French 
English 
German 
Spanish Mandrin électrostatique en nitrure d'aluminium
Mandrin électrostatique en nitrure d'aluminium
Le mandrin électrostatique en nitrure d'aluminium est fabriqué à partir d'une céramique en nitrure d'aluminium haute performance, qui possède une conductivité thermique exceptionnelle, une forte résistance mécanique et une excellente résistance à l'érosion par le plasma. Il est idéal pour le traitement des plaquettes de semi-conducteurs, le dépôt de couches minces, la gravure, etc. En tant que fournisseur et fabricant de premier plan de produits en nitrure d'aluminium, nous pouvons fournir des mandrins électrostatiques en nitrure d'aluminium (ESC AlN) de haute qualité avec diverses spécifications et des prix compétitifs, en offrant des solutions personnalisées pour répondre à des exigences spécifiques.
Ou envoyez-nous un courriel à l'adresse suivante sales@heegermaterials.com.Feuille de mandrin électrostatique en nitrure d'aluminium
| Code de référence : | HM2085 |
| Densité : | 3,3 g/cm3 |
| Apparence : | Blanc grisâtre, Beige |
| Conductivité thermique : | 170-230 W/m-K |
Mandrin électrostatique en nitrure d'aluminium
Le mandrin électrostatique en nitrure d'aluminium (AlN ESC) est un composant de pointe conçu pour maintenir solidement les plaquettes de semi-conducteurs et les substrats au cours de divers processus de fabrication de haute précision. Il offre une excellente conductivité thermique, une forte résistance mécanique et une résistance à l'érosion par plasma. Leur capacité de serrage électrostatique garantit une fixation fiable des plaquettes sans contact physique, ce qui réduit les risques de contamination et améliore l'efficacité du processus. Ils sont principalement utilisés dans le traitement des plaquettes de semi-conducteurs, le dépôt de couches minces et la gravure. Avancées Céramique Hub peut fournir des solutions personnalisées dans différentes spécifications pour répondre à diverses applications industrielles et de recherche.
Avantages des mandrins électrostatiques en nitrure d'aluminium
- Grande régularité de traitement
- Forte résistance à l'érosion par plasma
- Résistance mécanique élevée
- Personnalisable
Applications du mandrin électrostatique à nitrure d'aluminium
- Fabrication de semi-conducteurs : Les mandrins électrostatiques en nitrure d'aluminium (ESC AlN) sont largement utilisés dans le traitement des plaquettes de semi-conducteurs, en particulier dans les processus de gravure et de dépôt chimique en phase vapeur (CVD). La conductivité thermique élevée de l'AlN permet de maintenir la stabilité de la température, tandis que la capacité de serrage électrostatique garantit que la plaquette est maintenue en place sans contact mécanique.
- Dépôt de couches minces : Dans les processus de dépôt de couches minces, tels que la pulvérisation ou l'évaporation, les ESC en AlN sont utilisés pour stabiliser le substrat et contrôler sa température. Le serrage électrostatique contribue à assurer un dépôt uniforme, ce qui permet d'obtenir des couches minces de haute qualité.
- Usinage de précision : Les circuits ESC en AlN sont utilisés dans l'usinage de précision et la microélectronique, où un niveau élevé de contrôle de la position et de la température du substrat est essentiel.
- Gravure au plasma : Pendant la gravure au plasma, les ESC AlN sont utilisés pour maintenir les substrats en place tout en assurant une dissipation efficace de la chaleur. Cela permet d'améliorer la qualité de la gravure et de protéger le substrat contre les dommages.
- Fabrication de LED et de cellules solaires : Les circuits ESC en AlN sont utilisés dans la production de diodes électroluminescentes (LED) et de cellules solaires, où un contrôle précis de la température est crucial pour optimiser la qualité et les performances de ces dispositifs.
