Cible de pulvérisation de zircone stabilisée à l'yttrium
Cible de pulvérisation de zircone stabilisée à l'yttrium
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Fiche technique de la cible de pulvérisation en zircone stabilisée à l'yttria
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Couleur : |
Blanc |
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Formule moléculaire : |
Y₂O₃/ZrO₂ |
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Densité : |
5,85-6,10 g/cm3 |
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La pureté : |
99.9%, 99.95%, 99.99%, 99.995%, 99.999% |
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Point de fusion : |
2 600 °C |
Description de la cible de pulvérisation en zircone stabilisée à l'yttrium
La cible de pulvérisation en zircone stabilisée à l'yttrium (YSZ) est un matériau céramique haute performance utilisé dans le dépôt de couches minces. Elle est composée de dioxyde de zirconium (ZrO₂) stabilisé à l'oxyde d'yttrium (Y₂O₃), ce qui garantit une phase cubique stable à température ambiante. L'YSZ offre une excellente conductivité ionique, une grande stabilité thermique et une résistance chimique élevée, ce qui en fait un matériau essentiel dans les piles à combustible à oxyde solide, les membranes électrolytiques, les capteurs d'oxygène et les revêtements protecteurs de pointe. Sa composition homogène et sa grande pureté garantissent des résultats de dépôt fiables. Outre les cibles de pulvérisation, nous proposons également des substrats cristallins en YSZ destinés à diverses applications de haute technologie. Heeger Materials fournit des cibles de pulvérisation en YSZ de haute qualité afin de répondre aux exigences variées des applications.
Caractéristiques techniques des cibles de pulvérisation en zircone stabilisée à l'yttrium
| La pureté | 99.9%, 99.95%, 99.99%, 99.995%, 99.999% |
| Forme | Disques, plaques, cibles en colonne, cibles à gradins, sur mesure |
| Poids moléculaire | 347.69 |
| Apparence | Cible blanche |
| Point de fusion | >2 600 °C |
| Tailles disponibles | Diamètre : 1,0″, 2,0″, 3,0″, 4,0″, 5,0″, 6,0″ |
| Épaisseur : 0,125″, 0,250″ |
Caractéristiques des cibles de pulvérisation en zircone stabilisée à l'yttria
- Haute conductivité ionique: Permet un transfert de charge efficace dans les piles à combustible et les dispositifs électrochimiques.
- Excellente stabilité thermique: Conserve son intégrité structurelle même à des températures de pulvérisation élevées.
- Chimiquement inerte: Résiste à la corrosion dans des environnements réactifs ou oxydants pendant le dépôt.
- Microstructure dense et homogène: Favorise des débits de pulvérisation constants et la formation de films minces lisses.
- Phase cubique stable: La stabilisation à l'yttria garantit la stabilité de phase sur une large plage de températures.
Applications des cibles de pulvérisation en zircone stabilisée à l'yttrium
- Piles à combustible à oxyde solide (SOFC): Utilisé pour déposer de fines couches d'électrolyte ou de couches intermédiaires.
- Capteurs d'oxygène: Utilisés dans les films de capteurs de gaz en raison de leur conductivité aux ions oxygène.
- Revêtements optiques: Convient aux couches réfléchissantes et antireflets utilisées dans l'optique à haute température.
- Dispositifs à semi-conducteurs: Fournit des couches isolantes ou tampons dans les applications microélectroniques.
- Revêtements protecteurs: Idéal pour la réalisation de films résistants à l'usure et chimiquement stables sur des pièces métalliques ou céramiques.
Capteurs à haute température
Piles à combustible à oxyde solide (SOFC)
Traitement des semi-conducteurs
Revêtements optiques
Propriétés de la céramique de zircone stabilisée à l'yttrium
Usinage de matériaux céramiques à base de zircone stabilisée à l'yttrium
La zircone stabilisée à l'yttrium (YSZ) est un matériau céramique de haute performance connu pour sa résistance exceptionnelle à la rupture, sa grande solidité et sa conductivité ionique. Ces caractéristiques en font un matériau idéal pour les environnements exigeants, bien que son usinage nécessite des approches spécialisées en raison de sa dureté et de sa fragilité. Les principaux aspects de l'usinage sont les suivants :
- Découpage: Des outils revêtus de diamants ou une découpe laser de précision sont utilisés pour maintenir l'intégrité des bords et minimiser les microfissures.
- Broyage: La rectification au diamant à grain fin est utilisée pour obtenir des tolérances serrées et des surfaces lisses, en particulier pour les composants à géométrie complexe.
- Forage: L'usinage par ultrasons ou le perçage au diamant de précision permet la formation précise de microcaractéristiques pour les applications de capteurs et de piles à combustible.
- Finition de surface: Le polissage améliore la résistance à l'usure, la biocompatibilité et la stabilité thermique, ce qui le rend adapté à des utilisations techniques avancées.
Emballage en céramique pour cible de pulvérisation en zircone stabilisée à l'yttrium
Les produits en céramique de zircone stabilisée à l'yttrium sont généralement emballés dans des sacs scellés sous vide pour éviter l'humidité ou la contamination et enveloppés de mousse pour amortir les vibrations et les impacts pendant le transport, ce qui garantit la qualité des produits dans leur état d'origine.
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