pour des applications techniques. En raison de sa dureté et de sa fragilité exceptionnelles, l'usinage du carbure de bore nécessite des outils spécialisés et un contrôle minutieux pour éviter les fissures ou les dommages de surface. Bien que le matériau puisse être façonné plus facilement à l'état vert ou biscuit, l'obtention de tolérances serrées nécessite souvent un usinage après frittage complet, ce qui implique des techniques à base de diamant. Les méthodes d'usinage les plus courantes sont les suivantes :
- Coupe de diamants : Les outils revêtus de diamants sont essentiels pour couper le carbure de bore entièrement fritté, ce qui permet un façonnage précis et des finitions de surface lisses.
- Meulage de précision : Utilisé pour obtenir des tolérances fines et des finitions propres. Ce processus est lent et nécessite une manipulation soigneuse pour éviter les microfissures ou les dommages structurels.
- Usinage par ultrasons : Applique des vibrations à haute fréquence avec une boue abrasive pour enlever la matière en douceur, ce qui convient aux formes complexes et délicates.
- Découpe au laser : Une technique sans contact efficace pour les matériaux pré-frittés ou les sections minces, offrant des bords nets avec une contrainte thermique minimale.
- Usinage vert : Effectué avant le frittage, il permet de façonner plus facilement des géométries complexes. Cependant, le retrait post-frittage (~20%) doit être pris en compte dans les dimensions finales.
Emballage en céramique de carbure de bore
Les produits céramiques en carbure de bore sont généralement emballés dans des sacs scellés sous vide pour éviter l'humidité ou la contamination et enveloppés de mousse pour amortir les vibrations et les chocs pendant le transport, ce qui garantit la qualité des produits dans leur état d'origine.
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