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Spanish Cible de pulvérisation de nitrure d'aluminium
Cible de pulvérisation de nitrure d'aluminium
Pureté : 99,5%-99,9%
Les cibles de pulvérisation au nitrure d'aluminium sont fabriquées à partir d'oxyde d'aluminium de haute pureté, de composition uniforme et de structure dense. Elles sont largement utilisées pour le dépôt de couches minces et dans l'industrie des semi-conducteurs. En tant que fournisseur et fabricant de premier plan de produits en nitrure d'aluminium, nous pouvons fournir des cibles de pulvérisation en nitrure d'aluminium de haute qualité avec diverses spécifications et des prix compétitifs, en offrant des solutions personnalisées pour répondre à des exigences spécifiques.
Ou envoyez-nous un courriel à l'adresse suivante sales@heegermaterials.com.Fiche technique des cibles de pulvérisation de nitrure d'aluminium
| Code de référence : | HMST457 |
| La pureté : | 99.5%-99.9% |
| Densité : | 3,26 g/cm3 |
| Apparence : | Solide cristallin blanc bleuté |
| Forme : | Rectangulaire, disque ou tube |
| Service de cautionnement : | Dissociation ou dissociation |
| Point de fusion : | >2200℃ |
| Ratio Z : | 1.00 |
| Sputter : | RF-R |
| Densité de puissance maximale : | 20 W/in² |
Cible de pulvérisation de nitrure d'aluminium
La cible de pulvérisation en nitrure d'aluminium (AlN) est un matériau de cible de pulvérisation en céramique de haute performance, doté d'une conductivité thermique, d'une résistivité électrique et d'une dureté exceptionnelles. Sa composition uniforme et sa structure dense en font un matériau idéal pour produire des films lisses et sans défauts par pulvérisation magnétron ou dépôt par faisceau d'ions. Ils sont largement utilisés en microélectronique, optoélectronique et photovoltaïque. Avancées Céramique Hub peut fournir des solutions personnalisées en termes de pureté, de taille, de densité et d'autres paramètres pour répondre à diverses applications industrielles et de recherche.
Spécifications des cibles de pulvérisation de nitrure d'aluminium
| Cibles de pulvérisation circulaire | Diamètre | 1.0″ 2.0″ 3.0″ 4.0″ 5.0″ 6.0″ jusqu'à 21″. |
| Cibles de pulvérisation rectangulaires | Largeur x Longueur | 5" x 12″ 5" x 15″ 5" x 20″ 5" x 22″ 6" x 20″ |
| Épaisseur | 0.125″, 0.25″ | |
Caractéristiques des cibles de pulvérisation de nitrure d'aluminium
- Pureté et densité élevées
- Faible taux de particules
- Distribution uniforme de l'épaisseur du film
- Grande efficacité dans l'utilisation
Applications des cibles de pulvérisation de nitrure d'aluminium
- Industrie des semi-conducteurs: La cible de pulvérisation du nitrure d'aluminium (AlN) est couramment utilisée dans le dépôt de couches minces pour les couches isolantes et de passivation et comme couche tampon dans les dispositifs à base de GaN (par exemple, les HEMT).
- Optoélectronique: La cible de pulvérisation du nitrure d'aluminium (AlN) est le matériau clé pour les LED UV et les diodes laser en raison de sa large bande interdite (6,2 eV) et de sa transparence à la lumière ultraviolette.
- Dispositifs à ondes acoustiques: Dépôt de films piézoélectriques pour les capteurs/résonateurs à ondes acoustiques de surface (SAW) et à ondes acoustiques de masse (BAW) dans les filtres 5G/6G.
- Revêtements protecteurs: La cible de pulvérisation du nitrure d'aluminium (AlN) peut fournir des revêtements résistants à l'usure et thermiquement stables pour l'aérospatiale/les composants.
- Gestion thermique: La conductivité thermique élevée (~320 W/m-K) en fait un matériau idéal pour la dissipation de la chaleur dans les appareils électroniques de grande puissance.
Contrôle de la qualité des cibles de pulvérisation de nitrure d'aluminium
Analyse de la composition des matières premières
Les impuretés sont analysées par ICP et GDMS pour les métaux, et par des analyseurs carbone-soufre et azote-oxygène pour les non-métaux, afin de garantir une pureté conforme aux normes requises.