Propriétés du nitrure d'aluminium
Nuances de nitrure d'aluminium
HMAN1000 est notre nitrure d'aluminium standard de haute pureté avec une conductivité thermique de 170 W/mK. Il s'agit de la même performance thermique que notre matériau de substrat, mais il offre la possibilité de produire des pièces plus grandes en longueur/largeur et d'une épaisseur allant jusqu'à 30 mm.
Le HMAN1000 a un bon coefficient de dilatation thermique - comparable à celui du silicium et du nitrure de gallium sur de larges plages de température.
HMAN100 Applications :
- Isolateurs de haute puissance
- Composants laser
- Dissipateurs thermiques refroidis à l'eau
- Électronique de puissance
- Composants aérospatiaux, médicaux et semi-conducteurs
HMAN1000S 170 W/mK est notre matériau de substrat standard à haute conductivité thermique, mais d'autres qualités à haute performance sont également disponibles.
HMAN1000S Applications :
- Dissipateurs de chaleur
- Diffuseurs de chaleur
- Dissipateurs de chaleur pour laser Redresseurs de puissance
- Aérospatiale, électronique de puissance, redresseurs
HMAN2000 est l'un de nos grades améliorés de nitrure d'aluminium, offrant toutes les performances mécaniques de HMAN1000 avec les avantages supplémentaires d'une conductivité thermique de 200 W/mK.
Applications HMAN2000:
- Dissipateurs de chaleur
- Diffuseurs de chaleur
- Dissipateurs de chaleur pour laser Redresseurs de puissance
- Aérospatiale, électronique de puissance, redresseurs
HMAN3000 est l'un de nos grades améliorés de nitrure d'aluminium offrant toutes les performances mécaniques de HMAN1000 avec les avantages supplémentaires d'une conductivité thermique de 230 W/mK.
HMAN3000 Applications :
- Dissipateurs de chaleur
- Diffuseurs de chaleur
- Dissipateurs de chaleur pour laser Redresseurs de puissance
- Aérospatiale, électronique de puissance, redresseurs
HMAN4000 est l'un de nos grades améliorés de nitrure d'aluminium offrant toutes les performances mécaniques de HMAN1000 avec les avantages supplémentaires d'une conductivité thermique de 200 W/mK.
HMAN4000 Applications :
- Dissipateurs de chaleur
- Diffuseurs de chaleur
- Dissipateurs de chaleur pour laser Redresseurs de puissance
- Aérospatiale, électronique de puissance, redresseurs
Usinage de la céramique de nitrure d'aluminium
L'usinage des céramiques de nitrure d'aluminium (AlN) est un processus précis utilisé pour fabriquer des composants de haute performance à partir de matériaux à base de nitrure d'aluminium. L'usinage des céramiques de nitrure d'aluminium nécessite un équipement et des techniques spécialisés pour gérer leur fragilité et leur dureté. Un outillage approprié et des environnements contrôlés sont essentiels pour éviter d'endommager le matériau et obtenir l'état de surface et la précision dimensionnelle souhaités. Les méthodes d'usinage courantes sont les suivantes :
- Coupe de diamants : Les outils diamantés sont utilisés pour obtenir une précision fine et des finitions de surface lisses, idéales pour les formes complexes.
- Découpe au laser : Une méthode sans contact utilisée pour les formes complexes, avec une grande précision et un impact thermique minimal.
- Meulage de précision : Utilisé pour obtenir des tolérances et des finitions de surface fines. Nécessite une attention particulière pour éviter les fissures ou les éclats en raison de la fragilité de la céramique.
- L'électroérosion à fil (EDM) : Méthode souvent utilisée pour les découpes complexes, en particulier pour les géométries fines et complexes.
Emballage en céramique de nitrure d'aluminium
Les produits en céramique de nitrure d'aluminium sont généralement emballés dans des sacs scellés sous vide pour éviter l'humidité ou la contamination et enveloppés de mousse pour amortir les vibrations et les chocs pendant le transport, ce qui garantit la qualité des produits dans leur état d'origine.
Télécharger
Obtenir un devis
Nous vérifierons et vous contacterons dans les 24 heures.