Inspection métallographique
L'équipement de détection est utilisé pour inspecter le matériau cible à la recherche de défauts internes ou de trous de retrait, tandis que les essais métallographiques permettent de s'assurer que la structure du grain est fine et dense.
Aspect et contrôle dimensionnel
Les micromètres et les pieds à coulisse mesurent les dimensions, tandis qu'un instrument de propreté vérifie l'état de surface et la propreté.
Propriétés du nitrure d'aluminium
Nuances de nitrure d'aluminium
HMAN1000 est notre nitrure d'aluminium standard de haute pureté avec une conductivité thermique de 170 W/mK. Il s'agit de la même performance thermique que notre matériau de substrat, mais il offre la possibilité de produire des pièces plus grandes en longueur/largeur et d'une épaisseur allant jusqu'à 30 mm.
Le HMAN1000 a un bon coefficient de dilatation thermique - comparable à celui du silicium et du nitrure de gallium sur de larges plages de température.
HMAN100 Applications :
- Isolateurs de haute puissance
- Composants laser
- Dissipateurs thermiques refroidis à l'eau
- Électronique de puissance
- Composants aérospatiaux, médicaux et semi-conducteurs
HMAN1000S 170 W/mK est notre matériau de substrat standard à haute conductivité thermique, mais d'autres qualités à haute performance sont également disponibles.
HMAN1000S Applications :
- Dissipateurs de chaleur
- Diffuseurs de chaleur
- Dissipateurs de chaleur pour laser Redresseurs de puissance
- Aérospatiale, électronique de puissance, redresseurs
HMAN2000 est l'un de nos grades améliorés de nitrure d'aluminium, offrant toutes les performances mécaniques de HMAN1000 avec les avantages supplémentaires d'une conductivité thermique de 200 W/mK.
Applications HMAN2000:
- Dissipateurs de chaleur
- Diffuseurs de chaleur
- Dissipateurs de chaleur pour laser Redresseurs de puissance
- Aérospatiale, électronique de puissance, redresseurs
HMAN3000 est l'un de nos grades améliorés de nitrure d'aluminium offrant toutes les performances mécaniques de HMAN1000 avec les avantages supplémentaires d'une conductivité thermique de 230 W/mK.
HMAN3000 Applications :
- Dissipateurs de chaleur
- Diffuseurs de chaleur
- Dissipateurs de chaleur pour laser Redresseurs de puissance
- Aérospatiale, électronique de puissance, redresseurs
HMAN4000 est l'un de nos grades améliorés de nitrure d'aluminium offrant toutes les performances mécaniques de HMAN1000 avec les avantages supplémentaires d'une conductivité thermique de 200 W/mK.
HMAN4000 Applications :
- Dissipateurs de chaleur
- Diffuseurs de chaleur
- Dissipateurs de chaleur pour laser Redresseurs de puissance
- Aérospatiale, électronique de puissance, redresseurs
Usinage de la céramique de nitrure d'aluminium
L'usinage des céramiques de nitrure d'aluminium (AlN) est un processus précis utilisé pour fabriquer des composants de haute performance à partir de matériaux à base de nitrure d'aluminium. L'usinage des céramiques de nitrure d'aluminium nécessite un équipement et des techniques spécialisés pour gérer leur fragilité et leur dureté. Un outillage approprié et des environnements contrôlés sont essentiels pour éviter d'endommager le matériau et obtenir l'état de surface et la précision dimensionnelle souhaités. Les méthodes d'usinage courantes sont les suivantes :
- Coupe de diamants : Les outils diamantés sont utilisés pour obtenir une précision fine et des finitions de surface lisses, idéales pour les formes complexes.
- Découpe au laser : Une méthode sans contact utilisée pour les formes complexes, avec une grande précision et un impact thermique minimal.
- Meulage de précision : Utilisé pour obtenir des tolérances et des finitions de surface fines. Nécessite une attention particulière pour éviter les fissures ou les éclats en raison de la fragilité de la céramique.
- L'électroérosion à fil (EDM) : Méthode souvent utilisée pour les découpes complexes, en particulier pour les géométries fines et complexes.
Emballage en céramique de nitrure d'aluminium
Les produits en céramique de nitrure d'aluminium sont généralement emballés dans des sacs scellés sous vide pour éviter l'humidité ou la contamination et enveloppés de mousse pour amortir les vibrations et les chocs pendant le transport, ce qui garantit la qualité des produits dans leur état d'origine.
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